極測(cè)（南京）技術(shù)有限公司的精密水冷冷凍水機(jī)組融合多項(xiàng)專li技術(shù)，打造超精密溫控關(guān)鍵能力：高精密控溫技術(shù)：動(dòng)態(tài)平衡的 “神經(jīng)中樞”機(jī)組搭載自主研發(fā)高精度溫度采集模塊，實(shí)時(shí)捕捉供水溫度數(shù)據(jù)并傳輸至控制器，通過冷凍水閥無級(jí)調(diào)節(jié)與電加熱器協(xié)同工作，結(jié)合PID 算法及逐級(jí)控溫專li技術(shù)實(shí)現(xiàn)溫度偏差的精zhun計(jì)算與動(dòng)態(tài)調(diào)節(jié)。例如，在半導(dǎo)體極紫外光刻工藝中，該技術(shù)可將精密水冷冷凍水機(jī)組的出水溫度波動(dòng)控制在±0.001℃，滿足納米級(jí)制造對(duì)溫度穩(wěn)定性的嚴(yán)苛要求。堅(jiān)固美觀：鈑金箱體堅(jiān)固耐用，外觀顏色可按需定制，完美融入現(xiàn)代化實(shí)驗(yàn)室環(huán)境。干涉儀精密溫控系統(tǒng)極測(cè)（南京）致力于為全球高精密需求用戶打造超精密穩(wěn)定的研發(fā)...

納米級(jí)溫度控制：系統(tǒng)采用高精密控溫算法，能夠?qū)㈡I合設(shè)備工作區(qū)域的溫度波動(dòng)控制在±0.002℃范圍內(nèi)（靜態(tài)工況下可達(dá)±2mK），溫度均勻性小于16mK/m。這種級(jí)別的溫度穩(wěn)定性，確保了鍵合過程中材料熱變形量被壓縮到納米級(jí)別，為高精度鍵合提供了可能。 超高潔凈環(huán)境保障：系統(tǒng)可實(shí)現(xiàn)蕞高ISO Class 1級(jí)的潔凈環(huán)境（每立方米≥0.1μm顆粒物≤10個(gè)），這一潔凈級(jí)別極大降低了因顆粒物導(dǎo)致的鍵合缺陷風(fēng)險(xiǎn)。 濕度與壓力協(xié)同控制：除了溫控精度與潔凈度，系統(tǒng)蕞高能將濕度穩(wěn)定性維持在±0.3%RH，壓力波動(dòng)控制在±3Pa以內(nèi)。這種多參數(shù)協(xié)同控制能力，為鍵合工藝提供了全方wei、全時(shí)段的穩(wěn)定環(huán)境保障。 ...

在半導(dǎo)體制造領(lǐng)域，每一納米的變化都可能直接影響芯片的性能與良率。作為高精度檢測(cè)的關(guān)鍵環(huán)節(jié)，半導(dǎo)體量測(cè)設(shè)備（如電子顯微鏡、膜厚測(cè)量?jī)x、OCD量測(cè)等）自身對(duì)運(yùn)行環(huán)境的要求也極為苛刻。環(huán)境的細(xì)微波動(dòng)，都會(huì)引入測(cè)量誤差。 除整體環(huán)境外，半導(dǎo)體量測(cè)設(shè)備通常配備高精度光學(xué)成像器件（廣義上的“照相機(jī)”），其中光源，電子控制單元，運(yùn)動(dòng)部件等都有可能產(chǎn)生局部發(fā)熱源，蕞終影響環(huán)境的穩(wěn)定性，以及晶圓表面溫度穩(wěn)定性。極測(cè)（南京）技術(shù)有限公司深刻理解這一需求，憑借在微環(huán)境控制領(lǐng)域的深厚技術(shù)積累，專為高duan半導(dǎo)體量測(cè)設(shè)備設(shè)計(jì)精密環(huán)控系統(tǒng)，做好設(shè)備配套。系統(tǒng)由設(shè)備主柜體（設(shè)備維護(hù)結(jié)構(gòu)模塊）、潔凈過濾系統(tǒng)、局部氣浴、控制...

極測(cè)（南京）微環(huán)境控制系統(tǒng)設(shè)備內(nèi)部濕度穩(wěn)定性可達(dá) ±0.5%@8h，有效防止因濕度變化引發(fā)的光學(xué)元件發(fā)霉、機(jī)械部件生銹等問題，延長立式干涉儀使用壽命。同時(shí)，系統(tǒng)可實(shí)現(xiàn)百級(jí)以上潔凈度控制，蕞高優(yōu)于 ISO class3（設(shè)備工作區(qū)），避免灰塵等污染物影響光線傳播與干涉條紋，為干涉儀營造超凈工作空間。 智能功能助力運(yùn)維極測(cè)微環(huán)境控制系統(tǒng)具備強(qiáng)大的數(shù)據(jù)實(shí)時(shí)記錄查詢功能。運(yùn)行中的溫度、濕度等關(guān)鍵數(shù)據(jù)自動(dòng)生成曲線，便于操作人員直觀掌握環(huán)境變化。微環(huán)境控制系統(tǒng)數(shù)據(jù)自動(dòng)保存且可隨時(shí)導(dǎo)出，運(yùn)行狀態(tài)與故障狀態(tài)同步記錄，方便進(jìn)行數(shù)據(jù)分析、質(zhì)量追溯與故障排查。此外，自動(dòng)安全保護(hù)系統(tǒng)可實(shí)現(xiàn)故障自動(dòng)保護(hù)，確保設(shè)備全天候...

極測(cè)（南京）致力于為全球高精密需求用戶打造超精密穩(wěn)定的研發(fā)與生產(chǎn)環(huán)境，專注于研發(fā)、生產(chǎn)和銷售高端定制化精密環(huán)控系統(tǒng)，目前已擁有結(jié)合全場(chǎng)景非標(biāo)定制能力，滿足用戶不同溫濕度穩(wěn)定性、潔凈度，氣壓穩(wěn)定性、抗微振、防磁、隔音等個(gè)性化需求?？茖W(xué)技術(shù)成果認(rèn)定為國際先進(jìn)水平。服務(wù)行業(yè)覆蓋：半導(dǎo)體芯片、精密光學(xué)、精密測(cè)量、新能源、航空航天、通信技術(shù)等行業(yè)。極測(cè)在新技術(shù)浪潮中奮力向前，攀登環(huán)境控制新高度！為用戶提供精zhun、穩(wěn)定、可靠的高精密環(huán)境！精密測(cè)量需要在恒溫條件下進(jìn)行，因?yàn)楦鞣N工程材料都有熱膨脹性。標(biāo)準(zhǔn)測(cè)量溫度通常為20℃。0.002精密溫控技術(shù)在半導(dǎo)體制造、精密光學(xué)檢測(cè)等領(lǐng)域，環(huán)境參數(shù)的微小偏差都可能...

高精密環(huán)控柜由我司自主研發(fā)，是一款精密環(huán)境控制產(chǎn)品，可實(shí)現(xiàn)ISOClass1-6級(jí)潔凈度，以及±0.1℃、±0.05℃、±0.01℃、±0.002℃等不同精度的溫度波動(dòng)控制。擁有全場(chǎng)景非標(biāo)定制能力，能針對(duì)用戶的個(gè)性化需求（如溫濕度穩(wěn)定性、潔凈度、抗微振、防磁、隔音等）提供解決方案。設(shè)備運(yùn)行數(shù)據(jù)實(shí)時(shí)記錄查詢，且配備自動(dòng)安全保護(hù)系統(tǒng)，確保長時(shí)間運(yùn)行無憂。其構(gòu)成部分包括設(shè)備主柜體、控制系統(tǒng)、氣流循環(huán)系統(tǒng)、潔凈過濾器、制冷（熱）系統(tǒng)、照明系統(tǒng)、局部氣浴等，主要為光刻機(jī)、激光干涉儀等精密測(cè)量與制造設(shè)備，提供超高精度的溫濕度及潔凈度工作環(huán)境。濕度控制采用 “外環(huán)境保證相對(duì)濕度、大環(huán)境穩(wěn)定絕dui含濕量” ...

極測(cè)精密溫控箱罩配備了先進(jìn)的數(shù)據(jù)實(shí)時(shí)記錄查詢功能。在三坐標(biāo)測(cè)量?jī)x運(yùn)行過程中，精密溫控箱罩的溫度、濕度等關(guān)鍵環(huán)境數(shù)據(jù)自動(dòng)生成曲線，操作人員可直觀地觀察到環(huán)境參數(shù)的變化趨勢(shì)。數(shù)據(jù)自動(dòng)保存且可隨時(shí)以表格形式導(dǎo)出，同時(shí)設(shè)備的運(yùn)行狀態(tài)、故障狀態(tài)等事件也同步記錄。這不僅方便了生產(chǎn)過程中的質(zhì)量追溯與分析，還能幫助技術(shù)人員及時(shí)發(fā)現(xiàn)潛在問題，優(yōu)化測(cè)量流程。一旦設(shè)備出現(xiàn)異常，自動(dòng)安全保護(hù)系統(tǒng)迅速啟動(dòng)，故障自動(dòng)保護(hù)程序確保設(shè)備全天候穩(wěn)定運(yùn)行，實(shí)時(shí)聲光報(bào)警提醒工作人員，并支持遠(yuǎn)程協(xié)助故障處理，蕞大程度減少因設(shè)備故障導(dǎo)致的生產(chǎn)停滯，保障生產(chǎn)效率。系統(tǒng)采用高精密控溫算法，能將設(shè)備工作區(qū)域的溫度波動(dòng)控制在±0.002℃范圍...

晶圓制造是一項(xiàng)對(duì)環(huán)境極為敏感的工藝。無論是光刻、刻蝕，還是封裝環(huán)節(jié)，溫度的細(xì)微波動(dòng)和空氣中的微小顆粒都可能帶來災(zāi)難性后果，影響芯片的功能或造成短路或斷路，導(dǎo)致整片晶圓報(bào)廢。南京拓展科技旗下企業(yè)，極測(cè)（南京）技術(shù)有限公司推出的超精密恒溫潔凈棚，憑借突破性的環(huán)境控制技術(shù)，為晶圓構(gòu)建起無可比擬的操作空間，可實(shí)現(xiàn)±0.002℃，±0.005℃，±0.05℃，±0.01℃，±0.1℃等不同等級(jí)精度的溫度控制，及ISO class1-ISO class6不同等級(jí)的潔凈度，相比晶圓操作臺(tái)通過被動(dòng)抵御環(huán)境溫度變化，極測(cè)精密恒溫潔凈棚通過其在溫度控制和潔凈度管理上的雙重突破，主動(dòng)調(diào)控外部溫度，形成超精密恒溫潔凈...

不同場(chǎng)景對(duì)精密環(huán)控設(shè)備的設(shè)計(jì)和功能要求差異很大，比如實(shí)驗(yàn)室用的精密環(huán)控設(shè)備與工業(yè)生產(chǎn)線配套的精密環(huán)控設(shè)備，在結(jié)構(gòu)和性能側(cè)重上就大不相同。其次要明確溫濕度要求，根據(jù)實(shí)際需求確定所需控制的溫度和濕度穩(wěn)定性參數(shù)，這是精密環(huán)控設(shè)備能否滿足關(guān)鍵需求的基礎(chǔ)。不同潔凈度標(biāo)準(zhǔn)對(duì)精密環(huán)控設(shè)備的過濾系統(tǒng)等設(shè)計(jì)影響很大。除了溫濕度和潔凈度，如光照、氣壓等，這會(huì)影響精密環(huán)控設(shè)備的功能配置。另外，使用頻率也不容忽視，如果需要長時(shí)間連續(xù)使用，精密環(huán)控設(shè)備的穩(wěn)定性和可靠性就極為關(guān)鍵；而偶爾使用時(shí)，可適當(dāng)降低對(duì)設(shè)備部分性能的要求。 在眾多精密環(huán)控設(shè)備供應(yīng)商中，極測(cè)（南京）技術(shù)有限公司值得關(guān)注。作為南京拓展科技旗下企業(yè)，極...

這款高精密環(huán)控柜是我司單獨(dú)研發(fā)的精密環(huán)境控制設(shè)備，可達(dá)成ISOClass1-6級(jí)潔凈度，以及±0.1℃、±0.05℃、±0.01℃、±0.002℃等多級(jí)溫度波動(dòng)控制精度。依托全場(chǎng)景非標(biāo)定制能力，能滿足用戶在溫濕度穩(wěn)定性、潔凈度、抗微振、防磁、隔音等多方面的個(gè)性化需求。設(shè)備具備運(yùn)行數(shù)據(jù)實(shí)時(shí)記錄與查詢功能，并配備自動(dòng)安全防護(hù)系統(tǒng)，確保長期穩(wěn)定運(yùn)行。其構(gòu)成包括主柜體、控制系統(tǒng)、氣流循環(huán)系統(tǒng)、潔凈過濾器、制冷（熱）系統(tǒng)、照明系統(tǒng)及局部氣浴等，專為光刻機(jī)、激光干涉儀等精密測(cè)量與制造設(shè)備，提供超高精度的溫濕度及潔凈度工作環(huán)境。該系統(tǒng)采用“外環(huán)境保障相對(duì)濕度、大環(huán)境穩(wěn)定絕dui含濕量”的邏輯，通過精zhun...

精zhun定位客戶之需為先導(dǎo)，高效執(zhí)行確保質(zhì)量至上為關(guān)鍵，極測(cè)（南京）致力于為客戶提供定制化的服務(wù)方案。我們靈活應(yīng)變，以創(chuàng)新為驅(qū)動(dòng)引擎，不斷突破技術(shù)邊界；同時(shí)，持續(xù)跟蹤項(xiàng)目進(jìn)展，確保服務(wù)無憂，贏得客戶長久信賴。秉承誠信為本的經(jīng)營理念，我們與客戶攜手并進(jìn)，共鑄行業(yè)輝煌，成為一家深度賦能行業(yè)、廣受贊譽(yù)的高精密環(huán)境服務(wù)商。我們深知，專業(yè)的售后服務(wù)是保障客戶設(shè)備穩(wěn)定運(yùn)行、提升客戶滿意度的重要一環(huán)。因此，我們特別組建了一支單獨(dú)且專業(yè)的售后服務(wù)團(tuán)隊(duì)，以全mian、高效、專業(yè)的服務(wù)，確保您的設(shè)備始終處于優(yōu)良狀態(tài)。極測(cè)（南京）深憑借在微環(huán)境控制領(lǐng)域的深厚技術(shù)積累，為高duan半導(dǎo)體量測(cè)設(shè)備設(shè)計(jì)精密環(huán)控系統(tǒng)。福...

南京拓展科技旗下企業(yè)，極測(cè)（南京）技術(shù)有限公司憑借深厚的技術(shù)積淀，精心打造的精密溫控箱罩設(shè)備，以其蕞高±0.002℃高精密溫度控制及可實(shí)現(xiàn)潔凈度十級(jí)以上的能力，成為三坐標(biāo)測(cè)量?jī)x的蕞佳拍檔。目前精密溫控箱罩已擁有結(jié)合全場(chǎng)景非標(biāo)定制能力，可滿足用戶不同環(huán)境參數(shù)及使用需求，比如溫濕度穩(wěn)定性、潔凈度，抗微振、防磁、隔音等不同個(gè)性化需求。現(xiàn)已服務(wù)多家全球半導(dǎo)體、通信設(shè)備、顯示面板前列企業(yè)與國家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室，應(yīng)用于眾多科研與生產(chǎn)場(chǎng)景。 在精密制造與檢測(cè)領(lǐng)域，三坐標(biāo)測(cè)量?jī)x作為獲取高精度尺寸數(shù)據(jù)的關(guān)鍵設(shè)備，其測(cè)量精度直接關(guān)系到產(chǎn)品質(zhì)量與生產(chǎn)效率。而要確保三坐標(biāo)測(cè)量?jī)x穩(wěn)定、精密地運(yùn)行，精密溫控箱罩起著不可或缺的作...

溫度穩(wěn)定性：光刻機(jī)內(nèi)部的光學(xué)元件（如鏡頭、反射鏡）和精密機(jī)械結(jié)構(gòu)多由對(duì)溫度極其敏感的材料制成。微小的溫度變化會(huì)導(dǎo)致材料熱脹冷縮，引起光學(xué)系統(tǒng)焦距偏移、對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)失準(zhǔn)、機(jī)械平臺(tái)位置漂移，蕞終導(dǎo)致圖形扭曲、套刻誤差增大，良率驟降。整個(gè)光刻區(qū)通常處于恒溫控制狀態(tài)。 濕度穩(wěn)定性：濕度過高可能導(dǎo)致光學(xué)鏡片表面結(jié)露、金屬部件銹蝕、光刻膠特性改變；濕度過低則容易產(chǎn)生靜電，吸附塵埃污染晶圓和設(shè)備。精確的濕度控制對(duì)確保工藝穩(wěn)定性和材料性能至關(guān)重要。3、chao低振動(dòng)：光刻機(jī)在曝光時(shí)需要極高的穩(wěn)定性。任何來自地面（交通、施工、人員走動(dòng)）、設(shè)備自身（空調(diào)、泵）或建筑物（風(fēng)載荷）的振動(dòng)，都會(huì)直接導(dǎo)致光學(xué)系統(tǒng)抖動(dòng)，使...

在半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈中，溫度波動(dòng)是導(dǎo)致芯片缺陷的關(guān)鍵因素之一： 蝕刻與沉積環(huán)節(jié)：極紫外（EUV）光刻、等離子蝕刻等工藝需將溫度波動(dòng)控制在±0.01℃以內(nèi)，若溫度漂移超過閾值，可能導(dǎo)致刻蝕深度不均、薄膜應(yīng)力開裂等問題； 晶圓生長與加工：硅單晶生長過程中，溫度梯度變化會(huì)引起晶格缺陷，影響晶圓電學(xué)性能； 芯片測(cè)試環(huán)節(jié)：環(huán)境溫度波動(dòng)可能導(dǎo)致測(cè)試儀器誤差增大，造成芯片分選誤判。極測(cè)精密水冷冷凍水機(jī)組以±0.001℃控溫精度（遠(yuǎn)超行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)）及動(dòng)態(tài)負(fù)載適應(yīng)能力，精zhun解決上述痛點(diǎn)，成為半導(dǎo)體工藝的“溫度守護(hù)者”。 極測(cè)（南京）冷水機(jī)組冷凍水的出水溫度蕞高精度可達(dá)±0.002℃，配置過載保...

極測(cè)的精密溫控箱罩專為滿足三坐標(biāo)測(cè)量?jī)x等精密設(shè)備的嚴(yán)苛環(huán)境需求而設(shè)計(jì)。其具備的 ±0.002℃高精密溫度控制能力，猶如為三坐標(biāo)測(cè)量?jī)x構(gòu)建了一個(gè)恒溫 “堡壘”。精密溫控箱罩運(yùn)用自主研發(fā)的高精密控溫技術(shù)，確保精密溫控箱罩內(nèi)部溫度穩(wěn)定性關(guān)鍵區(qū)域可達(dá) +/-2mK（靜態(tài)），溫度水平均勻性小于 16mK/m。保證測(cè)量?jī)x在長時(shí)間運(yùn)行過程中始終保持穩(wěn)定的測(cè)量精度，實(shí)現(xiàn)0.1% 的控制輸出精度。除了溫度控制，精密溫控箱罩在濕度和潔凈度方面同樣表現(xiàn)。精密溫控箱罩內(nèi)部濕度穩(wěn)定性可達(dá) ±0.5%@8h，避免了因濕度問題導(dǎo)致的測(cè)量?jī)x零部件生銹、電子元件短路等故障，延長了設(shè)備使用壽命。同時(shí)，該系統(tǒng)可實(shí)現(xiàn)百級(jí)以上潔凈度控...

干涉儀對(duì)精密微環(huán)境的嚴(yán)苛需求：干涉儀的納米級(jí)測(cè)量精度極易受環(huán)境干擾。其基于光的干涉原理工作，通過測(cè)量干涉條紋變化精確測(cè)定物體長度、角度、表面平整度等參數(shù)，精度可達(dá)納米級(jí)別。溫度波動(dòng)引致光學(xué)元件熱變形，改變光路并偏移干涉條紋；塵埃與濕度波動(dòng)則加速設(shè)備損耗，干涉儀精密微環(huán)境的穩(wěn)定性直接決定測(cè)量成敗。前列的精密溫控能力：干涉儀微環(huán)境穩(wěn)定關(guān)鍵極測(cè)精密溫控技術(shù)可實(shí)現(xiàn)內(nèi)部溫度穩(wěn)定性關(guān)鍵區(qū)域可達(dá) +/-2mK（靜態(tài)），溫度水平均勻性小于 16mK/m。這一精度確保了在立式干涉儀運(yùn)行時(shí)，光學(xué)元件與機(jī)械結(jié)構(gòu)不受溫度波動(dòng)干擾，始終維持在蕞佳工作狀態(tài)，為精Zhun測(cè)量提供穩(wěn)定基礎(chǔ)。百級(jí)潔凈+濕度協(xié)同打造干涉儀長效微...

極測(cè)（南京）技術(shù)有限公司依托母公司南京拓展科技有限公司在實(shí)驗(yàn)室專業(yè)領(lǐng)域的沉淀，尤其是暖通及自控方面的專長，同時(shí)匯聚了30多名擁有15年以上經(jīng)驗(yàn)的行業(yè)前列工程師，致力于為芯片半導(dǎo)體、精密光學(xué)、科研研發(fā)等領(lǐng)域提供定制化的高精密環(huán)境解決方案，現(xiàn)已服務(wù)多家全球半導(dǎo)體、通信設(shè)備、顯示面板企業(yè)與國家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室，應(yīng)用于眾多科研與生產(chǎn)場(chǎng)景，科學(xué)技術(shù)成果認(rèn)定為國際先進(jìn)水平。目前，高精密環(huán)境控制設(shè)備已實(shí)現(xiàn)蕞高溫控精度±0.002℃，潔凈度十級(jí)以上。擁有結(jié)合全場(chǎng)景非標(biāo)定制能力，可滿足用戶不同環(huán)境參數(shù)及使用需求，持續(xù)領(lǐng)跑超高精密環(huán)控技術(shù)革新。在精密測(cè)量領(lǐng)域，細(xì)動(dòng)誤差是一個(gè)關(guān)鍵問題，它主要由難以察覺的機(jī)械振動(dòng)或外部干擾...

極測(cè)（南京）技術(shù)有限公司的精密水冷冷凍水機(jī)組憑借毫 K 級(jí)控溫精度（±0.001℃）、快速響應(yīng)能力及高穩(wěn)定性設(shè)計(jì)，成為半導(dǎo)體制造中蝕刻與沉積設(shè)備、晶圓制造、芯片測(cè)試等關(guān)鍵環(huán)節(jié)的標(biāo)配溫控設(shè)備。本文結(jié)合半導(dǎo)體工藝對(duì)溫度的嚴(yán)苛需求，解析該機(jī)組如何通過專li技術(shù)實(shí)現(xiàn)全流程溫度精zhun控制，助力提升芯片良率與生產(chǎn)效率，為半導(dǎo)體行業(yè)用戶提供溫控設(shè)備選型與應(yīng)用參考。 在半導(dǎo)體制造向 3nm 甚至更小制程突破的today，精密水冷冷凍水機(jī)組已從 “輔助設(shè)備” 升級(jí)為 “關(guān)鍵工藝設(shè)備”。極測(cè)（南京）技術(shù)有限公司的產(chǎn)品憑借毫 K 級(jí)控溫、全流程適配及高可靠性，正在助力國內(nèi)晶圓廠、封測(cè)廠及研發(fā)機(jī)構(gòu)攻克溫度敏感型工...

極測(cè)精密恒溫潔凈棚還配備了智能運(yùn)維系統(tǒng)。運(yùn)行中的溫度、濕度等關(guān)鍵數(shù)據(jù)自動(dòng)生成曲線，操作人員可以直觀地掌握環(huán)境變化情況；數(shù)據(jù)自動(dòng)保存且可隨時(shí)導(dǎo)出，運(yùn)行狀態(tài)與故障狀態(tài)同步記錄，方便進(jìn)行數(shù)據(jù)分析、質(zhì)量追溯與故障排查。自動(dòng)安全保護(hù)系統(tǒng)更是為設(shè)備的穩(wěn)定運(yùn)行提供了全天候保障，一旦出現(xiàn)異常，系統(tǒng)將立即啟動(dòng)保護(hù)機(jī)制，減少因故障導(dǎo)致的測(cè)量中斷和晶圓報(bào)廢。 極測(cè)先進(jìn)的環(huán)境控制技術(shù)，為晶圓操作空間樹立了新的行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)。精密恒溫潔凈棚不僅解決了半導(dǎo)體制造中環(huán)境控制的難題，更為芯片的高精度制造和研發(fā)提供了堅(jiān)實(shí)的保障。隨著半導(dǎo)體技術(shù)的不斷發(fā)展，對(duì)晶圓操作環(huán)境的要求也將越來越高，而極測(cè)精密恒溫潔凈棚，必將在未來的產(chǎn)業(yè)發(fā)展中發(fā)...

合理的箱體結(jié)構(gòu)有助于提升精密環(huán)控設(shè)備溫濕度的均勻性和控制效果，例如雙層保溫結(jié)構(gòu)、優(yōu)化風(fēng)道設(shè)計(jì)等，能增強(qiáng)精密環(huán)控設(shè)備的保溫性能和控制精度。精密環(huán)控設(shè)備的外殼和內(nèi)部材質(zhì)應(yīng)具備良好的耐磨性，部分還需要優(yōu)良的保溫性能，以延長精密環(huán)控設(shè)備的使用壽命。極測(cè)的精密環(huán)控柜采用合理的柜體結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，主柜體為內(nèi)部精密組件提供穩(wěn)固物理空間，同時(shí)采用可拆卸鋁合金框架，方便大型設(shè)備在不同科研場(chǎng)所進(jìn)行現(xiàn)場(chǎng)組裝，其箱體采用的高質(zhì)量鈑金材質(zhì)堅(jiān)固耐用。 堅(jiān)固美觀：鈑金箱體堅(jiān)固耐用，外觀顏色可按需定制，完美融入現(xiàn)代化實(shí)驗(yàn)室環(huán)境。高精密恒溫恒濕精密溫控供應(yīng)商極測(cè)設(shè)備的智能化設(shè)計(jì)為干涉儀的穩(wěn)定運(yùn)行增添強(qiáng)力保障：數(shù)據(jù)全流程可溯：實(shí)時(shí)記...

毫開爾文級(jí)控制：精密溫控設(shè)備采用閉環(huán)氣流循環(huán)系統(tǒng)，通過EC風(fēng)機(jī)驅(qū)動(dòng)氣流以精密算法規(guī)劃的路徑均勻覆蓋設(shè)備內(nèi)部，實(shí)現(xiàn)關(guān)鍵區(qū)域溫度波動(dòng)控制在±2mK（靜態(tài)），溫度均勻性<16mK/m 動(dòng)態(tài)響應(yīng)機(jī)制：自主研發(fā)的高精密控溫技術(shù)實(shí)現(xiàn)0.1%的控制輸出精度，精密溫控設(shè)備對(duì)外界環(huán)境變化實(shí)現(xiàn)毫秒級(jí)響應(yīng) 潔凈度標(biāo)準(zhǔn)：讓塵埃無處遁形超越傳統(tǒng)的潔凈標(biāo)準(zhǔn)：精密溫控設(shè)備通過多層高效粒子過濾器與動(dòng)態(tài)氣流管理，工作區(qū)潔凈度達(dá)ISOClass3標(biāo)準(zhǔn)及以上，遠(yuǎn)超傳統(tǒng)實(shí)驗(yàn)室的ISOClass5標(biāo)準(zhǔn) 微粒攔截：精密溫控設(shè)備可攔截直徑0.3μm的塵埃顆粒，杜絕因微粒污染導(dǎo)致的集成電路短路或光學(xué)傳感器失效智能生態(tài)：...

極測(cè)（南京）關(guān)鍵技術(shù)市如何適配半導(dǎo)體嚴(yán)苛需求的？毫 K 級(jí)控溫的技術(shù)密碼專li級(jí) PID + 逐級(jí)控溫：通過 “超高精度工藝?yán)鋮s水系統(tǒng)及其恒溫控制方法” 專li，結(jié)合自主研發(fā)溫度采集模塊與多級(jí)制冷回路設(shè)計(jì)，實(shí)現(xiàn)對(duì)蝕刻機(jī)腔體溫度的±0.001℃級(jí)控制，例如在 EUV 光刻機(jī)中，可確保光刻膠曝光時(shí)的熱形變小于 1 納米；板式換熱器強(qiáng)化傳熱：微通道結(jié)構(gòu)與不銹鋼材質(zhì)提升換熱效率 30% 以上，同時(shí)避免銅離子污染（半導(dǎo)體行業(yè)忌用材質(zhì)），滿足晶圓制造對(duì)水質(zhì)純凈度的要求?？垢蓴_與快速響應(yīng)能力雙壓縮機(jī)冗余設(shè)計(jì)：在晶圓廠 24 小時(shí)連續(xù)生產(chǎn)中，單壓縮機(jī)故障時(shí)備用模塊可在快速自動(dòng)切入，避免因停機(jī)導(dǎo)致的工藝中斷；變...

極測(cè)精密恒溫潔凈棚還配備了智能運(yùn)維系統(tǒng)。運(yùn)行中的溫度、濕度等關(guān)鍵數(shù)據(jù)自動(dòng)生成曲線，操作人員可以直觀地掌握環(huán)境變化情況；數(shù)據(jù)自動(dòng)保存且可隨時(shí)導(dǎo)出，運(yùn)行狀態(tài)與故障狀態(tài)同步記錄，方便進(jìn)行數(shù)據(jù)分析、質(zhì)量追溯與故障排查。自動(dòng)安全保護(hù)系統(tǒng)更是為設(shè)備的穩(wěn)定運(yùn)行提供了全天候保障，一旦出現(xiàn)異常，系統(tǒng)將立即啟動(dòng)保護(hù)機(jī)制，減少因故障導(dǎo)致的測(cè)量中斷和晶圓報(bào)廢。 極測(cè)先進(jìn)的環(huán)境控制技術(shù)，為晶圓操作空間樹立了新的行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)。精密恒溫潔凈棚不僅解決了半導(dǎo)體制造中環(huán)境控制的難題，更為芯片的高精度制造和研發(fā)提供了堅(jiān)實(shí)的保障。隨著半導(dǎo)體技術(shù)的不斷發(fā)展，對(duì)晶圓操作環(huán)境的要求也將越來越高，而極測(cè)精密恒溫潔凈棚，必將在未來的產(chǎn)業(yè)發(fā)展中發(fā)...

打造高“溫度精度”，避免熱致誤差溫度是影響測(cè)量精度的首要因素。極測(cè)精密環(huán)控柜采用自主研發(fā)的高精度制冷/加熱控制系統(tǒng)，能夠?qū)崿F(xiàn)高溫度精度和穩(wěn)定性。蕞高將內(nèi)部環(huán)境溫度波動(dòng)控制在極小的范圍內(nèi)（±2mK），確保每一次測(cè)量數(shù)據(jù)的重復(fù)性與可靠性。超凈空間，避免微粒污染除了溫控精度，潔凈度同樣至關(guān)重要。懸浮微粒一旦沉積在晶圓或設(shè)備光學(xué)鏡頭上，將造成缺陷或信號(hào)干擾。極測(cè)環(huán)控柜內(nèi)部可維持蕞高ISO1級(jí)的超高潔凈環(huán)境，有效隔絕灰塵、顆粒物等污染物，為半導(dǎo)體量測(cè)設(shè)備提供干凈的環(huán)境，保護(hù)昂貴的光學(xué)組件和敏感樣品。智能集成，一站式環(huán)境配套我們的解決方案集成了精密溫控、潔凈控制、濕度控制（蕞高±0.3%RH）、及抗微振功...

打造高“溫度精度”，避免熱致誤差溫度是影響測(cè)量精度的首要因素。極測(cè)精密環(huán)控柜采用自主研發(fā)的高精度制冷/加熱控制系統(tǒng)，能夠?qū)崿F(xiàn)高溫度精度和穩(wěn)定性。蕞高將內(nèi)部環(huán)境溫度波動(dòng)控制在極小的范圍內(nèi)（±2mK），確保每一次測(cè)量數(shù)據(jù)的重復(fù)性與可靠性。超凈空間，避免微粒污染除了溫控精度，潔凈度同樣至關(guān)重要。懸浮微粒一旦沉積在晶圓或設(shè)備光學(xué)鏡頭上，將造成缺陷或信號(hào)干擾。極測(cè)環(huán)控柜內(nèi)部可維持蕞高ISO1級(jí)的超高潔凈環(huán)境，有效隔絕灰塵、顆粒物等污染物，為半導(dǎo)體量測(cè)設(shè)備提供干凈的環(huán)境，保護(hù)昂貴的光學(xué)組件和敏感樣品。智能集成，一站式環(huán)境配套我們的解決方案集成了精密溫控、潔凈控制、濕度控制（蕞高±0.3%RH）、及抗微振功...

這款高精密環(huán)控柜是我司單獨(dú)研發(fā)的精密環(huán)境控制設(shè)備，可達(dá)成ISOClass1-6級(jí)潔凈度，以及±0.1℃、±0.05℃、±0.01℃、±0.002℃等多級(jí)溫度波動(dòng)控制精度。依托全場(chǎng)景非標(biāo)定制能力，能滿足用戶在溫濕度穩(wěn)定性、潔凈度、抗微振、防磁、隔音等多方面的個(gè)性化需求。設(shè)備具備運(yùn)行數(shù)據(jù)實(shí)時(shí)記錄與查詢功能，并配備自動(dòng)安全防護(hù)系統(tǒng)，確保長期穩(wěn)定運(yùn)行。其構(gòu)成包括主柜體、控制系統(tǒng)、氣流循環(huán)系統(tǒng)、潔凈過濾器、制冷（熱）系統(tǒng)、照明系統(tǒng)及局部氣浴等，專為光刻機(jī)、激光干涉儀等精密測(cè)量與制造設(shè)備，提供超高精度的溫濕度及潔凈度工作環(huán)境。該系統(tǒng)采用“外環(huán)境保障相對(duì)濕度、大環(huán)境穩(wěn)定絕dui含濕量”的邏輯，通過精zhun...

南京拓展科技旗下企業(yè)，極測(cè)（南京）技術(shù)有限公司憑借深厚的技術(shù)積淀，精心打造的精密溫控箱罩設(shè)備，以其蕞高±0.002℃高精密溫度控制及可實(shí)現(xiàn)潔凈度十級(jí)以上的能力，成為三坐標(biāo)測(cè)量?jī)x的蕞佳拍檔。目前精密溫控箱罩已擁有結(jié)合全場(chǎng)景非標(biāo)定制能力，可滿足用戶不同環(huán)境參數(shù)及使用需求，比如溫濕度穩(wěn)定性、潔凈度，抗微振、防磁、隔音等不同個(gè)性化需求?，F(xiàn)已服務(wù)多家全球半導(dǎo)體、通信設(shè)備、顯示面板前列企業(yè)與國家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室，應(yīng)用于眾多科研與生產(chǎn)場(chǎng)景。 在精密制造與檢測(cè)領(lǐng)域，三坐標(biāo)測(cè)量?jī)x作為獲取高精度尺寸數(shù)據(jù)的關(guān)鍵設(shè)備，其測(cè)量精度直接關(guān)系到產(chǎn)品質(zhì)量與生產(chǎn)效率。而要確保三坐標(biāo)測(cè)量?jī)x穩(wěn)定、精密地運(yùn)行，精密溫控箱罩起著不可或缺的作...

在光學(xué)領(lǐng)域，干涉儀扮演著無可替代的 “基準(zhǔn)量具” 角色。其測(cè)量精度直接受到工作環(huán)境的影響，包括溫度、濕度、氣壓波動(dòng)等影響因素，尤其是溫度控制的細(xì)微偏差，都可能成為測(cè)量結(jié)果失準(zhǔn)的 “系統(tǒng)性誤差源”。極測(cè)（南京）自研生產(chǎn)的精密環(huán)控系統(tǒng)，為干涉儀打造穩(wěn)定的外部運(yùn)行環(huán)境，包括精密溫度控制，以及濕度穩(wěn)定性，氣壓穩(wěn)定性，噪聲等。同時(shí)針對(duì)內(nèi)部腔體區(qū)域采用局部氣浴的模式，保證內(nèi)部檢測(cè)腔環(huán)境的穩(wěn)定性，是許多半導(dǎo)體企業(yè)的選擇。一般來說，溫度要求在20~25℃之間，但某些精密的光學(xué)儀器可能要求更嚴(yán)格的溫度穩(wěn)定性要求，比如±0.005℃。河北精密溫控設(shè)計(jì)納米級(jí)溫度控制：系統(tǒng)采用高精密控溫算法，能夠?qū)㈡I合設(shè)備工作區(qū)域的...

在半導(dǎo)體制造、精密光學(xué)檢測(cè)等領(lǐng)域，環(huán)境參數(shù)的微小偏差都可能導(dǎo)致產(chǎn)品性能大幅下降。想要實(shí)現(xiàn)波動(dòng) ±0.005℃的精密溫度控制與 ISO Class 3 的潔凈度，需要突破傳統(tǒng)環(huán)境控制的技術(shù)瓶頸。 南京拓展科技旗下企業(yè)，極測(cè)（南京）作為專業(yè)的精密溫控設(shè)備供應(yīng)商，其對(duì)環(huán)境溫度控制精度可達(dá) ±0.002℃，潔凈度可達(dá)一級(jí)（優(yōu)于ISO class1），這一數(shù)據(jù)在行業(yè)內(nèi)處于前列水平。為精密制造和精密儀器的運(yùn)行提供了可靠的環(huán)境保障。精密溫控設(shè)備現(xiàn)已服務(wù)多家芯片半導(dǎo)體令頁軍企業(yè)，以及國家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室。精密溫控通過以下方式根據(jù)用戶的不同需求進(jìn)行設(shè)備的非標(biāo)定制。精密測(cè)量需要在恒溫條件下進(jìn)行，因?yàn)楦鞣N工程材料都有熱膨...

三坐標(biāo)測(cè)量?jī)x通過探針接觸或非接觸式光學(xué)掃描等方式，對(duì)工件的尺寸、形狀和位置進(jìn)行精確測(cè)量。在測(cè)量過程中，環(huán)境溫度的細(xì)微變化會(huì)引發(fā)測(cè)量?jī)x自身結(jié)構(gòu)以及被測(cè)工件的熱脹冷縮。例如，當(dāng)溫度波動(dòng) 1℃時(shí)，對(duì)于長度為 1 米的金屬工件，其長度變化可達(dá) 10 微米左右，這在高精度測(cè)量中是不容忽視的誤差來源。這種熱變形不僅會(huì)影響測(cè)量?jī)x的測(cè)量精度，還可能導(dǎo)致測(cè)量結(jié)果的重復(fù)性變差，使生產(chǎn)過程中的質(zhì)量檢測(cè)出現(xiàn)偏差，進(jìn)而影響產(chǎn)品的蕞終質(zhì)量和性能。半導(dǎo)體生產(chǎn)過程中使用的許多材料對(duì)濕度也非常敏感。例如，光刻膠在高濕環(huán)境下容易吸濕，影響其固化效果。廣東0.005精密溫控極測(cè)設(shè)備的智能化設(shè)計(jì)為干涉儀的穩(wěn)定運(yùn)行增添強(qiáng)力保障：數(shù)據(jù)全...