2mK精密溫控系統(tǒng)

極測（南京）技術有限公司依托母公司南京拓展科技有限公司在實驗室專業(yè)領域的沉淀，尤其是暖通及自控方面的專長，同時匯聚了30多名擁有15年以上經驗的行業(yè)前列工程師，致力于為芯片半導體、精密光學、科研研發(fā)等領域提供定制化的高精密環(huán)境解決方案，現已服務多家全球半導體、通信設備、顯示面板企業(yè)與國家重點實驗室，應用于眾多科研與生產場景，科學技術成果認定為國際先進水平。目前，高精密環(huán)境控制設備已實現蕞高溫控精度±0.002℃，潔凈度十級以上。擁有結合全場景非標定制能力，可滿足用戶不同環(huán)境參數及使用需求，持續(xù)領跑超高精密環(huán)控技術革新。極測（南京）憑借其自主研發(fā)的精密環(huán)控系統(tǒng)，為鍵合設備提供了超穩(wěn)定的運行環(huán)境，成為突破工藝的關鍵支撐。2mK精密溫控系統(tǒng)

高精密冷凍水機組是一種專為工業(yè)及特殊環(huán)境設計的制冷設備，通過精確的溫度控制和高效制冷循環(huán)，為高精度制造、數據中心、醫(yī)藥生產等領域提供穩(wěn)定可靠的冷卻解決方案。其關鍵特點在于高能效、低波動性及智能化控制，滿足嚴苛的溫控需求。極測（南京）技術有限公司采??研溫控技術，高精密冷凍水機組冷凍?的出?溫度蕞?精度可達±0.002℃。高精密冷凍水機組采用國際有名品牌壓縮機，配套高質量高效能銅管制作的板式換熱器及有名品牌電氣元器件。使機組具有精度高、體積小、噪音低、壽命長、操作簡便、高效節(jié)能等優(yōu)點。高精密冷凍水機組采用自主研發(fā)高精度溫度采集模塊，準確測量實驗艙內實時的溫濕度數值并傳輸給控制器，冷凍水閥無級調節(jié)、無級調節(jié)電加熱器、模擬量控制加濕器可根據實際實驗艙需求調節(jié)輸出功率。專為高精度恒溫恒濕控制設計的PID算法，在運行過程中進行比例、積分、微分的計算并輸出控制，使實驗室內溫度濕度處于穩(wěn)定狀態(tài)，絕dui焓濕量的控制策略，使控制實驗艙內濕度控制快速準確，沒有誤操作誤判斷。0.005精密溫控報價極測精密環(huán)控柜采用自主研發(fā)的高精度制冷/加熱控制系統(tǒng)，能夠實現高溫度精度和穩(wěn)定性（±2mK）。

極測（南京）技術有限公司采用相對濕度由外環(huán)境保證，大環(huán)境控制空氣中的絕dui含濕量保持穩(wěn)定，以實現環(huán)境倉內部濕度穩(wěn)定性。其超精密環(huán)控艙內部構造先進，包括分區(qū)送風靜壓腔、分區(qū)回風流道、毫 K 級測溫采集模組 + 1/10Bpt100 矩陣式分布、中低頻吸 / 阻靜音設計方案等。自研高精密溫控技術，冷凍水的出水溫度蕞高精度可達 ±0.002℃。
在溫度控制方面，采用大風量小溫差的設計思想，通過快速循環(huán)空氣過濾并帶走熱量，使溫度波動處于極低數值，關鍵區(qū)域可達 ±0.002℃。同時采用多級控溫，將溫度精度逐步提升。針對光路部分設計密閉防護罩，表面開孔可有效降低發(fā)熱區(qū)域溫度，控制風速。對于局部發(fā)熱區(qū)域，采用局部氣浴進行溫度控制，確保該區(qū)域溫度在一定范圍內，且 30s 內的溫度變化率不超過 0.03℃。
精密環(huán)控系統(tǒng)安裝后，精度顯著提高。溫度穩(wěn)定性從 ±2℃提升至 ±0.004℃，濕度穩(wěn)定性從 ±10% RH 提升至 ±0.8% RH，潔凈度從 100 級提升至 10 級，噪音值從 70dB 降低至 55dB，測量誤差從 400 降低至 4。

極測（南京）技術有限公司的精密水冷冷凍水機組融合多項專li技術，打造超精密溫控關鍵能力：高精密控溫技術：動態(tài)平衡的 “神經中樞”機組搭載自主研發(fā)高精度溫度采集模塊，實時捕捉供水溫度數據并傳輸至控制器，通過冷凍水閥無級調節(jié)與電加熱器協(xié)同工作，結合PID 算法及逐級控溫專li技術實現溫度偏差的精zhun計算與動態(tài)調節(jié)。例如，在半導體極紫外光刻工藝中，該技術可將精密水冷冷凍水機組的出水溫度波動控制在±0.001℃，滿足納米級制造對溫度穩(wěn)定性的嚴苛要求。潔凈室內的溫度波動可能會導致晶圓材料的物理性質發(fā)生變化，影響生產精度。

在眾多精密環(huán)控設備供應商中，極測（南京）技術有限公司值得關注。作為南京拓展科技旗下企業(yè)，極測（南京）憑借深厚的技術沉淀與持續(xù)的創(chuàng)新熱忱，在行業(yè)內嶄露頭角。該公司擁有結合全場景非標定制能力，可滿足用戶不同環(huán)境參數及使用需求，涵蓋溫濕度穩(wěn)定性、潔凈度，抗微振、防磁、隔音等個性化需求。其研發(fā)的精密環(huán)控柜蕞高可實現±0.002℃高精密溫度控制，以及潔凈度十級的潔凈環(huán)境，已成功為光刻機、激光干涉儀等精密儀器提供穩(wěn)定工作環(huán)境，服務了多家全球半導體、通信設備、顯示面板企業(yè)與國家重點實驗室。 極測（南京）研發(fā)及設計團隊，涵蓋了產品經理、結構工程師、暖通、電氣自控等各類專業(yè)人才。0.005精密溫控報價

晶圓需要經歷一系列高精度的蝕刻、涂層、光刻等工藝，這些工藝都需要在特定的溫度范圍內進行。2mK精密溫控系統(tǒng)

極測的精密溫控箱罩專為滿足三坐標測量儀等精密設備的嚴苛環(huán)境需求而設計。其具備的 ±0.002℃高精密溫度控制能力，猶如為三坐標測量儀構建了一個恒溫 “堡壘”。精密溫控箱罩運用自主研發(fā)的高精密控溫技術，確保精密溫控箱罩內部溫度穩(wěn)定性關鍵區(qū)域可達 +/-2mK（靜態(tài)），溫度水平均勻性小于 16mK/m。保證測量儀在長時間運行過程中始終保持穩(wěn)定的測量精度，實現0.1% 的控制輸出精度。除了溫度控制，精密溫控箱罩在濕度和潔凈度方面同樣表現。精密溫控箱罩內部濕度穩(wěn)定性可達 ±0.5%@8h，避免了因濕度問題導致的測量儀零部件生銹、電子元件短路等故障，延長了設備使用壽命。同時，該系統(tǒng)可實現百級以上潔凈度控制，內部潔凈度蕞高可優(yōu)于 ISO class3（設備工作區(qū)），有效防止灰塵等微小顆粒附著在測量儀的光學部件或被測工件表面，避免對測量精度造成干擾。2mK精密溫控系統(tǒng)