在高精密實驗中,環(huán)境波動帶來的影響不容忽視。溫度波動會導(dǎo)致實驗區(qū)域內(nèi)溫度分布不均勻,影響實驗結(jié)果的準(zhǔn)確性和重復(fù)性;濕度變化會干擾生物實驗、材料老化實驗等的進(jìn)程;空氣擾動會對微觀實驗樣本造成物理性干擾,改變宏觀實驗裝置或樣品的位置或姿態(tài);還會影響光學(xué)儀器、精密天平的精度,引入灰塵顆粒、有害氣體等雜質(zhì)和污染物。 而精密環(huán)控系統(tǒng)對空氣擾動和漂移擾動的抑制效果明顯。數(shù)據(jù)顯示,精密環(huán)控系統(tǒng)開啟后,0.05Hz、0.15Hz、1Hz 頻率點累計誤差幅值下降幅度分別降低 98.03%、86.07%、85.83%,漂移擾動得到明顯抑制,波動范圍下降約 50%、標(biāo)準(zhǔn)差減小 45%。同時,溫度波動對超快激光參數(shù)影...
極測(南京)致力于為全球高精密需求用戶打造超精密穩(wěn)定的研發(fā)與生產(chǎn)環(huán)境,專注于研發(fā)、生產(chǎn)和銷售高端定制化精密環(huán)控系統(tǒng),目前已擁有結(jié)合全場景非標(biāo)定制能力,滿足用戶不同溫濕度穩(wěn)定性、潔凈度,氣壓穩(wěn)定性、抗微振、防磁、隔音等個性化需求??茖W(xué)技術(shù)成果認(rèn)定為國際先進(jìn)水平。服務(wù)行業(yè)覆蓋:半導(dǎo)體芯片、精密光學(xué)、精密測量、新能源、航空航天、通信技術(shù)等行業(yè)。極測在新技術(shù)浪潮中奮力向前,攀登環(huán)境控制新高度!為用戶提供精zhun、穩(wěn)定、可靠的高精密環(huán)境!堅固美觀:鈑金箱體堅固耐用,外觀顏色可按需定制,完美融入現(xiàn)代化實驗室環(huán)境。微電子精密溫控單元三坐標(biāo)測量儀通過探針接觸或非接觸式光學(xué)掃描等方式,對工件的尺寸、形狀和位置...
合理的箱體結(jié)構(gòu)有助于提升精密環(huán)控設(shè)備溫濕度的均勻性和控制效果,例如雙層保溫結(jié)構(gòu)、優(yōu)化風(fēng)道設(shè)計等,能增強(qiáng)精密環(huán)控設(shè)備的保溫性能和控制精度。精密環(huán)控設(shè)備的外殼和內(nèi)部材質(zhì)應(yīng)具備良好的耐磨性,部分還需要優(yōu)良的保溫性能,以延長精密環(huán)控設(shè)備的使用壽命。極測的精密環(huán)控柜采用合理的柜體結(jié)構(gòu)設(shè)計,主柜體為內(nèi)部精密組件提供穩(wěn)固物理空間,同時采用可拆卸鋁合金框架,方便大型設(shè)備在不同科研場所進(jìn)行現(xiàn)場組裝,其箱體采用的高質(zhì)量鈑金材質(zhì)堅固耐用。 系統(tǒng)可實現(xiàn)蕞高ISO Class 1級的潔凈環(huán)境(每立方米≥0.1μm顆粒物≤10個)。寧夏科研實驗精密溫控在高duan制造與科研領(lǐng)域,溫度控制的微小偏差正在扼殺技術(shù)突破:半導(dǎo)...
高精密環(huán)控柜由我司自主研發(fā),是一款精密環(huán)境控制產(chǎn)品,可實現(xiàn)ISOClass1-6級潔凈度,以及±0.1℃、±0.05℃、±0.01℃、±0.002℃等不同精度的溫度波動控制。擁有全場景非標(biāo)定制能力,能針對用戶的個性化需求(如溫濕度穩(wěn)定性、潔凈度、抗微振、防磁、隔音等)提供解決方案。設(shè)備運(yùn)行數(shù)據(jù)實時記錄查詢,且配備自動安全保護(hù)系統(tǒng),確保長時間運(yùn)行無憂。其構(gòu)成部分包括設(shè)備主柜體、控制系統(tǒng)、氣流循環(huán)系統(tǒng)、潔凈過濾器、制冷(熱)系統(tǒng)、照明系統(tǒng)、局部氣浴等,主要為光刻機(jī)、激光干涉儀等精密測量與制造設(shè)備,提供超高精度的溫濕度及潔凈度工作環(huán)境。濕度控制采用 “外環(huán)境保證相對濕度、大環(huán)境穩(wěn)定絕dui含濕量” ...
立式干涉儀作為精密測量的關(guān)鍵設(shè)備,基于光的干涉原理工作,通過測量干涉條紋變化精確測定物體長度、角度、表面平整度等參數(shù),精度可達(dá)納米級別。但也正因如此,其對工作環(huán)境的微小變化極為敏感。溫度波動會致使干涉儀的光學(xué)元件、機(jī)械結(jié)構(gòu)以及被測物體熱脹冷縮,如光學(xué)鏡片的熱變形會改變光線傳播路徑,進(jìn)而使干涉條紋位移,在高精度測量中引入不可忽視的誤差,嚴(yán)重影響測量準(zhǔn)確性與可靠性。 極測微環(huán)境控制系統(tǒng)運(yùn)用自主研發(fā)的高精密控溫技術(shù),控制輸出精度達(dá) 0.1%,設(shè)備內(nèi)部溫度穩(wěn)定性關(guān)鍵區(qū)域可達(dá) +/-2mK(靜態(tài)),溫度水平均勻性小于 16mK/m。這一精度確保了在立式干涉儀運(yùn)行時,光學(xué)元件與機(jī)械結(jié)構(gòu)不受溫度波動干擾...
南京拓展科技旗下企業(yè),極測(南京)技術(shù)有限公司憑借深厚的技術(shù)積淀,精心打造的精密溫控箱罩設(shè)備,以其蕞高±0.002℃高精密溫度控制及可實現(xiàn)潔凈度十級以上的能力,成為三坐標(biāo)測量儀的蕞佳拍檔。目前精密溫控箱罩已擁有結(jié)合全場景非標(biāo)定制能力,可滿足用戶不同環(huán)境參數(shù)及使用需求,比如溫濕度穩(wěn)定性、潔凈度,抗微振、防磁、隔音等不同個性化需求?,F(xiàn)已服務(wù)多家全球半導(dǎo)體、通信設(shè)備、顯示面板前列企業(yè)與國家重點實驗室,應(yīng)用于眾多科研與生產(chǎn)場景。 在精密制造與檢測領(lǐng)域,三坐標(biāo)測量儀作為獲取高精度尺寸數(shù)據(jù)的關(guān)鍵設(shè)備,其測量精度直接關(guān)系到產(chǎn)品質(zhì)量與生產(chǎn)效率。而要確保三坐標(biāo)測量儀穩(wěn)定、精密地運(yùn)行,精密溫控箱罩起著不可或缺的作...
晶圓制造是一項對環(huán)境極為敏感的工藝。無論是光刻、刻蝕,還是封裝環(huán)節(jié),溫度的細(xì)微波動和空氣中的微小顆粒都可能帶來災(zāi)難性后果,影響芯片的功能或造成短路或斷路,導(dǎo)致整片晶圓報廢。南京拓展科技旗下企業(yè),極測(南京)技術(shù)有限公司推出的超精密恒溫潔凈棚,憑借突破性的環(huán)境控制技術(shù),為晶圓構(gòu)建起無可比擬的操作空間,可實現(xiàn)±0.002℃,±0.005℃,±0.05℃,±0.01℃,±0.1℃等不同等級精度的溫度控制,及ISO class1-ISO class6不同等級的潔凈度,相比晶圓操作臺通過被動抵御環(huán)境溫度變化,極測精密恒溫潔凈棚通過其在溫度控制和潔凈度管理上的雙重突破,主動調(diào)控外部溫度,形成超精密恒溫潔凈...
立式干涉儀作為精密測量的關(guān)鍵設(shè)備,基于光的干涉原理工作,通過測量干涉條紋變化精確測定物體長度、角度、表面平整度等參數(shù),精度可達(dá)納米級別。但也正因如此,其對工作環(huán)境的微小變化極為敏感。溫度波動會致使干涉儀的光學(xué)元件、機(jī)械結(jié)構(gòu)以及被測物體熱脹冷縮,如光學(xué)鏡片的熱變形會改變光線傳播路徑,進(jìn)而使干涉條紋位移,在高精度測量中引入不可忽視的誤差,嚴(yán)重影響測量準(zhǔn)確性與可靠性。 極測微環(huán)境控制系統(tǒng)運(yùn)用自主研發(fā)的高精密控溫技術(shù),控制輸出精度達(dá) 0.1%,設(shè)備內(nèi)部溫度穩(wěn)定性關(guān)鍵區(qū)域可達(dá) +/-2mK(靜態(tài)),溫度水平均勻性小于 16mK/m。這一精度確保了在立式干涉儀運(yùn)行時,光學(xué)元件與機(jī)械結(jié)構(gòu)不受溫度波動干擾...
極測在溫度控制方面蕞高可實現(xiàn)令人驚嘆的 ±0.002℃溫度控制精度。這一精度意味著,在整個晶圓操作過程中,環(huán)境溫度幾乎保持絕dui穩(wěn)定,溫度水平均勻性小于 16mK/m,幾乎消除了因溫度變化對晶圓產(chǎn)生的熱應(yīng)力和尺寸誤差。在潔凈度方面,精密恒溫潔凈棚通過空氣過濾系統(tǒng)和氣流組織設(shè)計,實現(xiàn)了蕞高優(yōu)于 ISO class1 的潔凈度等級,遠(yuǎn)超普通潔凈室的標(biāo)準(zhǔn)。 除了高精度的溫度和潔凈度控制,極測精密恒溫潔凈棚還具備全場景非標(biāo)定制能力。根據(jù)不同客戶的需求和晶圓操作工藝的特點,可以靈活調(diào)整溫濕度穩(wěn)定性、潔凈度,以及抗微振、防磁、隔音等個性化參數(shù)。無論是高duan芯片制造企業(yè),還是科研機(jī)構(gòu)的晶圓研發(fā)項目,都...
這款高精密環(huán)控柜是我司單獨研發(fā)的精密環(huán)境控制設(shè)備,可達(dá)成ISOClass1-6級潔凈度,以及±0.1℃、±0.05℃、±0.01℃、±0.002℃等多級溫度波動控制精度。依托全場景非標(biāo)定制能力,能滿足用戶在溫濕度穩(wěn)定性、潔凈度、抗微振、防磁、隔音等多方面的個性化需求。設(shè)備具備運(yùn)行數(shù)據(jù)實時記錄與查詢功能,并配備自動安全防護(hù)系統(tǒng),確保長期穩(wěn)定運(yùn)行。其構(gòu)成包括主柜體、控制系統(tǒng)、氣流循環(huán)系統(tǒng)、潔凈過濾器、制冷(熱)系統(tǒng)、照明系統(tǒng)及局部氣浴等,專為光刻機(jī)、激光干涉儀等精密測量與制造設(shè)備,提供超高精度的溫濕度及潔凈度工作環(huán)境。該系統(tǒng)采用“外環(huán)境保障相對濕度、大環(huán)境穩(wěn)定絕dui含濕量”的邏輯,通過精zhun...
在實際應(yīng)用中,極測的溫控設(shè)備已經(jīng)在眾多半導(dǎo)體制造企業(yè)中發(fā)揮了重要作用。某有名芯片制造企業(yè)在引入極測的溫控設(shè)備后,光刻工藝的精度得到了明顯提升。由于溫度控制更加精zhun,芯片上的電路圖案更加清晰、準(zhǔn)確,有效減少了因溫度問題導(dǎo)致的圖案偏差和缺陷,產(chǎn)品良率大幅提高?,F(xiàn)已服務(wù)多家芯片半導(dǎo)體前列企業(yè)與國家重點實驗室。 同時極測(南京)具備全場景非標(biāo)定制能力??筛鶕?jù)不同客戶的需求根據(jù)溫濕度穩(wěn)定性、潔凈度,以及抗微振、防磁、隔音等個性化參數(shù),進(jìn)行靈活定制。極測(南京)致力于為全球企業(yè)提供定制化的環(huán)境控制解決方案,以嚴(yán)格的溫濕度與潔凈度標(biāo)準(zhǔn)。山西電子顯微鏡精密溫控在高duan制造業(yè)的關(guān)鍵地帶,納米級芯片、微...
納米級溫度控制:系統(tǒng)采用高精密控溫算法,能夠?qū)㈡I合設(shè)備工作區(qū)域的溫度波動控制在±0.002℃范圍內(nèi)(靜態(tài)工況下可達(dá)±2mK),溫度均勻性小于16mK/m。這種級別的溫度穩(wěn)定性,確保了鍵合過程中材料熱變形量被壓縮到納米級別,為高精度鍵合提供了可能。 超高潔凈環(huán)境保障:系統(tǒng)可實現(xiàn)蕞高ISO Class 1級的潔凈環(huán)境(每立方米≥0.1μm顆粒物≤10個),這一潔凈級別極大降低了因顆粒物導(dǎo)致的鍵合缺陷風(fēng)險。 濕度與壓力協(xié)同控制:除了溫控精度與潔凈度,系統(tǒng)蕞高能將濕度穩(wěn)定性維持在±0.3%RH,壓力波動控制在±3Pa以內(nèi)。這種多參數(shù)協(xié)同控制能力,為鍵合工藝提供了全方wei、全時段的穩(wěn)定環(huán)境保障。 ...
高精密環(huán)控柜由我司自主研發(fā),是一款精密環(huán)境控制產(chǎn)品,可實現(xiàn)ISOClass1-6級潔凈度,以及±0.1℃、±0.05℃、±0.01℃、±0.002℃等不同精度的溫度波動控制。擁有全場景非標(biāo)定制能力,能針對用戶的個性化需求(如溫濕度穩(wěn)定性、潔凈度、抗微振、防磁、隔音等)提供解決方案。設(shè)備運(yùn)行數(shù)據(jù)實時記錄查詢,且配備自動安全保護(hù)系統(tǒng),確保長時間運(yùn)行無憂。其構(gòu)成部分包括設(shè)備主柜體、控制系統(tǒng)、氣流循環(huán)系統(tǒng)、潔凈過濾器、制冷(熱)系統(tǒng)、照明系統(tǒng)、局部氣浴等,主要為光刻機(jī)、激光干涉儀等精密測量與制造設(shè)備,提供超高精度的溫濕度及潔凈度工作環(huán)境。濕度控制采用 “外環(huán)境保證相對濕度、大環(huán)境穩(wěn)定絕dui含濕量” ...
若需要對溫濕度數(shù)據(jù)進(jìn)行長期監(jiān)測和分析,選擇具有數(shù)據(jù)記錄與存儲功能的精密環(huán)控設(shè)備很有必要,部分設(shè)備還可通過 USB、以太網(wǎng)等接口將數(shù)據(jù)傳輸?shù)接嬎銠C(jī)或云端。極測精密溫控設(shè)備具備強(qiáng)大的數(shù)據(jù)實時記錄查詢功能,實驗過程中的溫度、濕度等關(guān)鍵數(shù)據(jù)自動生成曲線,數(shù)據(jù)自動保存并支持隨時以表格形式導(dǎo)出,設(shè)備的運(yùn)行狀態(tài)、故障狀態(tài)等信息也同步記錄,方便人員進(jìn)行全mian的數(shù)據(jù)追溯和深入分析。遠(yuǎn)程監(jiān)控與報警功能也很實用,通過手機(jī)、電腦等設(shè)備可隨時隨地監(jiān)控精密環(huán)控設(shè)備的運(yùn)行狀態(tài),當(dāng)溫濕度超出設(shè)定范圍或設(shè)備出現(xiàn)故障時,報警功能能及時通知用戶,便于及時處理。極測的設(shè)備一旦出現(xiàn)故障,實時聲光報警提醒并支持遠(yuǎn)程協(xié)助故障處理,蕞大...
高精密環(huán)控柜由我司自主研發(fā),是一款精密環(huán)境控制產(chǎn)品,可實現(xiàn)ISOClass1-6級潔凈度,以及±0.1℃、±0.05℃、±0.01℃、±0.002℃等不同精度的溫度波動控制。擁有全場景非標(biāo)定制能力,能針對用戶的個性化需求(如溫濕度穩(wěn)定性、潔凈度、抗微振、防磁、隔音等)提供解決方案。設(shè)備運(yùn)行數(shù)據(jù)實時記錄查詢,且配備自動安全保護(hù)系統(tǒng),確保長時間運(yùn)行無憂。其構(gòu)成部分包括設(shè)備主柜體、控制系統(tǒng)、氣流循環(huán)系統(tǒng)、潔凈過濾器、制冷(熱)系統(tǒng)、照明系統(tǒng)、局部氣浴等,主要為光刻機(jī)、激光干涉儀等精密測量與制造設(shè)備,提供超高精度的溫濕度及潔凈度工作環(huán)境。濕度控制采用 “外環(huán)境保證相對濕度、大環(huán)境穩(wěn)定絕dui含濕量” ...
極測(南京)致力于為芯片半導(dǎo)體、電子信息、光學(xué)儀器、精密制造、新能源、航空航天等行業(yè)提供高質(zhì)量的高精密環(huán)境解決方案,是一家為行業(yè)創(chuàng)造價值、深獲客戶信賴的杰出企業(yè)。我們擁有一支強(qiáng)大的研發(fā)及設(shè)計團(tuán)隊,涵蓋了產(chǎn)品經(jīng)理、結(jié)構(gòu)工程師、暖通專業(yè)人員、電氣自控專業(yè)人員等各類專業(yè)人才。這支多元化的團(tuán)隊?wèi){借深厚的專業(yè)知識和豐富的實踐經(jīng)驗,能夠滿足客戶的多樣化需求。此外,公司還擁有自己的工廠,能夠有效地將研發(fā)成果轉(zhuǎn)化為實際產(chǎn)品,為眾多矢口名公司提供了高質(zhì)量的設(shè)備和服務(wù)。潔凈室內(nèi)的溫度波動可能會導(dǎo)致晶圓材料的物理性質(zhì)發(fā)生變化,影響生產(chǎn)精度。2mK精密溫控系統(tǒng)打造波動 ±0.005℃、潔凈度 ISO Class 3 ...
高精密冷凍水機(jī)組是一種專為工業(yè)及特殊環(huán)境設(shè)計的制冷設(shè)備,通過精確的溫度控制和高效制冷循環(huán),為高精度制造、數(shù)據(jù)中心、醫(yī)藥生產(chǎn)等領(lǐng)域提供穩(wěn)定可靠的冷卻解決方案。其關(guān)鍵特點在于高能效、低波動性及智能化控制,滿足嚴(yán)苛的溫控需求。極測(南京)技術(shù)有限公司采??研溫控技術(shù),高精密冷凍水機(jī)組冷凍?的出?溫度蕞?精度可達(dá)±0.002℃。高精密冷凍水機(jī)組采用國際有名品牌壓縮機(jī),配套高質(zhì)量高效能銅管制作的板式換熱器及有名品牌電氣元器件。使機(jī)組具有精度高、體積小、噪音低、壽命長、操作簡便、高效節(jié)能等優(yōu)點。高精密冷凍水機(jī)組采用自主研發(fā)高精度溫度采集模塊,準(zhǔn)確測量實驗艙內(nèi)實時的溫濕度數(shù)值并傳輸給控制器,冷凍水閥無級調(diào)節(jié)...
極測(南京)致力于為全球高精密需求用戶打造超精密穩(wěn)定的研發(fā)與生產(chǎn)環(huán)境,專注于研發(fā)、生產(chǎn)和銷售高端定制化精密環(huán)控系統(tǒng),目前已擁有結(jié)合全場景非標(biāo)定制能力,滿足用戶不同溫濕度穩(wěn)定性、潔凈度,氣壓穩(wěn)定性、抗微振、防磁、隔音等個性化需求??茖W(xué)技術(shù)成果認(rèn)定為國際先進(jìn)水平。服務(wù)行業(yè)覆蓋:半導(dǎo)體芯片、精密光學(xué)、精密測量、新能源、航空航天、通信技術(shù)等行業(yè)。極測在新技術(shù)浪潮中奮力向前,攀登環(huán)境控制新高度!為用戶提供精zhun、穩(wěn)定、可靠的高精密環(huán)境!潔凈室內(nèi)需配置無塵空氣過濾與流通系統(tǒng),保證氣流分布合理,無死角,使?jié)崈艨諝獬浞值竭_(dá)每個角落。福建精密溫控定制高精密環(huán)控柜由我司自主研發(fā),是一款精密環(huán)境控制產(chǎn)品,可實現(xiàn)...
極測(南京)技術(shù)有限公司的精密水冷冷凍水機(jī)組憑借毫 K 級控溫精度(±0.001℃)、快速響應(yīng)能力及高穩(wěn)定性設(shè)計,成為半導(dǎo)體制造中蝕刻與沉積設(shè)備、晶圓制造、芯片測試等關(guān)鍵環(huán)節(jié)的標(biāo)配溫控設(shè)備。本文結(jié)合半導(dǎo)體工藝對溫度的嚴(yán)苛需求,解析該機(jī)組如何通過專li技術(shù)實現(xiàn)全流程溫度精zhun控制,助力提升芯片良率與生產(chǎn)效率,為半導(dǎo)體行業(yè)用戶提供溫控設(shè)備選型與應(yīng)用參考。 在半導(dǎo)體制造向 3nm 甚至更小制程突破的today,精密水冷冷凍水機(jī)組已從 “輔助設(shè)備” 升級為 “關(guān)鍵工藝設(shè)備”。極測(南京)技術(shù)有限公司的產(chǎn)品憑借毫 K 級控溫、全流程適配及高可靠性,正在助力國內(nèi)晶圓廠、封測廠及研發(fā)機(jī)構(gòu)攻克溫度敏感型工...
在光學(xué)領(lǐng)域,干涉儀扮演著無可替代的 “基準(zhǔn)量具” 角色。其測量精度直接受到工作環(huán)境的影響,包括溫度、濕度、氣壓波動等影響因素,尤其是溫度控制的細(xì)微偏差,都可能成為測量結(jié)果失準(zhǔn)的 “系統(tǒng)性誤差源”。極測(南京)自研生產(chǎn)的精密環(huán)控系統(tǒng),為干涉儀打造穩(wěn)定的外部運(yùn)行環(huán)境,包括精密溫度控制,以及濕度穩(wěn)定性,氣壓穩(wěn)定性,噪聲等。同時針對內(nèi)部腔體區(qū)域采用局部氣浴的模式,保證內(nèi)部檢測腔環(huán)境的穩(wěn)定性,是許多半導(dǎo)體企業(yè)的選擇。光學(xué)儀器對溫濕度、潔凈度、抗微振等有嚴(yán)格的要求,主要源于光學(xué)儀器的高精密性和對生產(chǎn)環(huán)境的敏感性。OCD量測精密溫控設(shè)計納米級溫度控制:系統(tǒng)采用高精密控溫算法,能夠?qū)㈡I合設(shè)備工作區(qū)域的溫度波動...
在高精密實驗中,環(huán)境波動帶來的影響不容忽視。溫度波動會導(dǎo)致實驗區(qū)域內(nèi)溫度分布不均勻,影響實驗結(jié)果的準(zhǔn)確性和重復(fù)性;濕度變化會干擾生物實驗、材料老化實驗等的進(jìn)程;空氣擾動會對微觀實驗樣本造成物理性干擾,改變宏觀實驗裝置或樣品的位置或姿態(tài);還會影響光學(xué)儀器、精密天平的精度,引入灰塵顆粒、有害氣體等雜質(zhì)和污染物。 而精密環(huán)控系統(tǒng)對空氣擾動和漂移擾動的抑制效果明顯。數(shù)據(jù)顯示,精密環(huán)控系統(tǒng)開啟后,0.05Hz、0.15Hz、1Hz 頻率點累計誤差幅值下降幅度分別降低 98.03%、86.07%、85.83%,漂移擾動得到明顯抑制,波動范圍下降約 50%、標(biāo)準(zhǔn)差減小 45%。同時,溫度波動對超快激光參數(shù)影...
干涉儀對精密微環(huán)境的嚴(yán)苛需求:干涉儀的納米級測量精度極易受環(huán)境干擾。其基于光的干涉原理工作,通過測量干涉條紋變化精確測定物體長度、角度、表面平整度等參數(shù),精度可達(dá)納米級別。溫度波動引致光學(xué)元件熱變形,改變光路并偏移干涉條紋;塵埃與濕度波動則加速設(shè)備損耗,干涉儀精密微環(huán)境的穩(wěn)定性直接決定測量成敗。前列的精密溫控能力:干涉儀微環(huán)境穩(wěn)定關(guān)鍵極測精密溫控技術(shù)可實現(xiàn)內(nèi)部溫度穩(wěn)定性關(guān)鍵區(qū)域可達(dá) +/-2mK(靜態(tài)),溫度水平均勻性小于 16mK/m。這一精度確保了在立式干涉儀運(yùn)行時,光學(xué)元件與機(jī)械結(jié)構(gòu)不受溫度波動干擾,始終維持在蕞佳工作狀態(tài),為精Zhun測量提供穩(wěn)定基礎(chǔ)。百級潔凈+濕度協(xié)同打造干涉儀長效微...
極測(南京)技術(shù)有限公司的精密水冷冷凍水機(jī)組憑借毫 K 級控溫精度(±0.001℃)、快速響應(yīng)能力及高穩(wěn)定性設(shè)計,成為半導(dǎo)體制造中蝕刻與沉積設(shè)備、晶圓制造、芯片測試等關(guān)鍵環(huán)節(jié)的標(biāo)配溫控設(shè)備。本文結(jié)合半導(dǎo)體工藝對溫度的嚴(yán)苛需求,解析該機(jī)組如何通過專li技術(shù)實現(xiàn)全流程溫度精zhun控制,助力提升芯片良率與生產(chǎn)效率,為半導(dǎo)體行業(yè)用戶提供溫控設(shè)備選型與應(yīng)用參考。 在半導(dǎo)體制造向 3nm 甚至更小制程突破的today,精密水冷冷凍水機(jī)組已從 “輔助設(shè)備” 升級為 “關(guān)鍵工藝設(shè)備”。極測(南京)技術(shù)有限公司的產(chǎn)品憑借毫 K 級控溫、全流程適配及高可靠性,正在助力國內(nèi)晶圓廠、封測廠及研發(fā)機(jī)構(gòu)攻克溫度敏感型工...
若需要對溫濕度數(shù)據(jù)進(jìn)行長期監(jiān)測和分析,選擇具有數(shù)據(jù)記錄與存儲功能的精密環(huán)控設(shè)備很有必要,部分設(shè)備還可通過 USB、以太網(wǎng)等接口將數(shù)據(jù)傳輸?shù)接嬎銠C(jī)或云端。極測精密溫控設(shè)備具備強(qiáng)大的數(shù)據(jù)實時記錄查詢功能,實驗過程中的溫度、濕度等關(guān)鍵數(shù)據(jù)自動生成曲線,數(shù)據(jù)自動保存并支持隨時以表格形式導(dǎo)出,設(shè)備的運(yùn)行狀態(tài)、故障狀態(tài)等信息也同步記錄,方便人員進(jìn)行全mian的數(shù)據(jù)追溯和深入分析。遠(yuǎn)程監(jiān)控與報警功能也很實用,通過手機(jī)、電腦等設(shè)備可隨時隨地監(jiān)控精密環(huán)控設(shè)備的運(yùn)行狀態(tài),當(dāng)溫濕度超出設(shè)定范圍或設(shè)備出現(xiàn)故障時,報警功能能及時通知用戶,便于及時處理。極測的設(shè)備一旦出現(xiàn)故障,實時聲光報警提醒并支持遠(yuǎn)程協(xié)助故障處理,蕞大...
極測在溫度控制方面蕞高可實現(xiàn)令人驚嘆的 ±0.002℃溫度控制精度。這一精度意味著,在整個晶圓操作過程中,環(huán)境溫度幾乎保持絕dui穩(wěn)定,溫度水平均勻性小于 16mK/m,幾乎消除了因溫度變化對晶圓產(chǎn)生的熱應(yīng)力和尺寸誤差。在潔凈度方面,精密恒溫潔凈棚通過空氣過濾系統(tǒng)和氣流組織設(shè)計,實現(xiàn)了蕞高優(yōu)于 ISO class1 的潔凈度等級,遠(yuǎn)超普通潔凈室的標(biāo)準(zhǔn)。 除了高精度的溫度和潔凈度控制,極測精密恒溫潔凈棚還具備全場景非標(biāo)定制能力。根據(jù)不同客戶的需求和晶圓操作工藝的特點,可以靈活調(diào)整溫濕度穩(wěn)定性、潔凈度,以及抗微振、防磁、隔音等個性化參數(shù)。無論是高duan芯片制造企業(yè),還是科研機(jī)構(gòu)的晶圓研發(fā)項目,都...
晶圓制造是一項對環(huán)境極為敏感的工藝。無論是光刻、刻蝕,還是封裝環(huán)節(jié),溫度的細(xì)微波動和空氣中的微小顆粒都可能帶來災(zāi)難性后果,影響芯片的功能或造成短路或斷路,導(dǎo)致整片晶圓報廢。南京拓展科技旗下企業(yè),極測(南京)技術(shù)有限公司推出的超精密恒溫潔凈棚,憑借突破性的環(huán)境控制技術(shù),為晶圓構(gòu)建起無可比擬的操作空間,可實現(xiàn)±0.002℃,±0.005℃,±0.05℃,±0.01℃,±0.1℃等不同等級精度的溫度控制,及ISO class1-ISO class6不同等級的潔凈度,相比晶圓操作臺通過被動抵御環(huán)境溫度變化,極測精密恒溫潔凈棚通過其在溫度控制和潔凈度管理上的雙重突破,主動調(diào)控外部溫度,形成超精密恒溫潔凈...
精zhun定位客戶之需為先導(dǎo),高效執(zhí)行確保質(zhì)量至上為關(guān)鍵,極測(南京)致力于為客戶提供定制化的服務(wù)方案。我們靈活應(yīng)變,以創(chuàng)新為驅(qū)動引擎,不斷突破技術(shù)邊界;同時,持續(xù)跟蹤項目進(jìn)展,確保服務(wù)無憂,贏得客戶長久信賴。秉承誠信為本的經(jīng)營理念,我們與客戶攜手并進(jìn),共鑄行業(yè)輝煌,成為一家深度賦能行業(yè)、廣受贊譽(yù)的高精密環(huán)境服務(wù)商。我們深知,專業(yè)的售后服務(wù)是保障客戶設(shè)備穩(wěn)定運(yùn)行、提升客戶滿意度的重要一環(huán)。因此,我們特別組建了一支單獨且專業(yè)的售后服務(wù)團(tuán)隊,以全mian、高效、專業(yè)的服務(wù),確保您的設(shè)備始終處于優(yōu)良狀態(tài)。系統(tǒng)可實現(xiàn)蕞高ISO Class 1級的潔凈環(huán)境(每立方米≥0.1μm顆粒物≤10個)。局部氣浴...
極測(南京)技術(shù)有限公司依托母公司南京拓展科技有限公司在實驗室專業(yè)領(lǐng)域的沉淀,尤其是暖通及自控方面的專長,同時匯聚了30多名擁有15年以上經(jīng)驗的行業(yè)前列工程師,致力于為芯片半導(dǎo)體、精密光學(xué)、科研研發(fā)等領(lǐng)域提供定制化的高精密環(huán)境解決方案,現(xiàn)已服務(wù)多家全球半導(dǎo)體、通信設(shè)備、顯示面板企業(yè)與國家重點實驗室,應(yīng)用于眾多科研與生產(chǎn)場景,科學(xué)技術(shù)成果認(rèn)定為國際先進(jìn)水平。目前,高精密環(huán)境控制設(shè)備已實現(xiàn)蕞高溫控精度±0.002℃,潔凈度十級以上。擁有結(jié)合全場景非標(biāo)定制能力,可滿足用戶不同環(huán)境參數(shù)及使用需求,持續(xù)領(lǐng)跑超高精密環(huán)控技術(shù)革新。極測(南京)研發(fā)及設(shè)計團(tuán)隊,涵蓋了產(chǎn)品經(jīng)理、結(jié)構(gòu)工程師、暖通、電氣自控等各類...
高精密冷凍水機(jī)組是一種專為工業(yè)及特殊環(huán)境設(shè)計的制冷設(shè)備,通過精確的溫度控制和高效制冷循環(huán),為高精度制造、數(shù)據(jù)中心、醫(yī)藥生產(chǎn)等領(lǐng)域提供穩(wěn)定可靠的冷卻解決方案。其關(guān)鍵特點在于高能效、低波動性及智能化控制,滿足嚴(yán)苛的溫控需求。極測(南京)技術(shù)有限公司采??研溫控技術(shù),高精密冷凍水機(jī)組冷凍?的出?溫度蕞?精度可達(dá)±0.002℃。高精密冷凍水機(jī)組采用國際有名品牌壓縮機(jī),配套高質(zhì)量高效能銅管制作的板式換熱器及有名品牌電氣元器件。使機(jī)組具有精度高、體積小、噪音低、壽命長、操作簡便、高效節(jié)能等優(yōu)點。高精密冷凍水機(jī)組采用自主研發(fā)高精度溫度采集模塊,準(zhǔn)確測量實驗艙內(nèi)實時的溫濕度數(shù)值并傳輸給控制器,冷凍水閥無級調(diào)節(jié)...
極測精密恒溫潔凈棚還配備了智能運(yùn)維系統(tǒng)。運(yùn)行中的溫度、濕度等關(guān)鍵數(shù)據(jù)自動生成曲線,操作人員可以直觀地掌握環(huán)境變化情況;數(shù)據(jù)自動保存且可隨時導(dǎo)出,運(yùn)行狀態(tài)與故障狀態(tài)同步記錄,方便進(jìn)行數(shù)據(jù)分析、質(zhì)量追溯與故障排查。自動安全保護(hù)系統(tǒng)更是為設(shè)備的穩(wěn)定運(yùn)行提供了全天候保障,一旦出現(xiàn)異常,系統(tǒng)將立即啟動保護(hù)機(jī)制,減少因故障導(dǎo)致的測量中斷和晶圓報廢。 極測先進(jìn)的環(huán)境控制技術(shù),為晶圓操作空間樹立了新的行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)。精密恒溫潔凈棚不僅解決了半導(dǎo)體制造中環(huán)境控制的難題,更為芯片的高精度制造和研發(fā)提供了堅實的保障。隨著半導(dǎo)體技術(shù)的不斷發(fā)展,對晶圓操作環(huán)境的要求也將越來越高,而極測精密恒溫潔凈棚,必將在未來的產(chǎn)業(yè)發(fā)展中發(fā)...