極測(南京)技術有限公司依托母公司南京拓展科技有限公司在實驗室專業(yè)領域的沉淀,尤其是暖通及自控方面的專長,同時匯聚了30多名擁有15年以上經(jīng)驗的行業(yè)前列工程師,致力于為芯片半導體、精密光學、科研研發(fā)等領域提供定制化的高精密環(huán)境解決方案,現(xiàn)已服務多家全球半導體、通信設備、顯示面板企業(yè)與國家重點實驗室,應用于眾多科研與生產場景,科學技術成果認定為國際先進水平。目前,高精密環(huán)境控制設備已實現(xiàn)蕞高溫控精度±0.002℃,潔凈度十級以上。擁有結合全場景非標定制能力,可滿足用戶不同環(huán)境參數(shù)及使用需求,持續(xù)領跑超高精密環(huán)控技術革新。此外,晶圓在高溫環(huán)境下可能會因為熱膨脹而發(fā)生變形,影響成品率。激光設備精密溫控柜

極測精密恒溫潔凈棚還配備了智能運維系統(tǒng)。運行中的溫度、濕度等關鍵數(shù)據(jù)自動生成曲線,操作人員可以直觀地掌握環(huán)境變化情況;數(shù)據(jù)自動保存且可隨時導出,運行狀態(tài)與故障狀態(tài)同步記錄,方便進行數(shù)據(jù)分析、質量追溯與故障排查。自動安全保護系統(tǒng)更是為設備的穩(wěn)定運行提供了全天候保障,一旦出現(xiàn)異常,系統(tǒng)將立即啟動保護機制,減少因故障導致的測量中斷和晶圓報廢。 極測先進的環(huán)境控制技術,為晶圓操作空間樹立了新的行業(yè)標準。精密恒溫潔凈棚不僅解決了半導體制造中環(huán)境控制的難題,更為芯片的高精度制造和研發(fā)提供了堅實的保障。隨著半導體技術的不斷發(fā)展,對晶圓操作環(huán)境的要求也將越來越高,而極測精密恒溫潔凈棚,必將在未來的產業(yè)發(fā)展中發(fā)揮更加重要的作用,助力我國半導體產業(yè)邁向新的高度。恒溫恒濕潔凈精密溫控除了溫控精度與潔凈度,系統(tǒng)蕞高能將濕度穩(wěn)定性維持在±0.3%RH,壓力波動控制在±3Pa以內。

合理的箱體結構有助于提升精密環(huán)控設備溫濕度的均勻性和控制效果,例如雙層保溫結構、優(yōu)化風道設計等,能增強精密環(huán)控設備的保溫性能和控制精度。精密環(huán)控設備的外殼和內部材質應具備良好的耐磨性,部分還需要優(yōu)良的保溫性能,以延長精密環(huán)控設備的使用壽命。極測的精密環(huán)控柜采用合理的柜體結構設計,主柜體為內部精密組件提供穩(wěn)固物理空間,同時采用可拆卸鋁合金框架,方便大型設備在不同科研場所進行現(xiàn)場組裝,其箱體采用的高質量鈑金材質堅固耐用。
極測(南京)微環(huán)境控制系統(tǒng)設備內部濕度穩(wěn)定性可達 ±0.5%@8h,有效防止因濕度變化引發(fā)的光學元件發(fā)霉、機械部件生銹等問題,延長立式干涉儀使用壽命。同時,系統(tǒng)可實現(xiàn)百級以上潔凈度控制,蕞高優(yōu)于 ISO class3(設備工作區(qū)),避免灰塵等污染物影響光線傳播與干涉條紋,為干涉儀營造超凈工作空間。 智能功能助力運維極測微環(huán)境控制系統(tǒng)具備強大的數(shù)據(jù)實時記錄查詢功能。運行中的溫度、濕度等關鍵數(shù)據(jù)自動生成曲線,便于操作人員直觀掌握環(huán)境變化。微環(huán)境控制系統(tǒng)數(shù)據(jù)自動保存且可隨時導出,運行狀態(tài)與故障狀態(tài)同步記錄,方便進行數(shù)據(jù)分析、質量追溯與故障排查。此外,自動安全保護系統(tǒng)可實現(xiàn)故障自動保護,確保設備全天候穩(wěn)定運行,減少因故障導致的測量中斷。潔凈室內的溫度波動可能會導致晶圓材料的物理性質發(fā)生變化,影響生產精度。

打造波動 ±0.005℃、潔凈度 ISO Class 3 的精密環(huán)境是一項復雜的系統(tǒng)工程。通過明確目標、構建系統(tǒng)、智能監(jiān)測和完善維護,能夠有效實現(xiàn)這一目標。極測(南京)精密溫控設備為高duan產業(yè)和科研活動提供穩(wěn)定、可靠的環(huán)境保障,推動行業(yè)不斷向著更高精度、更高質量的方向發(fā)展。第一步,確定環(huán)境要求標準與目標。根據(jù)具體的生產或實驗需求,明確溫度、濕度、潔凈度等各項參數(shù)的目標值;以及對此環(huán)境所處的外部大環(huán)境參數(shù)進行確認。第二步,明確高精度環(huán)境要求空間大小,并構建環(huán)境控制系統(tǒng)。根據(jù)所需空間大小搭建外部框架,針對框架空間內的溫度控制,選擇相應精密溫控設備并合理布局,確保溫度在整個空間內均勻分布。第三步,實施智能監(jiān)測與反饋。精密溫控設備通過部署高精度傳感器實時監(jiān)測環(huán)境中的各項參數(shù),并將數(shù)據(jù)傳輸至智能控制系統(tǒng),進行智能調控,使環(huán)境恢復穩(wěn)定。蕞后,建立完善的維護體系。定期對環(huán)境控制系統(tǒng)進行維護和保養(yǎng),包括清潔設備、更換濾芯、校準傳感器等,確保精密溫控設備始終處于良好的運行狀態(tài)。
光學儀器對溫濕度、潔凈度、抗微振等有嚴格的要求,主要源于光學儀器的高精密性和對生產環(huán)境的敏感性。0.05精密溫控配套
極測(南京)技術有限公司依托母公司南京拓展科技有限公司在實驗室專業(yè)領域的沉淀不斷壯大。激光設備精密溫控柜
半導體制造中鍵合設備對環(huán)境要求極高,需在恒溫、恒濕、高潔凈的環(huán)境中運行,同時嚴格控制振動與靜電。這些要求旨在確保鍵合界面的材料活性穩(wěn)定、設備機械精度達標,避免因溫濕度波動導致的鍵合偏差、顆粒污染引發(fā)的界面缺陷或靜電損壞芯片,從而保障微米級至亞微米級鍵合精度及產品良率與可靠性。 精密潔凈間的主柜體為內部精密組件構筑起穩(wěn)固的運作空間;依托高精密控溫技術,以0.1%的精密控制輸出精度。此外,精密潔凈間設備配備的氣流循環(huán)系統(tǒng),通過風機驅動氣流定向循環(huán),結合高效潔凈過濾器,不僅能確保設備內部溫度均勻分布,更能達到百級以上的超高潔凈標準,工作區(qū)域潔凈度蕞高優(yōu)于ISO class3,為半導體光刻機、鍵合設備等對環(huán)境要求嚴苛的精密儀器,打造了近乎完美的研發(fā)生產環(huán)境。激光設備精密溫控柜