寧夏恒溫恒濕精密溫控

半導(dǎo)體制造：光刻工藝的“守護(hù)神”在芯片光刻環(huán)節(jié)，溫度波動(dòng)Jin0.1℃就足以導(dǎo)致光學(xué)元件熱變形，造成曝光位置漂移。極測(cè)精密溫控設(shè)備提供的±0.002℃恒溫環(huán)境，使光刻機(jī)光學(xué)系統(tǒng)保持穩(wěn)定，直接提升芯片良品率。在蝕刻工藝中，溫濕度波動(dòng)可能引發(fā)刻蝕過度或不足。精密溫控設(shè)備提供的穩(wěn)定環(huán)境保障了刻蝕速率的均勻性，確保芯片電路完整性。航空航天：微米級(jí)精度的幕后功臣航空發(fā)動(dòng)機(jī)渦輪葉片加工中，0.05℃的溫度波動(dòng)可能導(dǎo)致機(jī)床熱變形，使葉片加工精度不達(dá)標(biāo)。極測(cè)精密溫控設(shè)備維持的恒溫環(huán)境，保障了葉片曲面精度和表面質(zhì)量。在航空航天材料測(cè)試環(huán)節(jié)，設(shè)備將濕度波動(dòng)精確控制在±2%RH內(nèi)，滿足極端嚴(yán)苛的測(cè)試要求。光學(xué)儀器：純凈與穩(wěn)定的雙重保障在光學(xué)鏡片研磨中，溫度波動(dòng)會(huì)導(dǎo)致研磨盤與鏡片材料熱膨脹系數(shù)差異，影響鏡片曲率精度。恒溫環(huán)境確保研磨精度穩(wěn)定。同時(shí)，潔凈環(huán)境防止鏡片表面污染，避免后續(xù)鍍膜工序產(chǎn)生缺陷。新能源電池：水分與溫度的雙重管控在電極涂布工藝中，濕度變化會(huì)影響漿料水分含量，導(dǎo)致涂布不均勻。極測(cè)精密溫控設(shè)備提供的±0.5%RH濕度穩(wěn)定性，確保電極涂布一致性。在電池組裝環(huán)節(jié)，恒溫環(huán)境避免了不同材料熱脹冷縮差異導(dǎo)致的密封不良問題。極測(cè)（南京）致力于為全球企業(yè)提供定制化的環(huán)境控制解決方案，以嚴(yán)格的溫濕度與潔凈度標(biāo)準(zhǔn)。寧夏恒溫恒濕精密溫控

打造波動(dòng) ±0.005℃、潔凈度 ISO Class 3 的精密環(huán)境是一項(xiàng)復(fù)雜的系統(tǒng)工程。通過明確目標(biāo)、構(gòu)建系統(tǒng)、智能監(jiān)測(cè)和完善維護(hù)，能夠有效實(shí)現(xiàn)這一目標(biāo)。極測(cè)（南京）精密溫控設(shè)備為高duan產(chǎn)業(yè)和科研活動(dòng)提供穩(wěn)定、可靠的環(huán)境保障，推動(dòng)行業(yè)不斷向著更高精度、更高質(zhì)量的方向發(fā)展。第一步，確定環(huán)境要求標(biāo)準(zhǔn)與目標(biāo)。根據(jù)具體的生產(chǎn)或?qū)嶒?yàn)需求，明確溫度、濕度、潔凈度等各項(xiàng)參數(shù)的目標(biāo)值；以及對(duì)此環(huán)境所處的外部大環(huán)境參數(shù)進(jìn)行確認(rèn)。第二步，明確高精度環(huán)境要求空間大小，并構(gòu)建環(huán)境控制系統(tǒng)。根據(jù)所需空間大小搭建外部框架，針對(duì)框架空間內(nèi)的溫度控制，選擇相應(yīng)精密溫控設(shè)備并合理布局，確保溫度在整個(gè)空間內(nèi)均勻分布。第三步，實(shí)施智能監(jiān)測(cè)與反饋。精密溫控設(shè)備通過部署高精度傳感器實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)環(huán)境中的各項(xiàng)參數(shù)，并將數(shù)據(jù)傳輸至智能控制系統(tǒng)，進(jìn)行智能調(diào)控，使環(huán)境恢復(fù)穩(wěn)定。蕞后，建立完善的維護(hù)體系。定期對(duì)環(huán)境控制系統(tǒng)進(jìn)行維護(hù)和保養(yǎng)，包括清潔設(shè)備、更換濾芯、校準(zhǔn)傳感器等，確保精密溫控設(shè)備始終處于良好的運(yùn)行狀態(tài)。
河北集成電路精密溫控極測(cè)精密環(huán)控柜采用自主研發(fā)的高精度制冷/加熱控制系統(tǒng)，能夠?qū)崿F(xiàn)高溫度精度和穩(wěn)定性（±2mK）。

極測(cè)（南京）技術(shù)有限公司采用相對(duì)濕度由外環(huán)境保證，大環(huán)境控制空氣中的絕dui含濕量保持穩(wěn)定，以實(shí)現(xiàn)環(huán)境倉內(nèi)部濕度穩(wěn)定性。其超精密環(huán)控艙內(nèi)部構(gòu)造先進(jìn)，包括分區(qū)送風(fēng)靜壓腔、分區(qū)回風(fēng)流道、毫 K 級(jí)測(cè)溫采集模組 + 1/10Bpt100 矩陣式分布、中低頻吸 / 阻靜音設(shè)計(jì)方案等。自研高精密溫控技術(shù)，冷凍水的出水溫度蕞高精度可達(dá) ±0.002℃。
在溫度控制方面，采用大風(fēng)量小溫差的設(shè)計(jì)思想，通過快速循環(huán)空氣過濾并帶走熱量，使溫度波動(dòng)處于極低數(shù)值，關(guān)鍵區(qū)域可達(dá) ±0.002℃。同時(shí)采用多級(jí)控溫，將溫度精度逐步提升。針對(duì)光路部分設(shè)計(jì)密閉防護(hù)罩，表面開孔可有效降低發(fā)熱區(qū)域溫度，控制風(fēng)速。對(duì)于局部發(fā)熱區(qū)域，采用局部氣浴進(jìn)行溫度控制，確保該區(qū)域溫度在一定范圍內(nèi)，且 30s 內(nèi)的溫度變化率不超過 0.03℃。
精密環(huán)控系統(tǒng)安裝后，精度顯著提高。溫度穩(wěn)定性從 ±2℃提升至 ±0.004℃，濕度穩(wěn)定性從 ±10% RH 提升至 ±0.8% RH，潔凈度從 100 級(jí)提升至 10 級(jí)，噪音值從 70dB 降低至 55dB，測(cè)量誤差從 400 降低至 4。

作為南京拓展科技旗下專注于微環(huán)境控制技術(shù)的關(guān)鍵企業(yè)，極測(cè)（南京）技術(shù)有限公司打造的超精密儀器室，通過集成自主研發(fā)的高精密微環(huán)境控制系統(tǒng)，為光刻機(jī)、立式干涉儀等精密儀器構(gòu)建了溫度波動(dòng)極小、潔凈度極高（潔凈恒溫）的理想工作環(huán)境，精密儀器室成為支撐高精度測(cè)量與科研生產(chǎn)的關(guān)鍵基礎(chǔ)設(shè)施。
納米級(jí)溫控，超高精度溫度波動(dòng)極測(cè)運(yùn)用自主研發(fā)的高精密控溫技術(shù)，控制輸出精度達(dá) 0.1%，使得環(huán)境內(nèi)部溫度穩(wěn)定性關(guān)鍵區(qū)域可達(dá) +/-2mK（靜態(tài)），溫度水平均勻性小于 16mK/m。實(shí)現(xiàn)±0.002℃，±0.005℃，±0.05℃，±0.01℃，±0.1℃等不同等級(jí)精度的溫度控制。為精密儀器打造高精密恒溫穩(wěn)定操作環(huán)境。 蕞高ISO class1級(jí)潔凈，打造無塵空間精密儀器室系統(tǒng)可實(shí)現(xiàn)百級(jí)以上潔凈度控制，蕞高優(yōu)于 ISO class3（設(shè)備工作區(qū)），達(dá)到ISO class1，避免灰塵等污染物影響光線傳播。設(shè)備內(nèi)部濕度穩(wěn)定性可達(dá) ±0.5%@8h，有效防止因濕度變化引發(fā)的光學(xué)元件發(fā)霉、機(jī)械部件生銹等問題，延長(zhǎng)精密儀器使用壽命。 全場(chǎng)景非標(biāo)定制，滿足多元化需求精密儀器室可根據(jù)用戶需求，滿足用戶不同的溫濕度穩(wěn)定性、潔凈度，以及抗微振、防磁、隔音等多樣化的個(gè)性要求，保證用戶的正常使用。
控溫精度：提供業(yè)界前列的 ±0.002℃高精密溫度控制能力，溫度水平均勻性嚴(yán)格控制在 <16mK/m 范圍內(nèi)。

高精密環(huán)控柜由我司自主研發(fā)，是一款精密環(huán)境控制產(chǎn)品，可實(shí)現(xiàn)ISOClass1-6級(jí)潔凈度，以及±0.1℃、±0.05℃、±0.01℃、±0.002℃等不同精度的溫度波動(dòng)控制。擁有全場(chǎng)景非標(biāo)定制能力，能針對(duì)用戶的個(gè)性化需求（如溫濕度穩(wěn)定性、潔凈度、抗微振、防磁、隔音等）提供解決方案。設(shè)備運(yùn)行數(shù)據(jù)實(shí)時(shí)記錄查詢，且配備自動(dòng)安全保護(hù)系統(tǒng)，確保長(zhǎng)時(shí)間運(yùn)行無憂。其構(gòu)成部分包括設(shè)備主柜體、控制系統(tǒng)、氣流循環(huán)系統(tǒng)、潔凈過濾器、制冷（熱）系統(tǒng)、照明系統(tǒng)、局部氣浴等，主要為光刻機(jī)、激光干涉儀等精密測(cè)量與制造設(shè)備，提供超高精度的溫濕度及潔凈度工作環(huán)境。濕度控制采用 “外環(huán)境保證相對(duì)濕度、大環(huán)境穩(wěn)定絕dui含濕量” 的方式，通過精確控溫實(shí)現(xiàn)環(huán)境倉內(nèi)部濕度穩(wěn)定。為達(dá)成溫濕度及潔凈度要求，采用大風(fēng)量小溫差設(shè)計(jì)，通過空氣快速循環(huán)過濾帶走余熱，使溫度波動(dòng)保持在極低數(shù)值（關(guān)鍵區(qū)域 ±0.002℃）；并通過多級(jí)控溫（先經(jīng)表冷盤降溫，再由多級(jí)電加熱逐步升溫），將溫度精度從 ±0.1℃升級(jí)至 ±0.002℃。極測(cè)（南京）致力于為芯片半導(dǎo)體、精密光學(xué)、科研研發(fā)等領(lǐng)域提供定制化的高精密環(huán)境解決方案。恒溫恒濕潔凈精密溫控解決方案

數(shù)據(jù)全流程可溯：實(shí)時(shí)記錄并圖形化顯示溫度、濕度等關(guān)鍵環(huán)境參數(shù)變化曲線，數(shù)據(jù)自動(dòng)存儲(chǔ)并支持表格導(dǎo)出。寧夏恒溫恒濕精密溫控

極測(cè)（南京）微環(huán)境控制系統(tǒng)設(shè)備內(nèi)部濕度穩(wěn)定性可達(dá) ±0.5%@8h，有效防止因濕度變化引發(fā)的光學(xué)元件發(fā)霉、機(jī)械部件生銹等問題，延長(zhǎng)立式干涉儀使用壽命。同時(shí)，系統(tǒng)可實(shí)現(xiàn)百級(jí)以上潔凈度控制，蕞高優(yōu)于 ISO class3（設(shè)備工作區(qū)），避免灰塵等污染物影響光線傳播與干涉條紋，為干涉儀營(yíng)造超凈工作空間。 智能功能助力運(yùn)維極測(cè)微環(huán)境控制系統(tǒng)具備強(qiáng)大的數(shù)據(jù)實(shí)時(shí)記錄查詢功能。運(yùn)行中的溫度、濕度等關(guān)鍵數(shù)據(jù)自動(dòng)生成曲線，便于操作人員直觀掌握環(huán)境變化。微環(huán)境控制系統(tǒng)數(shù)據(jù)自動(dòng)保存且可隨時(shí)導(dǎo)出，運(yùn)行狀態(tài)與故障狀態(tài)同步記錄，方便進(jìn)行數(shù)據(jù)分析、質(zhì)量追溯與故障排查。此外，自動(dòng)安全保護(hù)系統(tǒng)可實(shí)現(xiàn)故障自動(dòng)保護(hù)，確保設(shè)備全天候穩(wěn)定運(yùn)行，減少因故障導(dǎo)致的測(cè)量中斷。寧夏恒溫恒濕精密溫控