廣東精密溫控柜

極測（南京）關(guān)鍵技術(shù)市如何適配半導(dǎo)體嚴苛需求的？毫 K 級控溫的技術(shù)密碼專li級 PID + 逐級控溫：通過 “超高精度工藝冷卻水系統(tǒng)及其恒溫控制方法” 專li，結(jié)合自主研發(fā)溫度采集模塊與多級制冷回路設(shè)計，實現(xiàn)對蝕刻機腔體溫度的±0.001℃級控制，例如在 EUV 光刻機中，可確保光刻膠曝光時的熱形變小于 1 納米；板式換熱器強化傳熱：微通道結(jié)構(gòu)與不銹鋼材質(zhì)提升換熱效率 30% 以上，同時避免銅離子污染（半導(dǎo)體行業(yè)忌用材質(zhì)），滿足晶圓制造對水質(zhì)純凈度的要求。抗干擾與快速響應(yīng)能力雙壓縮機冗余設(shè)計：在晶圓廠 24 小時連續(xù)生產(chǎn)中，單壓縮機故障時備用模塊可在快速自動切入，避免因停機導(dǎo)致的工藝中斷；變頻技術(shù)動態(tài)調(diào)溫：通過壓縮機變頻調(diào)節(jié)制冷量，在芯片測試環(huán)節(jié)面對多工位負載切換時，溫度恢復(fù)時間很大縮短。在精密測量領(lǐng)域，細動誤差是一個關(guān)鍵問題，它主要由難以察覺的機械振動或外部干擾引起。廣東精密溫控柜

光刻機是半導(dǎo)體制造中的關(guān)鍵設(shè)備，其功能是通過光學(xué)投影方式，將掩模版上的集成電路圖形精確轉(zhuǎn)移到涂有光刻膠的晶圓表面，實現(xiàn)電路圖形的圖形化轉(zhuǎn)移工序。在芯片制造流程中，光刻環(huán)節(jié)是蕞為復(fù)雜且成本高昂的工藝步驟，其成本占晶圓制造總成本的三分之一，耗時占比達到 40%-60%，直接決定了芯片的制程精度與生產(chǎn)良率。其關(guān)鍵原理是利用高能激光作為光源，光束穿透掩模版后，經(jīng)過聚光鏡系統(tǒng)進行 1/16 比例的縮小，隨后精zhun聚焦于晶圓表面，使光刻膠發(fā)生感光反應(yīng)，從而完成電路圖形的高精度復(fù)制。相當于在頭發(fā)絲上刻出一座城市的地圖，其復(fù)雜程度和技術(shù)挑戰(zhàn)可想而知，也對運行使用環(huán)境有極高的要求。河南0.005精密溫控系統(tǒng)采用高精密控溫算法，能將設(shè)備工作區(qū)域的溫度波動控制在±0.002℃范圍內(nèi)（靜態(tài)工況下可達±2mK）。

這款高精密環(huán)控柜是我司單獨研發(fā)的精密環(huán)境控制設(shè)備，可達成ISOClass1-6級潔凈度，以及±0.1℃、±0.05℃、±0.01℃、±0.002℃等多級溫度波動控制精度。依托全場景非標定制能力，能滿足用戶在溫濕度穩(wěn)定性、潔凈度、抗微振、防磁、隔音等多方面的個性化需求。設(shè)備具備運行數(shù)據(jù)實時記錄與查詢功能，并配備自動安全防護系統(tǒng)，確保長期穩(wěn)定運行。其構(gòu)成包括主柜體、控制系統(tǒng)、氣流循環(huán)系統(tǒng)、潔凈過濾器、制冷（熱）系統(tǒng)、照明系統(tǒng)及局部氣浴等，專為光刻機、激光干涉儀等精密測量與制造設(shè)備，提供超高精度的溫濕度及潔凈度工作環(huán)境。該系統(tǒng)采用“外環(huán)境保障相對濕度、大環(huán)境穩(wěn)定絕dui含濕量”的邏輯，通過精zhun控溫實現(xiàn)倉內(nèi)濕度達標。為滿足嚴苛要求，采用大風(fēng)量小溫差設(shè)計，快速循環(huán)過濾空氣并帶走余熱，使關(guān)鍵區(qū)域溫度波動低至±0.002℃；同時通過多級控溫（表冷盤降溫+多級電加熱升溫），將精度從±0.1℃逐步提升至±0.002℃。

極測（南京）技術(shù)有限公司注重設(shè)備的穩(wěn)定性和可靠性。通過嚴格的質(zhì)量檢測和優(yōu)化設(shè)計，確保設(shè)備在長時間運行過程中保持穩(wěn)定性能，減少故障發(fā)生的概率。同時，極測還提供完善的售后服務(wù)，及時響應(yīng)客戶的需求，為客戶解決設(shè)備使用過程中遇到的問題。 作為精密溫控設(shè)備供應(yīng)商，極測（南京）始終將守護半導(dǎo)體制造精度作為使命。憑借前列的技術(shù)、可靠的產(chǎn)品和高質(zhì)量的服務(wù)，極測正在成為半導(dǎo)體制造企業(yè)信賴的合作伙伴，為推動半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的發(fā)展貢獻力量。我們的解決方案集成了精密溫控、潔凈控制、濕度控制（蕞高±0.3%RH）、及抗微振功能的綜合環(huán)境配套系統(tǒng)。

在光學(xué)領(lǐng)域，干涉儀扮演著無可替代的 “基準量具” 角色。其測量精度直接受到工作環(huán)境的影響，包括溫度、濕度、氣壓波動等影響因素，尤其是溫度控制的細微偏差，都可能成為測量結(jié)果失準的 “系統(tǒng)性誤差源”。極測（南京）自研生產(chǎn)的精密環(huán)控系統(tǒng)，為干涉儀打造穩(wěn)定的外部運行環(huán)境，包括精密溫度控制，以及濕度穩(wěn)定性，氣壓穩(wěn)定性，噪聲等。同時針對內(nèi)部腔體區(qū)域采用局部氣浴的模式，保證內(nèi)部檢測腔環(huán)境的穩(wěn)定性，是許多半導(dǎo)體企業(yè)的選擇。極測（南京）擁有自己的工廠，能夠有效地將研發(fā)成果轉(zhuǎn)化為實際產(chǎn)品。河北冷水機組精密溫控

在一些化學(xué)蝕刻工藝中，濕度過高或過低都會影響蝕刻速度和精度，蕞終影響芯片的良品率。廣東精密溫控柜

極測微環(huán)境控制系統(tǒng)運用自主研發(fā)的高精密控溫技術(shù)，控制輸出精度達 0.1%，設(shè)備內(nèi)部溫度穩(wěn)定性關(guān)鍵區(qū)域可達 +/-2mK（靜態(tài)），溫度水平均勻性小于 16mK/m。這一精度確保了在立式干涉儀運行時，光學(xué)元件與機械結(jié)構(gòu)不受溫度波動干擾，始終維持在蕞佳工作狀態(tài)，微環(huán)境控制系統(tǒng)為精zhun測量提供穩(wěn)定基礎(chǔ)。 廣東精密溫控柜