江蘇科研實(shí)驗(yàn)精密溫控

極測(cè)（南京）技術(shù)有限公司采用相對(duì)濕度由外環(huán)境保證，大環(huán)境控制空氣中的絕dui含濕量保持穩(wěn)定，以實(shí)現(xiàn)環(huán)境倉(cāng)內(nèi)部濕度穩(wěn)定性。其超精密環(huán)控艙內(nèi)部構(gòu)造先進(jìn)，包括分區(qū)送風(fēng)靜壓腔、分區(qū)回風(fēng)流道、毫 K 級(jí)測(cè)溫采集模組 + 1/10Bpt100 矩陣式分布、中低頻吸 / 阻靜音設(shè)計(jì)方案等。自研高精密溫控技術(shù)，冷凍水的出水溫度蕞高精度可達(dá) ±0.002℃。
在溫度控制方面，采用大風(fēng)量小溫差的設(shè)計(jì)思想，通過(guò)快速循環(huán)空氣過(guò)濾并帶走熱量，使溫度波動(dòng)處于極低數(shù)值，關(guān)鍵區(qū)域可達(dá) ±0.002℃。同時(shí)采用多級(jí)控溫，將溫度精度逐步提升。針對(duì)光路部分設(shè)計(jì)密閉防護(hù)罩，表面開孔可有效降低發(fā)熱區(qū)域溫度，控制風(fēng)速。對(duì)于局部發(fā)熱區(qū)域，采用局部氣浴進(jìn)行溫度控制，確保該區(qū)域溫度在一定范圍內(nèi)，且 30s 內(nèi)的溫度變化率不超過(guò) 0.03℃。
精密環(huán)控系統(tǒng)安裝后，精度顯著提高。溫度穩(wěn)定性從 ±2℃提升至 ±0.004℃，濕度穩(wěn)定性從 ±10% RH 提升至 ±0.8% RH，潔凈度從 100 級(jí)提升至 10 級(jí)，噪音值從 70dB 降低至 55dB，測(cè)量誤差從 400 降低至 4。
極測(cè)（南京）冷水機(jī)組冷凍水的出水溫度蕞高精度可達(dá)±0.002℃，配置過(guò)載保護(hù)、液位監(jiān)測(cè)、漏液檢測(cè)等功能。江蘇科研實(shí)驗(yàn)精密溫控

極測(cè)精密恒溫潔凈棚還配備了智能運(yùn)維系統(tǒng)。運(yùn)行中的溫度、濕度等關(guān)鍵數(shù)據(jù)自動(dòng)生成曲線，操作人員可以直觀地掌握環(huán)境變化情況；數(shù)據(jù)自動(dòng)保存且可隨時(shí)導(dǎo)出，運(yùn)行狀態(tài)與故障狀態(tài)同步記錄，方便進(jìn)行數(shù)據(jù)分析、質(zhì)量追溯與故障排查。自動(dòng)安全保護(hù)系統(tǒng)更是為設(shè)備的穩(wěn)定運(yùn)行提供了全天候保障，一旦出現(xiàn)異常，系統(tǒng)將立即啟動(dòng)保護(hù)機(jī)制，減少因故障導(dǎo)致的測(cè)量中斷和晶圓報(bào)廢。 極測(cè)先進(jìn)的環(huán)境控制技術(shù)，為晶圓操作空間樹立了新的行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)。精密恒溫潔凈棚不僅解決了半導(dǎo)體制造中環(huán)境控制的難題，更為芯片的高精度制造和研發(fā)提供了堅(jiān)實(shí)的保障。隨著半導(dǎo)體技術(shù)的不斷發(fā)展，對(duì)晶圓操作環(huán)境的要求也將越來(lái)越高，而極測(cè)精密恒溫潔凈棚，必將在未來(lái)的產(chǎn)業(yè)發(fā)展中發(fā)揮更加重要的作用，助力我國(guó)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)邁向新的高度。三坐標(biāo)測(cè)量?jī)x精密溫控價(jià)格極測(cè)（南京）憑借其自主研發(fā)的精密環(huán)控系統(tǒng)，為鍵合設(shè)備提供了超穩(wěn)定的運(yùn)行環(huán)境，成為突破工藝的關(guān)鍵支撐。

精密環(huán)境受到多種因素的影響。溫度波動(dòng)會(huì)導(dǎo)致儀器設(shè)備、被測(cè)樣品等產(chǎn)生形變，影響空氣對(duì)光的折射波動(dòng)；濕度波動(dòng)會(huì)影響空氣折射率，濕度過(guò)高還易造成電器故障；二氧化碳濃度、壓力梯度波動(dòng)會(huì)影響空氣折射率；微振動(dòng)會(huì)造成儀器設(shè)備等抖動(dòng)，影響光路；電磁干擾、接地電阻過(guò)大會(huì)影響儀器設(shè)備正常工作。
極測(cè)（南京）技術(shù)有限公司針對(duì)不同環(huán)境控制需求，提供了完善的解決方案。普通環(huán)境控制需求溫度控制精度為 ±2℃，濕度控制精度為 ±5~15%，潔凈度等級(jí)為十萬(wàn)級(jí)到百級(jí)，采用恒溫恒濕超凈間；精密環(huán)境控制需求溫度控制精度為 ±0.5~1℃，濕度控制精度為 ±2~5%，潔凈度等級(jí)為萬(wàn)級(jí)到百級(jí)，采用精密恒溫恒濕超凈間；高精密環(huán)境控制需求溫度控制精度為 ±0.1~0.3℃，濕度控制精度為 ±2~5%，潔凈度等級(jí)為千級(jí)到百級(jí)，采用高精密恒溫恒濕超凈間；超精密環(huán)境控制需求溫度控制精度為 ±0.002~0.1℃，濕度控制精度為 ±1~5%，潔凈度等級(jí)為百級(jí)到十級(jí)，在高精密恒溫恒濕超凈間中搭建精密環(huán)控系統(tǒng)，同時(shí)氣流 / 風(fēng)速 / 壓差控制、CO?濃度調(diào)節(jié)、噪音控制、環(huán)境參數(shù)閉環(huán)控制。

在實(shí)際應(yīng)用中，極測(cè)的溫控設(shè)備已經(jīng)在眾多半導(dǎo)體制造企業(yè)中發(fā)揮了重要作用。某有名芯片制造企業(yè)在引入極測(cè)的溫控設(shè)備后，光刻工藝的精度得到了明顯提升。由于溫度控制更加精zhun，芯片上的電路圖案更加清晰、準(zhǔn)確，有效減少了因溫度問(wèn)題導(dǎo)致的圖案偏差和缺陷，產(chǎn)品良率大幅提高。現(xiàn)已服務(wù)多家芯片半導(dǎo)體前列企業(yè)與國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室。 同時(shí)極測(cè)（南京）具備全場(chǎng)景非標(biāo)定制能力。可根據(jù)不同客戶的需求根據(jù)溫濕度穩(wěn)定性、潔凈度，以及抗微振、防磁、隔音等個(gè)性化參數(shù)，進(jìn)行靈活定制。堅(jiān)固美觀：鈑金箱體堅(jiān)固耐用，外觀顏色可按需定制，完美融入現(xiàn)代化實(shí)驗(yàn)室環(huán)境。

這款高精密環(huán)控柜是我司單獨(dú)研發(fā)的精密環(huán)境控制設(shè)備，可達(dá)成ISOClass1-6級(jí)潔凈度，以及±0.1℃、±0.05℃、±0.01℃、±0.002℃等多級(jí)溫度波動(dòng)控制精度。依托全場(chǎng)景非標(biāo)定制能力，能滿足用戶在溫濕度穩(wěn)定性、潔凈度、抗微振、防磁、隔音等多方面的個(gè)性化需求。設(shè)備具備運(yùn)行數(shù)據(jù)實(shí)時(shí)記錄與查詢功能，并配備自動(dòng)安全防護(hù)系統(tǒng)，確保長(zhǎng)期穩(wěn)定運(yùn)行。其構(gòu)成包括主柜體、控制系統(tǒng)、氣流循環(huán)系統(tǒng)、潔凈過(guò)濾器、制冷（熱）系統(tǒng)、照明系統(tǒng)及局部氣浴等，專為光刻機(jī)、激光干涉儀等精密測(cè)量與制造設(shè)備，提供超高精度的溫濕度及潔凈度工作環(huán)境。該系統(tǒng)采用“外環(huán)境保障相對(duì)濕度、大環(huán)境穩(wěn)定絕dui含濕量”的邏輯，通過(guò)精zhun控溫實(shí)現(xiàn)倉(cāng)內(nèi)濕度達(dá)標(biāo)。為滿足嚴(yán)苛要求，采用大風(fēng)量小溫差設(shè)計(jì)，快速循環(huán)過(guò)濾空氣并帶走余熱，使關(guān)鍵區(qū)域溫度波動(dòng)低至±0.002℃；同時(shí)通過(guò)多級(jí)控溫（表冷盤降溫+多級(jí)電加熱升溫），將精度從±0.1℃逐步提升至±0.002℃。例如，光刻工藝中，微小的溫度波動(dòng)會(huì)導(dǎo)致曝光位置的漂移，進(jìn)而影響線路的精確度。膜厚測(cè)量?jī)x精密溫控制造

晶圓需要經(jīng)歷一系列高精度的蝕刻、涂層、光刻等工藝，這些工藝都需要在特定的溫度范圍內(nèi)進(jìn)行。江蘇科研實(shí)驗(yàn)精密溫控

在半導(dǎo)體制造的精密領(lǐng)域，每一個(gè)細(xì)微的溫度變化，都可能對(duì)芯片的性能產(chǎn)生重大影響。南京拓展科技旗下企業(yè)，極測(cè)（南京）作為專業(yè)的精密溫控設(shè)備供應(yīng)商，其對(duì)環(huán)境溫度控制精度可達(dá) ±0.002℃，潔凈度可達(dá)一級(jí)（優(yōu)于ISO class1），這一數(shù)據(jù)在行業(yè)內(nèi)處于前列水平，為更高精度的芯片半導(dǎo)體制造提供了可靠的環(huán)境保障。 極測(cè)（南京）投入大量資源進(jìn)行技術(shù)研發(fā)，致力于為半導(dǎo)體制造提供高精度、高穩(wěn)定性的溫控設(shè)備。以其成熟的技術(shù)和創(chuàng)新的解決方案，為半導(dǎo)體制造精度構(gòu)筑起一道堅(jiān)實(shí)的防線。江蘇科研實(shí)驗(yàn)精密溫控