江蘇精密儀器精密溫控

南京拓展科技旗下企業(yè)，極測（南京）技術(shù)有限公司憑借深厚的技術(shù)積淀，精心打造的精密溫控箱罩設(shè)備，以其蕞高±0.002℃高精密溫度控制及可實(shí)現(xiàn)潔凈度十級以上的能力，成為三坐標(biāo)測量儀的蕞佳拍檔。目前精密溫控箱罩已擁有結(jié)合全場景非標(biāo)定制能力，可滿足用戶不同環(huán)境參數(shù)及使用需求，比如溫濕度穩(wěn)定性、潔凈度，抗微振、防磁、隔音等不同個(gè)性化需求。現(xiàn)已服務(wù)多家全球半導(dǎo)體、通信設(shè)備、顯示面板前列企業(yè)與國家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室，應(yīng)用于眾多科研與生產(chǎn)場景。 在精密制造與檢測領(lǐng)域，三坐標(biāo)測量儀作為獲取高精度尺寸數(shù)據(jù)的關(guān)鍵設(shè)備，其測量精度直接關(guān)系到產(chǎn)品質(zhì)量與生產(chǎn)效率。而要確保三坐標(biāo)測量儀穩(wěn)定、精密地運(yùn)行，精密溫控箱罩起著不可或缺的作用。極測（南京）技術(shù)有限公司依托母公司南京拓展科技有限公司在實(shí)驗(yàn)室專業(yè)領(lǐng)域的沉淀不斷壯大。江蘇精密儀器精密溫控

在半導(dǎo)體制造、精密光學(xué)檢測等領(lǐng)域，環(huán)境參數(shù)的微小偏差都可能導(dǎo)致產(chǎn)品性能大幅下降。想要實(shí)現(xiàn)波動 ±0.005℃的精密溫度控制與 ISO Class 3 的潔凈度，需要突破傳統(tǒng)環(huán)境控制的技術(shù)瓶頸。 南京拓展科技旗下企業(yè)，極測（南京）作為專業(yè)的精密溫控設(shè)備供應(yīng)商，其對環(huán)境溫度控制精度可達(dá) ±0.002℃，潔凈度可達(dá)一級（優(yōu)于ISO class1），這一數(shù)據(jù)在行業(yè)內(nèi)處于前列水平。為精密制造和精密儀器的運(yùn)行提供了可靠的環(huán)境保障。精密溫控設(shè)備現(xiàn)已服務(wù)多家芯片半導(dǎo)體令頁軍企業(yè)，以及國家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室。精密溫控通過以下方式根據(jù)用戶的不同需求進(jìn)行設(shè)備的非標(biāo)定制。青海精密溫控公司系統(tǒng)采用高精密控溫算法，能將設(shè)備工作區(qū)域的溫度波動控制在±0.002℃范圍內(nèi)（靜態(tài)工況下可達(dá)±2mK）。

濕度穩(wěn)定性：濕度過高可能導(dǎo)致光學(xué)鏡片表面結(jié)露、金屬部件銹蝕、光刻膠特性改變；濕度過低則容易產(chǎn)生靜電，吸附塵埃污染晶圓和設(shè)備。精確的濕度控制對確保工藝穩(wěn)定性和材料性能至關(guān)重要。3、chao低振動：光刻機(jī)在曝光時(shí)需要極高的穩(wěn)定性。任何來自地面（交通、施工、人員走動）、設(shè)備自身（空調(diào)、泵）或建筑物（風(fēng)載荷）的振動，都會直接導(dǎo)致光學(xué)系統(tǒng)抖動，使投影到硅片上的圖形模糊或位置偏移。因此，光刻機(jī)通常安裝在深達(dá)地下的單獨(dú)地基或高性能主動/被動隔震平臺上，甚至采用磁懸浮等技術(shù)進(jìn)行主動減振。

若需要對溫濕度數(shù)據(jù)進(jìn)行長期監(jiān)測和分析，選擇具有數(shù)據(jù)記錄與存儲功能的精密環(huán)控設(shè)備很有必要，部分設(shè)備還可通過 USB、以太網(wǎng)等接口將數(shù)據(jù)傳輸?shù)接?jì)算機(jī)或云端。極測精密溫控設(shè)備具備強(qiáng)大的數(shù)據(jù)實(shí)時(shí)記錄查詢功能，實(shí)驗(yàn)過程中的溫度、濕度等關(guān)鍵數(shù)據(jù)自動生成曲線，數(shù)據(jù)自動保存并支持隨時(shí)以表格形式導(dǎo)出，設(shè)備的運(yùn)行狀態(tài)、故障狀態(tài)等信息也同步記錄，方便人員進(jìn)行全mian的數(shù)據(jù)追溯和深入分析。遠(yuǎn)程監(jiān)控與報(bào)警功能也很實(shí)用，通過手機(jī)、電腦等設(shè)備可隨時(shí)隨地監(jiān)控精密環(huán)控設(shè)備的運(yùn)行狀態(tài)，當(dāng)溫濕度超出設(shè)定范圍或設(shè)備出現(xiàn)故障時(shí)，報(bào)警功能能及時(shí)通知用戶，便于及時(shí)處理。極測的設(shè)備一旦出現(xiàn)故障，實(shí)時(shí)聲光報(bào)警提醒并支持遠(yuǎn)程協(xié)助故障處理，蕞大程度減少設(shè)備故障對科研進(jìn)度或生產(chǎn)的影響。精密測量要求環(huán)境高度潔凈，以防止微粒、塵埃和顆粒物影響測量精度?？梢允褂肏EPA過濾器、潔凈工作臺等。

極測（南京）關(guān)鍵技術(shù)市如何適配半導(dǎo)體嚴(yán)苛需求的？毫 K 級控溫的技術(shù)密碼專li級 PID + 逐級控溫：通過 “超高精度工藝?yán)鋮s水系統(tǒng)及其恒溫控制方法” 專li，結(jié)合自主研發(fā)溫度采集模塊與多級制冷回路設(shè)計(jì)，實(shí)現(xiàn)對蝕刻機(jī)腔體溫度的±0.001℃級控制，例如在 EUV 光刻機(jī)中，可確保光刻膠曝光時(shí)的熱形變小于 1 納米；板式換熱器強(qiáng)化傳熱：微通道結(jié)構(gòu)與不銹鋼材質(zhì)提升換熱效率 30% 以上，同時(shí)避免銅離子污染（半導(dǎo)體行業(yè)忌用材質(zhì)），滿足晶圓制造對水質(zhì)純凈度的要求。抗干擾與快速響應(yīng)能力雙壓縮機(jī)冗余設(shè)計(jì)：在晶圓廠 24 小時(shí)連續(xù)生產(chǎn)中，單壓縮機(jī)故障時(shí)備用模塊可在快速自動切入，避免因停機(jī)導(dǎo)致的工藝中斷；變頻技術(shù)動態(tài)調(diào)溫：通過壓縮機(jī)變頻調(diào)節(jié)制冷量，在芯片測試環(huán)節(jié)面對多工位負(fù)載切換時(shí)，溫度恢復(fù)時(shí)間很大縮短。智能閉環(huán)監(jiān)控：內(nèi)置自動安全保護(hù)系統(tǒng)，異常情況即時(shí)響應(yīng)，故障自動處理機(jī)制確保設(shè)備 7x24 小時(shí)無憂運(yùn)行。北京精密儀器精密溫控

極測（南京）高精密環(huán)境控制設(shè)備確保實(shí)驗(yàn)結(jié)果的準(zhǔn)確性和可靠性，滿足光刻機(jī)、加速器等設(shè)備的恒溫需求。江蘇精密儀器精密溫控

打造高“溫度精度”，避免熱致誤差溫度是影響測量精度的首要因素。極測精密環(huán)控柜采用自主研發(fā)的高精度制冷/加熱控制系統(tǒng)，能夠?qū)崿F(xiàn)高溫度精度和穩(wěn)定性。蕞高將內(nèi)部環(huán)境溫度波動控制在極小的范圍內(nèi)（±2mK），確保每一次測量數(shù)據(jù)的重復(fù)性與可靠性。超凈空間，避免微粒污染除了溫控精度，潔凈度同樣至關(guān)重要。懸浮微粒一旦沉積在晶圓或設(shè)備光學(xué)鏡頭上，將造成缺陷或信號干擾。極測環(huán)控柜內(nèi)部可維持蕞高ISO1級的超高潔凈環(huán)境，有效隔絕灰塵、顆粒物等污染物，為半導(dǎo)體量測設(shè)備提供干凈的環(huán)境，保護(hù)昂貴的光學(xué)組件和敏感樣品。智能集成，一站式環(huán)境配套我們的解決方案集成了精密溫控、潔凈控制、濕度控制（蕞高±0.3%RH）、及抗微振功能的綜合環(huán)境配套系統(tǒng)。支持根據(jù)您設(shè)備的特定型號和工藝要求進(jìn)行非標(biāo)定制，匹配不同半導(dǎo)體量測設(shè)備的精密需求。設(shè)備智能管理系統(tǒng)提供7x24小時(shí)實(shí)時(shí)數(shù)據(jù)監(jiān)控與記錄，所有環(huán)境參數(shù)一目了然，數(shù)據(jù)可追溯，為質(zhì)量分析和故障排查提供堅(jiān)實(shí)依據(jù)。江蘇精密儀器精密溫控