河南集成電路精密溫控

在半導(dǎo)體制造的精密領(lǐng)域，每一個(gè)細(xì)微的溫度變化，都可能對芯片的性能產(chǎn)生重大影響。南京拓展科技旗下企業(yè)，極測（南京）作為專業(yè)的精密溫控設(shè)備供應(yīng)商，其對環(huán)境溫度控制精度可達(dá) ±0.002℃，潔凈度可達(dá)一級（優(yōu)于ISO class1），這一數(shù)據(jù)在行業(yè)內(nèi)處于前列水平，為更高精度的芯片半導(dǎo)體制造提供了可靠的環(huán)境保障。 極測（南京）投入大量資源進(jìn)行技術(shù)研發(fā)，致力于為半導(dǎo)體制造提供高精度、高穩(wěn)定性的溫控設(shè)備。以其成熟的技術(shù)和創(chuàng)新的解決方案，為半導(dǎo)體制造精度構(gòu)筑起一道堅(jiān)實(shí)的防線。極測（南京）專注于研發(fā)、生產(chǎn)和銷售高端定制化精密環(huán)控系統(tǒng)，目前已擁有結(jié)合全場景非標(biāo)定制能力。河南集成電路精密溫控

極測（南京）技術(shù)有限公司采用相對濕度由外環(huán)境保證，大環(huán)境控制空氣中的絕dui含濕量保持穩(wěn)定，以實(shí)現(xiàn)環(huán)境倉內(nèi)部濕度穩(wěn)定性。其超精密環(huán)控艙內(nèi)部構(gòu)造先進(jìn)，包括分區(qū)送風(fēng)靜壓腔、分區(qū)回風(fēng)流道、毫 K 級測溫采集模組 + 1/10Bpt100 矩陣式分布、中低頻吸 / 阻靜音設(shè)計(jì)方案等。自研高精密溫控技術(shù)，冷凍水的出水溫度蕞高精度可達(dá) ±0.002℃。
在溫度控制方面，采用大風(fēng)量小溫差的設(shè)計(jì)思想，通過快速循環(huán)空氣過濾并帶走熱量，使溫度波動(dòng)處于極低數(shù)值，關(guān)鍵區(qū)域可達(dá) ±0.002℃。同時(shí)采用多級控溫，將溫度精度逐步提升。針對光路部分設(shè)計(jì)密閉防護(hù)罩，表面開孔可有效降低發(fā)熱區(qū)域溫度，控制風(fēng)速。對于局部發(fā)熱區(qū)域，采用局部氣浴進(jìn)行溫度控制，確保該區(qū)域溫度在一定范圍內(nèi)，且 30s 內(nèi)的溫度變化率不超過 0.03℃。
精密環(huán)控系統(tǒng)安裝后，精度顯著提高。溫度穩(wěn)定性從 ±2℃提升至 ±0.004℃，濕度穩(wěn)定性從 ±10% RH 提升至 ±0.8% RH，潔凈度從 100 級提升至 10 級，噪音值從 70dB 降低至 55dB，測量誤差從 400 降低至 4。
精密測量精密溫控室極測（南京）冷水機(jī)組冷凍水的出水溫度蕞高精度可達(dá)±0.002℃，配置過載保護(hù)、液位監(jiān)測、漏液檢測等功能。

極測（南京）致力于為芯片半導(dǎo)體、電子信息、光學(xué)儀器、精密制造、新能源、航空航天等行業(yè)提供高質(zhì)量的高精密環(huán)境解決方案，是一家為行業(yè)創(chuàng)造價(jià)值、深獲客戶信賴的杰出企業(yè)。我們擁有一支強(qiáng)大的研發(fā)及設(shè)計(jì)團(tuán)隊(duì)，涵蓋了產(chǎn)品經(jīng)理、結(jié)構(gòu)工程師、暖通專業(yè)人員、電氣自控專業(yè)人員等各類專業(yè)人才。這支多元化的團(tuán)隊(duì)?wèi){借深厚的專業(yè)知識和豐富的實(shí)踐經(jīng)驗(yàn)，能夠滿足客戶的多樣化需求。此外，公司還擁有自己的工廠，能夠有效地將研發(fā)成果轉(zhuǎn)化為實(shí)際產(chǎn)品，為眾多矢口名公司提供了高質(zhì)量的設(shè)備和服務(wù)。

極測（南京）關(guān)鍵技術(shù)市如何適配半導(dǎo)體嚴(yán)苛需求的？毫 K 級控溫的技術(shù)密碼專li級 PID + 逐級控溫：通過 “超高精度工藝?yán)鋮s水系統(tǒng)及其恒溫控制方法” 專li，結(jié)合自主研發(fā)溫度采集模塊與多級制冷回路設(shè)計(jì)，實(shí)現(xiàn)對蝕刻機(jī)腔體溫度的±0.001℃級控制，例如在 EUV 光刻機(jī)中，可確保光刻膠曝光時(shí)的熱形變小于 1 納米；板式換熱器強(qiáng)化傳熱：微通道結(jié)構(gòu)與不銹鋼材質(zhì)提升換熱效率 30% 以上，同時(shí)避免銅離子污染（半導(dǎo)體行業(yè)忌用材質(zhì)），滿足晶圓制造對水質(zhì)純凈度的要求?？垢蓴_與快速響應(yīng)能力雙壓縮機(jī)冗余設(shè)計(jì)：在晶圓廠 24 小時(shí)連續(xù)生產(chǎn)中，單壓縮機(jī)故障時(shí)備用模塊可在快速自動(dòng)切入，避免因停機(jī)導(dǎo)致的工藝中斷；變頻技術(shù)動(dòng)態(tài)調(diào)溫：通過壓縮機(jī)變頻調(diào)節(jié)制冷量，在芯片測試環(huán)節(jié)面對多工位負(fù)載切換時(shí)，溫度恢復(fù)時(shí)間很大縮短。半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備精密且昂貴，因此應(yīng)采取相應(yīng)的抗振措施。例如，在設(shè)備底部設(shè)置減振支座或彈簧隔振器等。

考慮到不同生產(chǎn)車間的布局需求，極測精密環(huán)控設(shè)備采用可拆卸鋁合金框架，大型設(shè)備可在現(xiàn)場便捷組裝，節(jié)省安裝時(shí)間與成本。箱體采用高質(zhì)量鈑金材質(zhì)，不僅堅(jiān)固耐用，還可根據(jù)客戶需求定制外觀顏色，融入不同的工作環(huán)境。設(shè)備運(yùn)行時(shí)，采用 EC 風(fēng)機(jī)和高效隔音材質(zhì)，實(shí)現(xiàn)靜音高效運(yùn)轉(zhuǎn)，噪音低于 45dB，為操作人員營造安靜舒適的工作環(huán)境，避免噪音干擾測量操作和數(shù)據(jù)分析。 自推出以來，極測精密環(huán)控設(shè)備已成功為眾多企業(yè)的三坐標(biāo)測量儀提供了穩(wěn)定可靠的工作環(huán)境，贏得了贊譽(yù)。在制造業(yè)對高精度、高效率生產(chǎn)要求日益提升的如今極測精密環(huán)控設(shè)備為精密制造和質(zhì)量檢測奠定堅(jiān)實(shí)基礎(chǔ)，助力企業(yè)在激烈的市場競爭中脫穎而出。在精密測量領(lǐng)域，細(xì)動(dòng)誤差是一個(gè)關(guān)鍵問題，它主要由難以察覺的機(jī)械振動(dòng)或外部干擾引起。重慶抗微振精密溫控

數(shù)據(jù)全流程可溯：實(shí)時(shí)記錄并圖形化顯示溫度、濕度等關(guān)鍵環(huán)境參數(shù)變化曲線，數(shù)據(jù)自動(dòng)存儲并支持表格導(dǎo)出。河南集成電路精密溫控

南京拓展科技旗下企業(yè)，極測（南京）技術(shù)有限公司憑借深厚的技術(shù)積淀，精心打造的精密溫控箱罩設(shè)備，以其蕞高±0.002℃高精密溫度控制及可實(shí)現(xiàn)潔凈度十級以上的能力，成為三坐標(biāo)測量儀的蕞佳拍檔。目前精密溫控箱罩已擁有結(jié)合全場景非標(biāo)定制能力，可滿足用戶不同環(huán)境參數(shù)及使用需求，比如溫濕度穩(wěn)定性、潔凈度，抗微振、防磁、隔音等不同個(gè)性化需求。現(xiàn)已服務(wù)多家全球半導(dǎo)體、通信設(shè)備、顯示面板前列企業(yè)與國家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室，應(yīng)用于眾多科研與生產(chǎn)場景。 在精密制造與檢測領(lǐng)域，三坐標(biāo)測量儀作為獲取高精度尺寸數(shù)據(jù)的關(guān)鍵設(shè)備，其測量精度直接關(guān)系到產(chǎn)品質(zhì)量與生產(chǎn)效率。而要確保三坐標(biāo)測量儀穩(wěn)定、精密地運(yùn)行，精密溫控箱罩起著不可或缺的作用。河南集成電路精密溫控