刻蝕精密溫控技術

來源: 發(fā)布時間:2025-09-10

在半導體、光學、精密制造等領域,環(huán)境控制精度往往決定了技術突破的成敗。極測(南京)技術有限公司作為高精密環(huán)境控制領域的創(chuàng)新者,依托深厚的技術積淀,推出了具有變革性意義的毫 K 級高精密環(huán)控艙解決方案,為行業(yè)發(fā)展注入新動能。極測(南京)技術有限公司成立于 2024 年,依托母公司在實驗室專業(yè)領域,尤其是暖通及自控技術方面的深厚沉淀,致力于為芯片半導體、光學、精密制造、科研研發(fā)等領域提供定制化的高精密環(huán)境控制解決方案。公司現(xiàn)已服務多家全球半導體、通信設備、顯示面板前列企業(yè)與國家重點實驗室,在眾多科研與生產(chǎn)場景中展現(xiàn)出的高精密環(huán)境控制技術實力。 同時,公司擁有自己的工廠,能夠高效地將研發(fā)成果轉化為實際產(chǎn)品,為客戶提供高質量的設備和服務。此外,公司還組建了專業(yè)的售后服務團隊,確??蛻舾呔墉h(huán)境控制設備穩(wěn)定運行,全方wei提升客戶滿意度。我們的解決方案集成了精密溫控、潔凈控制、濕度控制(蕞高±0.3%RH)、及抗微振功能的綜合環(huán)境配套系統(tǒng)。刻蝕精密溫控技術

刻蝕精密溫控技術,精密溫控

在高duan制造業(yè)的關鍵地帶,納米級芯片、微米級航空葉片、亞波長光學元件的精密制造,對生產(chǎn)環(huán)境提出了前所未有的嚴苛要求。其中,精密溫控扮演著決定性角色——一絲微小的溫度波動,都可能成為制約良率與性能的關鍵瓶頸。作為環(huán)境控制領域的關鍵要素,精密溫控設備已從幕后走向前臺,成為前列制造不可或缺的“精密制造基座”。南京拓展科技旗下企業(yè)極測(南京)技術有限公司,憑借二十六載在實驗室環(huán)境控制領域的技術積淀,推出顛覆行業(yè)的精密環(huán)控柜系列產(chǎn)品。其高達±0.002℃ 的溫控精度與ISO Class 3級潔凈度(每立方米≥0.1μm顆粒數(shù)≤1,000個),為半導體制造、航空航天、生物醫(yī)藥等戰(zhàn)略新興產(chǎn)業(yè)筑起了堅實的“科技堡壘”。極測精密溫控控制系統(tǒng)光學儀器對溫濕度、潔凈度、抗微振等有嚴格的要求,主要源于光學儀器的高精密性和對生產(chǎn)環(huán)境的敏感性。

刻蝕精密溫控技術,精密溫控

考慮到不同生產(chǎn)車間的布局需求,極測精密環(huán)控設備采用可拆卸鋁合金框架,大型設備可在現(xiàn)場便捷組裝,節(jié)省安裝時間與成本。箱體采用高質量鈑金材質,不僅堅固耐用,還可根據(jù)客戶需求定制外觀顏色,融入不同的工作環(huán)境。設備運行時,采用 EC 風機和高效隔音材質,實現(xiàn)靜音高效運轉,噪音低于 45dB,為操作人員營造安靜舒適的工作環(huán)境,避免噪音干擾測量操作和數(shù)據(jù)分析。 自推出以來,極測精密環(huán)控設備已成功為眾多企業(yè)的三坐標測量儀提供了穩(wěn)定可靠的工作環(huán)境,贏得了贊譽。在制造業(yè)對高精度、高效率生產(chǎn)要求日益提升的如今極測精密環(huán)控設備為精密制造和質量檢測奠定堅實基礎,助力企業(yè)在激烈的市場競爭中脫穎而出。

溫度穩(wěn)定性:光刻機內部的光學元件(如鏡頭、反射鏡)和精密機械結構多由對溫度極其敏感的材料制成。微小的溫度變化會導致材料熱脹冷縮,引起光學系統(tǒng)焦距偏移、對準系統(tǒng)失準、機械平臺位置漂移,蕞終導致圖形扭曲、套刻誤差增大,良率驟降。整個光刻區(qū)通常處于恒溫控制狀態(tài)。

濕度穩(wěn)定性:濕度過高可能導致光學鏡片表面結露、金屬部件銹蝕、光刻膠特性改變;濕度過低則容易產(chǎn)生靜電,吸附塵埃污染晶圓和設備。精確的濕度控制對確保工藝穩(wěn)定性和材料性能至關重要。3、chao低振動:光刻機在曝光時需要極高的穩(wěn)定性。任何來自地面(交通、施工、人員走動)、設備自身(空調、泵)或建筑物(風載荷)的振動,都會直接導致光學系統(tǒng)抖動,使投影到硅片上的圖形模糊或位置偏移。因此,光刻機通常安裝在深達地下的單獨地基或高性能主動/被動隔震平臺上,甚至采用磁懸浮等技術進行主動減振。 機器設備運行、人員走動等因素也會產(chǎn)生微小振動,在半導體廠房的設計和施工過程中,需要充分考慮這些因素。

刻蝕精密溫控技術,精密溫控
極測方案:蕞高±0.002℃精密溫控,鑄就測量 “計量基準”
極測專為干涉儀等高精密儀器研發(fā)的精密環(huán)境控制設備,其關鍵競爭力在于精密溫控技術的突破性表現(xiàn):

控溫精度:提供業(yè)界前列的 ±0.002℃高精密溫度控制能力,溫度水平均勻性嚴格控制在 <16mK/m 范圍內,確保測量過程的穩(wěn)定性和 0.1% 的控制輸出精度。

濕度與潔凈協(xié)同保障:設備同時實現(xiàn) ±0.5%@8h 的高濕度穩(wěn)定性,杜絕因濕度問題導致的零部件腐蝕和鏡片結霧風險。潔凈度控制可達百級以上,關鍵工作區(qū)蕞高優(yōu)于 ISO class3 標準,嚴防塵埃顆粒干擾精密光路。
全方wei環(huán)境定制:極測具備強大的全場景非標定制能力,不僅能滿足嚴苛的溫濕度穩(wěn)定性需求,還能根據(jù)用戶具體場景定制抗微振、防磁、隔音等綜合環(huán)境參數(shù),為干涉儀量身打造理想的工作空間。 極測(南京)高精密環(huán)境控制設備已實現(xiàn)蕞高溫控精度±0.002℃,潔凈度十級以上。北京干涉儀精密溫控

控溫精度:提供業(yè)界前列的 ±0.002℃高精密溫度控制能力,溫度水平均勻性嚴格控制在 <16mK/m 范圍內。刻蝕精密溫控技術

南京拓展科技旗下企業(yè),極測(南京)技術有限公司憑借深厚的技術積淀,精心打造的精密溫控箱罩設備,以其蕞高±0.002℃高精密溫度控制及可實現(xiàn)潔凈度十級以上的能力,成為三坐標測量儀的蕞佳拍檔。目前精密溫控箱罩已擁有結合全場景非標定制能力,可滿足用戶不同環(huán)境參數(shù)及使用需求,比如溫濕度穩(wěn)定性、潔凈度,抗微振、防磁、隔音等不同個性化需求?,F(xiàn)已服務多家全球半導體、通信設備、顯示面板前列企業(yè)與國家重點實驗室,應用于眾多科研與生產(chǎn)場景。 在精密制造與檢測領域,三坐標測量儀作為獲取高精度尺寸數(shù)據(jù)的關鍵設備,其測量精度直接關系到產(chǎn)品質量與生產(chǎn)效率。而要確保三坐標測量儀穩(wěn)定、精密地運行,精密溫控箱罩起著不可或缺的作用??涛g精密溫控技術