芯片精密溫控方案

在實(shí)際應(yīng)用中，極測(cè)的溫控設(shè)備已經(jīng)在眾多半導(dǎo)體制造企業(yè)中發(fā)揮了重要作用。某有名芯片制造企業(yè)在引入極測(cè)的溫控設(shè)備后，光刻工藝的精度得到了明顯提升。由于溫度控制更加精zhun，芯片上的電路圖案更加清晰、準(zhǔn)確，有效減少了因溫度問題導(dǎo)致的圖案偏差和缺陷，產(chǎn)品良率大幅提高。現(xiàn)已服務(wù)多家芯片半導(dǎo)體前列企業(yè)與國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室。 同時(shí)極測(cè)（南京）具備全場(chǎng)景非標(biāo)定制能力?？筛鶕?jù)不同客戶的需求根據(jù)溫濕度穩(wěn)定性、潔凈度，以及抗微振、防磁、隔音等個(gè)性化參數(shù)，進(jìn)行靈活定制。極測(cè)（南京）致力于為全球企業(yè)提供定制化的環(huán)境控制解決方案，以嚴(yán)格的溫濕度與潔凈度標(biāo)準(zhǔn)。芯片精密溫控方案

極測(cè)（南京）技術(shù)有限公司注重設(shè)備的穩(wěn)定性和可靠性。通過嚴(yán)格的質(zhì)量檢測(cè)和優(yōu)化設(shè)計(jì)，確保設(shè)備在長(zhǎng)時(shí)間運(yùn)行過程中保持穩(wěn)定性能，減少故障發(fā)生的概率。同時(shí)，極測(cè)還提供完善的售后服務(wù)，及時(shí)響應(yīng)客戶的需求，為客戶解決設(shè)備使用過程中遇到的問題。 作為精密溫控設(shè)備供應(yīng)商，極測(cè)（南京）始終將守護(hù)半導(dǎo)體制造精度作為使命。憑借前列的技術(shù)、可靠的產(chǎn)品和高質(zhì)量的服務(wù)，極測(cè)正在成為半導(dǎo)體制造企業(yè)信賴的合作伙伴，為推動(dòng)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的發(fā)展貢獻(xiàn)力量。湖北精密溫控解決方案半導(dǎo)體潔凈室中通常溫度需要嚴(yán)格控制在20°C至25°C范圍內(nèi)，且溫度波動(dòng)不能超過±1°C。

高精密環(huán)控柜由我司自主研發(fā)，是一款精密環(huán)境控制產(chǎn)品，可實(shí)現(xiàn)ISOClass1-6級(jí)潔凈度，以及±0.1℃、±0.05℃、±0.01℃、±0.002℃等不同精度的溫度波動(dòng)控制。擁有全場(chǎng)景非標(biāo)定制能力，能針對(duì)用戶的個(gè)性化需求（如溫濕度穩(wěn)定性、潔凈度、抗微振、防磁、隔音等）提供解決方案。設(shè)備運(yùn)行數(shù)據(jù)實(shí)時(shí)記錄查詢，且配備自動(dòng)安全保護(hù)系統(tǒng)，確保長(zhǎng)時(shí)間運(yùn)行無憂。其構(gòu)成部分包括設(shè)備主柜體、控制系統(tǒng)、氣流循環(huán)系統(tǒng)、潔凈過濾器、制冷（熱）系統(tǒng)、照明系統(tǒng)、局部氣浴等，主要為光刻機(jī)、激光干涉儀等精密測(cè)量與制造設(shè)備，提供超高精度的溫濕度及潔凈度工作環(huán)境。濕度控制采用 “外環(huán)境保證相對(duì)濕度、大環(huán)境穩(wěn)定絕dui含濕量” 的方式，通過精確控溫實(shí)現(xiàn)環(huán)境倉內(nèi)部濕度穩(wěn)定。為達(dá)成溫濕度及潔凈度要求，采用大風(fēng)量小溫差設(shè)計(jì)，通過空氣快速循環(huán)過濾帶走余熱，使溫度波動(dòng)保持在極低數(shù)值（關(guān)鍵區(qū)域 ±0.002℃）；并通過多級(jí)控溫（先經(jīng)表冷盤降溫，再由多級(jí)電加熱逐步升溫），將溫度精度從 ±0.1℃升級(jí)至 ±0.002℃。

極測(cè)（南京）技術(shù)有限公司依托母公司南京拓展科技有限公司在實(shí)驗(yàn)室專業(yè)領(lǐng)域的沉淀，尤其是暖通及自控方面的專長(zhǎng)，同時(shí)匯聚了30多名擁有15年以上經(jīng)驗(yàn)的行業(yè)前列工程師，致力于為芯片半導(dǎo)體、精密光學(xué)、科研研發(fā)等領(lǐng)域提供定制化的高精密環(huán)境解決方案，現(xiàn)已服務(wù)多家全球半導(dǎo)體、通信設(shè)備、顯示面板企業(yè)與國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室，應(yīng)用于眾多科研與生產(chǎn)場(chǎng)景，科學(xué)技術(shù)成果認(rèn)定為國(guó)際先進(jìn)水平。目前，高精密環(huán)境控制設(shè)備已實(shí)現(xiàn)蕞高溫控精度±0.002℃，潔凈度十級(jí)以上。擁有結(jié)合全場(chǎng)景非標(biāo)定制能力，可滿足用戶不同環(huán)境參數(shù)及使用需求，持續(xù)領(lǐng)跑超高精密環(huán)控技術(shù)革新。通過整體環(huán)境溫度的精密調(diào)控，以及針對(duì)局部發(fā)熱點(diǎn)進(jìn)行局部氣浴，配套控制潔凈度及減振處理等。

在半導(dǎo)體制造領(lǐng)域，每一納米的變化都可能直接影響芯片的性能與良率。作為高精度檢測(cè)的關(guān)鍵環(huán)節(jié)，半導(dǎo)體量測(cè)設(shè)備（如電子顯微鏡、膜厚測(cè)量?jī)x、OCD量測(cè)等）自身對(duì)運(yùn)行環(huán)境的要求也極為苛刻。環(huán)境的細(xì)微波動(dòng)，都會(huì)引入測(cè)量誤差。 除整體環(huán)境外，半導(dǎo)體量測(cè)設(shè)備通常配備高精度光學(xué)成像器件（廣義上的“照相機(jī)”），其中光源，電子控制單元，運(yùn)動(dòng)部件等都有可能產(chǎn)生局部發(fā)熱源，蕞終影響環(huán)境的穩(wěn)定性，以及晶圓表面溫度穩(wěn)定性。極測(cè)（南京）技術(shù)有限公司深刻理解這一需求，憑借在微環(huán)境控制領(lǐng)域的深厚技術(shù)積累，專為高duan半導(dǎo)體量測(cè)設(shè)備設(shè)計(jì)精密環(huán)控系統(tǒng)，做好設(shè)備配套。系統(tǒng)由設(shè)備主柜體（設(shè)備維護(hù)結(jié)構(gòu)模塊）、潔凈過濾系統(tǒng)、局部氣浴、控制系統(tǒng)、氣流循環(huán)系統(tǒng)、制冷(熱)系統(tǒng)等組成。通過整體環(huán)境溫度的精密調(diào)控，以及針對(duì)局部發(fā)熱點(diǎn)進(jìn)行局部氣浴，配套控制潔凈度及減振處理等，為半導(dǎo)體檢測(cè)設(shè)備打造精密穩(wěn)定，恒溫潔凈的運(yùn)行環(huán)境。潔凈室內(nèi)需配置無塵空氣過濾與流通系統(tǒng)，保證氣流分布合理，無死角，使?jié)崈艨諝獬浞值竭_(dá)每個(gè)角落。四川科研實(shí)驗(yàn)精密溫控

極測(cè)（南京）憑借其自主研發(fā)的精密環(huán)控系統(tǒng)，為鍵合設(shè)備提供了超穩(wěn)定的運(yùn)行環(huán)境，成為突破工藝的關(guān)鍵支撐。芯片精密溫控方案

在高精密實(shí)驗(yàn)中，環(huán)境波動(dòng)帶來的影響不容忽視。溫度波動(dòng)會(huì)導(dǎo)致實(shí)驗(yàn)區(qū)域內(nèi)溫度分布不均勻，影響實(shí)驗(yàn)結(jié)果的準(zhǔn)確性和重復(fù)性；濕度變化會(huì)干擾生物實(shí)驗(yàn)、材料老化實(shí)驗(yàn)等的進(jìn)程；空氣擾動(dòng)會(huì)對(duì)微觀實(shí)驗(yàn)樣本造成物理性干擾，改變宏觀實(shí)驗(yàn)裝置或樣品的位置或姿態(tài)；還會(huì)影響光學(xué)儀器、精密天平的精度，引入灰塵顆粒、有害氣體等雜質(zhì)和污染物。 而精密環(huán)控系統(tǒng)對(duì)空氣擾動(dòng)和漂移擾動(dòng)的抑制效果明顯。數(shù)據(jù)顯示，精密環(huán)控系統(tǒng)開啟后，0.05Hz、0.15Hz、1Hz 頻率點(diǎn)累計(jì)誤差幅值下降幅度分別降低 98.03%、86.07%、85.83%，漂移擾動(dòng)得到明顯抑制，波動(dòng)范圍下降約 50%、標(biāo)準(zhǔn)差減小 45%。同時(shí)，溫度波動(dòng)對(duì)超快激光參數(shù)影響重大，當(dāng)環(huán)境溫度變化超過 0.8℃時(shí)，脈寬會(huì)出現(xiàn)呼吸現(xiàn)象，影響超快激光器的性能，而溫度越穩(wěn)定激光的參數(shù)越好。芯片精密溫控方案