光學(xué)檢測(cè)精密溫控房

極測(cè)的精密溫控箱罩專為滿足三坐標(biāo)測(cè)量?jī)x等精密設(shè)備的嚴(yán)苛環(huán)境需求而設(shè)計(jì)。其具備的 ±0.002℃高精密溫度控制能力，猶如為三坐標(biāo)測(cè)量?jī)x構(gòu)建了一個(gè)恒溫 “堡壘”。精密溫控箱罩運(yùn)用自主研發(fā)的高精密控溫技術(shù)，確保精密溫控箱罩內(nèi)部溫度穩(wěn)定性關(guān)鍵區(qū)域可達(dá) +/-2mK（靜態(tài)），溫度水平均勻性小于 16mK/m。保證測(cè)量?jī)x在長(zhǎng)時(shí)間運(yùn)行過程中始終保持穩(wěn)定的測(cè)量精度，實(shí)現(xiàn)0.1% 的控制輸出精度。除了溫度控制，精密溫控箱罩在濕度和潔凈度方面同樣表現(xiàn)。精密溫控箱罩內(nèi)部濕度穩(wěn)定性可達(dá) ±0.5%@8h，避免了因濕度問題導(dǎo)致的測(cè)量?jī)x零部件生銹、電子元件短路等故障，延長(zhǎng)了設(shè)備使用壽命。同時(shí)，該系統(tǒng)可實(shí)現(xiàn)百級(jí)以上潔凈度控制，內(nèi)部潔凈度蕞高可優(yōu)于 ISO class3（設(shè)備工作區(qū)），有效防止灰塵等微小顆粒附著在測(cè)量?jī)x的光學(xué)部件或被測(cè)工件表面，避免對(duì)測(cè)量精度造成干擾。半導(dǎo)體潔凈室中通常溫度需要嚴(yán)格控制在20°C至25°C范圍內(nèi)，且溫度波動(dòng)不能超過±1°C。光學(xué)檢測(cè)精密溫控房

極測(cè)（南京）技術(shù)有限公司采用相對(duì)濕度由外環(huán)境保證，大環(huán)境控制空氣中的絕dui含濕量保持穩(wěn)定，以實(shí)現(xiàn)環(huán)境倉(cāng)內(nèi)部濕度穩(wěn)定性。其超精密環(huán)控艙內(nèi)部構(gòu)造先進(jìn)，包括分區(qū)送風(fēng)靜壓腔、分區(qū)回風(fēng)流道、毫 K 級(jí)測(cè)溫采集模組 + 1/10Bpt100 矩陣式分布、中低頻吸 / 阻靜音設(shè)計(jì)方案等。自研高精密溫控技術(shù)，冷凍水的出水溫度蕞高精度可達(dá) ±0.002℃。
在溫度控制方面，采用大風(fēng)量小溫差的設(shè)計(jì)思想，通過快速循環(huán)空氣過濾并帶走熱量，使溫度波動(dòng)處于極低數(shù)值，關(guān)鍵區(qū)域可達(dá) ±0.002℃。同時(shí)采用多級(jí)控溫，將溫度精度逐步提升。針對(duì)光路部分設(shè)計(jì)密閉防護(hù)罩，表面開孔可有效降低發(fā)熱區(qū)域溫度，控制風(fēng)速。對(duì)于局部發(fā)熱區(qū)域，采用局部氣浴進(jìn)行溫度控制，確保該區(qū)域溫度在一定范圍內(nèi)，且 30s 內(nèi)的溫度變化率不超過 0.03℃。
精密環(huán)控系統(tǒng)安裝后，精度顯著提高。溫度穩(wěn)定性從 ±2℃提升至 ±0.004℃，濕度穩(wěn)定性從 ±10% RH 提升至 ±0.8% RH，潔凈度從 100 級(jí)提升至 10 級(jí)，噪音值從 70dB 降低至 55dB，測(cè)量誤差從 400 降低至 4。
遼寧計(jì)量精密溫控靈活部署：采用可拆卸鋁合金框架結(jié)構(gòu)，大型設(shè)備現(xiàn)場(chǎng)輕松組裝，大幅節(jié)省安裝成本和時(shí)間。

在半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈中，溫度波動(dòng)是導(dǎo)致芯片缺陷的關(guān)鍵因素之一：

蝕刻與沉積環(huán)節(jié)：極紫外（EUV）光刻、等離子蝕刻等工藝需將溫度波動(dòng)控制在±0.01℃以內(nèi)，若溫度漂移超過閾值，可能導(dǎo)致刻蝕深度不均、薄膜應(yīng)力開裂等問題；

晶圓生長(zhǎng)與加工：硅單晶生長(zhǎng)過程中，溫度梯度變化會(huì)引起晶格缺陷，影響晶圓電學(xué)性能；

芯片測(cè)試環(huán)節(jié)：環(huán)境溫度波動(dòng)可能導(dǎo)致測(cè)試儀器誤差增大，造成芯片分選誤判。極測(cè)精密水冷冷凍水機(jī)組以±0.001℃控溫精度（遠(yuǎn)超行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)）及動(dòng)態(tài)負(fù)載適應(yīng)能力，精zhun解決上述痛點(diǎn)，成為半導(dǎo)體工藝的“溫度守護(hù)者”。

極測(cè)（南京）微環(huán)境控制系統(tǒng)設(shè)備內(nèi)部濕度穩(wěn)定性可達(dá) ±0.5%@8h，有效防止因濕度變化引發(fā)的光學(xué)元件發(fā)霉、機(jī)械部件生銹等問題，延長(zhǎng)立式干涉儀使用壽命。同時(shí)，系統(tǒng)可實(shí)現(xiàn)百級(jí)以上潔凈度控制，蕞高優(yōu)于 ISO class3（設(shè)備工作區(qū)），避免灰塵等污染物影響光線傳播與干涉條紋，為干涉儀營(yíng)造超凈工作空間。 智能功能助力運(yùn)維極測(cè)微環(huán)境控制系統(tǒng)具備強(qiáng)大的數(shù)據(jù)實(shí)時(shí)記錄查詢功能。運(yùn)行中的溫度、濕度等關(guān)鍵數(shù)據(jù)自動(dòng)生成曲線，便于操作人員直觀掌握環(huán)境變化。微環(huán)境控制系統(tǒng)數(shù)據(jù)自動(dòng)保存且可隨時(shí)導(dǎo)出，運(yùn)行狀態(tài)與故障狀態(tài)同步記錄，方便進(jìn)行數(shù)據(jù)分析、質(zhì)量追溯與故障排查。此外，自動(dòng)安全保護(hù)系統(tǒng)可實(shí)現(xiàn)故障自動(dòng)保護(hù)，確保設(shè)備全天候穩(wěn)定運(yùn)行，減少因故障導(dǎo)致的測(cè)量中斷。極測(cè)（南京）技術(shù)有限公司，作為成熟的高精密環(huán)境控制設(shè)備制造商，專注于高精密事業(yè)創(chuàng)新與發(fā)展。

在實(shí)際應(yīng)用中，極測(cè)的溫控設(shè)備已經(jīng)在眾多半導(dǎo)體制造企業(yè)中發(fā)揮了重要作用。某有名芯片制造企業(yè)在引入極測(cè)的溫控設(shè)備后，光刻工藝的精度得到了明顯提升。由于溫度控制更加精zhun，芯片上的電路圖案更加清晰、準(zhǔn)確，有效減少了因溫度問題導(dǎo)致的圖案偏差和缺陷，產(chǎn)品良率大幅提高。現(xiàn)已服務(wù)多家芯片半導(dǎo)體前列企業(yè)與國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室。 同時(shí)極測(cè)（南京）具備全場(chǎng)景非標(biāo)定制能力?？筛鶕?jù)不同客戶的需求根據(jù)溫濕度穩(wěn)定性、潔凈度，以及抗微振、防磁、隔音等個(gè)性化參數(shù)，進(jìn)行靈活定制。一般來說，潔凈室的潔凈度要達(dá)到Class 1到Class 100的標(biāo)準(zhǔn)。安徽精密溫控場(chǎng)景

擁有結(jié)合全場(chǎng)景非標(biāo)定制能力，可滿足用戶不同環(huán)境參數(shù)及使用需求，持續(xù)領(lǐng)跑超高精密環(huán)控技術(shù)革新。光學(xué)檢測(cè)精密溫控房

極測(cè)精密恒溫潔凈棚還配備了智能運(yùn)維系統(tǒng)。運(yùn)行中的溫度、濕度等關(guān)鍵數(shù)據(jù)自動(dòng)生成曲線，操作人員可以直觀地掌握環(huán)境變化情況；數(shù)據(jù)自動(dòng)保存且可隨時(shí)導(dǎo)出，運(yùn)行狀態(tài)與故障狀態(tài)同步記錄，方便進(jìn)行數(shù)據(jù)分析、質(zhì)量追溯與故障排查。自動(dòng)安全保護(hù)系統(tǒng)更是為設(shè)備的穩(wěn)定運(yùn)行提供了全天候保障，一旦出現(xiàn)異常，系統(tǒng)將立即啟動(dòng)保護(hù)機(jī)制，減少因故障導(dǎo)致的測(cè)量中斷和晶圓報(bào)廢。 極測(cè)先進(jìn)的環(huán)境控制技術(shù)，為晶圓操作空間樹立了新的行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)。精密恒溫潔凈棚不僅解決了半導(dǎo)體制造中環(huán)境控制的難題，更為芯片的高精度制造和研發(fā)提供了堅(jiān)實(shí)的保障。隨著半導(dǎo)體技術(shù)的不斷發(fā)展，對(duì)晶圓操作環(huán)境的要求也將越來越高，而極測(cè)精密恒溫潔凈棚，必將在未來的產(chǎn)業(yè)發(fā)展中發(fā)揮更加重要的作用，助力我國(guó)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)邁向新的高度。光學(xué)檢測(cè)精密溫控房