實時成像鎖相紅外熱成像系統(tǒng)

來源: 發(fā)布時間:2025-07-23

光束誘導電阻變化(OBIRCH)功能與微光顯微鏡(EMMI)技術常被集成于同一檢測系統(tǒng),合稱為光發(fā)射顯微鏡(PEM,PhotoEmissionMicroscope)。二者在原理與應用上形成巧妙互補,能夠協(xié)同應對集成電路中絕大多數失效模式,大幅提升失效分析的全面性與效率。OBIRCH技術的獨特優(yōu)勢在于,即便失效點被金屬層覆蓋形成“熱點”,其仍能通過光束照射引發(fā)的電阻變化特性實現(xiàn)精細檢測——這恰好彌補了EMMI在金屬遮擋區(qū)域光信號捕捉受限的不足。本系統(tǒng)對鎖相處理后的振幅和相位數據進行分析,生成振幅熱圖和相位熱圖,并通過算法定位異常區(qū)域。實時成像鎖相紅外熱成像系統(tǒng)

實時成像鎖相紅外熱成像系統(tǒng),鎖相紅外熱成像系統(tǒng)

在電子行業(yè),鎖相熱成像系統(tǒng)為芯片檢測帶來了巨大的變革。芯片結構精密復雜,傳統(tǒng)的檢測方法不僅效率低下,還可能對芯片造成損傷。而鎖相熱成像系統(tǒng)通過對芯片施加周期性的電激勵,使芯片內部因故障產生的微小溫度變化得以顯現(xiàn),系統(tǒng)能夠敏銳捕捉到這些變化,進而定位電路中的短路、虛焊等故障點。其非接觸式的檢測方式,從根本上避免了對精密電子元件的損傷,同時提升了芯片質檢的效率與準確性。在芯片生產的大規(guī)模質檢中,它能夠快速篩選出不合格產品,為電子行業(yè)的高質量發(fā)展提供了有力支持。直銷鎖相紅外熱成像系統(tǒng)對比快速定位相比其他檢測技術,鎖相熱成像技術能夠在短時間內快速定位熱點,縮短失效分析時間。

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OBIRCH與EMMI技術在集成電路失效分析領域中扮演著互補的角色,其主要差異體現(xiàn)在檢測原理及應用領域。具體而言,EMMI技術通過光子檢測手段來精確定位漏電或發(fā)光故障點,而OBIRCH技術則依賴于激光誘導電阻變化來識別短路或阻值異常區(qū)域。這兩種技術通常被整合于同一檢測系統(tǒng)(即PEM系統(tǒng))中,其中EMMI技術在探測光子發(fā)射類缺陷,如漏電流方面表現(xiàn)出色,而OBIRCH技術則對金屬層遮蔽下的短路現(xiàn)象具有更高的敏感度。例如,EMMI技術能夠有效檢測未開封芯片中的失效點,而OBIRCH技術則能有效解決低阻抗(<10 ohm)短路問題。

鎖相熱成像系統(tǒng)的維護保養(yǎng)是保證其長期穩(wěn)定運行的關鍵。系統(tǒng)的維護包括日常的清潔、部件的檢查和更換等。對于紅外熱像儀的鏡頭,需要定期用專門的清潔劑和鏡頭紙進行清潔,避免灰塵和污漬影響成像質量。鎖相放大器、激光器等關鍵部件要定期進行性能檢查,確保其參數在正常范圍內。如果發(fā)現(xiàn)部件出現(xiàn)老化或故障,要及時進行更換,以避免影響系統(tǒng)的檢測精度。此外,系統(tǒng)的冷卻系統(tǒng)也需要定期維護,確保其能夠正常工作,防止因設備過熱而影響性能。做好維護保養(yǎng)工作,能夠延長鎖相熱成像系統(tǒng)的使用壽命,降低設備故障的發(fā)生率,保證檢測工作的順利進行。在無損檢測領域,電激勵與鎖相熱成像系統(tǒng)的結合,為金屬構件疲勞裂紋的早期發(fā)現(xiàn)提供了有效手段。

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熱紅外顯微鏡(Thermal EMMI) 也是科研與教學領域的利器,其設備能捕捉微觀世界的熱信號。它將紅外探測與顯微技術結合,呈現(xiàn)物體表面溫度分布,分辨率達微米級,可觀察半導體芯片熱點、電子器件熱分布等。非接觸式測量是其一大優(yōu)勢,無需與被測物體直接接觸,避免了對樣品的干擾,適用于多種類型的樣品檢測。實時成像功能可追蹤動態(tài)熱變化,如材料相變、化學反應熱釋放。在高校,熱紅外顯微鏡助力多學科實驗;在企業(yè),為產品研發(fā)和質量檢測提供支持,推動各領域創(chuàng)新突破。電激勵為鎖相熱成像系統(tǒng)提供穩(wěn)定的熱激勵源。芯片用鎖相紅外熱成像系統(tǒng)品牌

鎖相檢測模塊功能是通過與電激勵信號的同步鎖相處理,從熱像序列中提取與激勵頻率一致的溫度波動分量。實時成像鎖相紅外熱成像系統(tǒng)

電激勵的鎖相熱成像系統(tǒng)在電子產業(yè)的柔性電子檢測中展現(xiàn)出廣闊的應用前景,為柔性電子技術的發(fā)展提供了關鍵的質量控制手段。柔性電子具有可彎曲、重量輕、便攜性好等優(yōu)點,廣泛應用于柔性顯示屏、柔性傳感器、可穿戴設備等領域。然而,柔性電子材料通常較薄且易變形,傳統(tǒng)的機械檢測或接觸式檢測方法容易對其造成損傷。電激勵方式在柔性電子檢測中具有獨特優(yōu)勢,可采用低電流的周期性激勵,避免對柔性材料造成破壞。鎖相熱成像系統(tǒng)能夠通過檢測柔性電子內部線路的溫度變化,識別出線路斷裂、層間剝離、電極脫落等缺陷。例如,在柔性顯示屏的檢測中,系統(tǒng)可以對顯示屏施加低電流電激勵,通過分析溫度場分布,發(fā)現(xiàn)隱藏在柔性基底中的細微線路缺陷,確保顯示屏的顯示效果和使用壽命。這一技術的應用,有效保障了柔性電子產品的質量,推動了電子產業(yè)中柔性電子技術的快速發(fā)展。實時成像鎖相紅外熱成像系統(tǒng)