精密環(huán)境受到多種因素的影響。溫度波動(dòng)會(huì)導(dǎo)致儀器設(shè)備、被測(cè)樣品等產(chǎn)生形變,影響空氣對(duì)光的折射波動(dòng);濕度波動(dòng)會(huì)影響空氣折射率,濕度過(guò)高還易造成電器故障;二氧化碳濃度、壓力梯度波動(dòng)會(huì)影響空氣折射率;微振動(dòng)會(huì)造成儀器設(shè)備等抖動(dòng),影響光路;電磁干擾、接地電阻過(guò)大會(huì)影響儀器設(shè)備正常工作。
極測(cè)(南京)技術(shù)有限公司針對(duì)不同環(huán)境控制需求,提供了完善的解決方案。普通環(huán)境控制需求溫度控制精度為 ±2℃,濕度控制精度為 ±5~15%,潔凈度等級(jí)為十萬(wàn)級(jí)到百級(jí),采用恒溫恒濕超凈間;精密環(huán)境控制需求溫度控制精度為 ±0.5~1℃,濕度控制精度為 ±2~5%,潔凈度等級(jí)為萬(wàn)級(jí)到百級(jí),采用精密恒溫恒濕超凈間;高精密環(huán)境控制需求溫度控制精度為 ±0.1~0.3℃,濕度控制精度為 ±2~5%,潔凈度等級(jí)為千級(jí)到百級(jí),采用高精密恒溫恒濕超凈間;超精密環(huán)境控制需求溫度控制精度為 ±0.002~0.1℃,濕度控制精度為 ±1~5%,潔凈度等級(jí)為百級(jí)到十級(jí),在高精密恒溫恒濕超凈間中搭建精密環(huán)控系統(tǒng),同時(shí)氣流 / 風(fēng)速 / 壓差控制、CO?濃度調(diào)節(jié)、噪音控制、環(huán)境參數(shù)閉環(huán)控制。
穩(wěn)定電子元件內(nèi)部結(jié)構(gòu),應(yīng)用于超聲波清洗、真空鍍膜等場(chǎng)景,防止清洗劑揮發(fā)并保障鍍膜質(zhì)量。山東精密溫控柜

這款高精密環(huán)控柜是我司單獨(dú)研發(fā)的精密環(huán)境控制設(shè)備,可達(dá)成ISOClass1-6級(jí)潔凈度,以及±0.1℃、±0.05℃、±0.01℃、±0.002℃等多級(jí)溫度波動(dòng)控制精度。依托全場(chǎng)景非標(biāo)定制能力,能滿足用戶在溫濕度穩(wěn)定性、潔凈度、抗微振、防磁、隔音等多方面的個(gè)性化需求。設(shè)備具備運(yùn)行數(shù)據(jù)實(shí)時(shí)記錄與查詢功能,并配備自動(dòng)安全防護(hù)系統(tǒng),確保長(zhǎng)期穩(wěn)定運(yùn)行。其構(gòu)成包括主柜體、控制系統(tǒng)、氣流循環(huán)系統(tǒng)、潔凈過(guò)濾器、制冷(熱)系統(tǒng)、照明系統(tǒng)及局部氣浴等,專為光刻機(jī)、激光干涉儀等精密測(cè)量與制造設(shè)備,提供超高精度的溫濕度及潔凈度工作環(huán)境。該系統(tǒng)采用“外環(huán)境保障相對(duì)濕度、大環(huán)境穩(wěn)定絕dui含濕量”的邏輯,通過(guò)精zhun控溫實(shí)現(xiàn)倉(cāng)內(nèi)濕度達(dá)標(biāo)。為滿足嚴(yán)苛要求,采用大風(fēng)量小溫差設(shè)計(jì),快速循環(huán)過(guò)濾空氣并帶走余熱,使關(guān)鍵區(qū)域溫度波動(dòng)低至±0.002℃;同時(shí)通過(guò)多級(jí)控溫(表冷盤降溫+多級(jí)電加熱升溫),將精度從±0.1℃逐步提升至±0.002℃。重慶防磁精密溫控通過(guò)整體環(huán)境溫度的精密調(diào)控,以及針對(duì)局部發(fā)熱點(diǎn)進(jìn)行局部氣浴,配套控制潔凈度及減振處理等。

控制精度是衡量精密環(huán)控設(shè)備的關(guān)鍵指標(biāo),通常以溫度和濕度的偏差值表示,如 ±0.1℃和 ±1% RH,偏差值越小,精密環(huán)控設(shè)備的控制能力越強(qiáng)。極測(cè)(南京)技術(shù)有限公司的精密環(huán)控設(shè)備運(yùn)用自主研發(fā)的高精密控溫技術(shù),能達(dá)到 0.1% 的控制輸出精度。同時(shí),精密環(huán)控設(shè)備內(nèi)部的溫濕度均勻性也很重要,能確保各個(gè)位置的物品處于相同環(huán)境條件;而且在長(zhǎng)時(shí)間運(yùn)行中,精密環(huán)控設(shè)備的溫濕度控制需保持穩(wěn)定,波動(dòng)范圍越小越好,像極測(cè)的設(shè)備內(nèi)部溫度穩(wěn)定性關(guān)鍵區(qū)域可達(dá) +/-2mK(靜態(tài)),溫度水平均勻性小于 16mK/m。
極測(cè)方案:蕞高±0.002℃精密溫控,鑄就測(cè)量 “計(jì)量基準(zhǔn)”控溫精度:提供業(yè)界前列的 ±0.002℃高精密溫度控制能力,溫度水平均勻性嚴(yán)格控制在 <16mK/m 范圍內(nèi),確保測(cè)量過(guò)程的穩(wěn)定性和 0.1% 的控制輸出精度。
濕度與潔凈協(xié)同保障:設(shè)備同時(shí)實(shí)現(xiàn) ±0.5%@8h 的高濕度穩(wěn)定性,杜絕因濕度問(wèn)題導(dǎo)致的零部件腐蝕和鏡片結(jié)霧風(fēng)險(xiǎn)。潔凈度控制可達(dá)百級(jí)以上,關(guān)鍵工作區(qū)蕞高優(yōu)于 ISO class3 標(biāo)準(zhǔn),嚴(yán)防塵埃顆粒干擾精密光路。
全方wei環(huán)境定制:極測(cè)具備強(qiáng)大的全場(chǎng)景非標(biāo)定制能力,不僅能滿足嚴(yán)苛的溫濕度穩(wěn)定性需求,還能根據(jù)用戶具體場(chǎng)景定制抗微振、防磁、隔音等綜合環(huán)境參數(shù),為干涉儀量身打造理想的工作空間。
系統(tǒng)由設(shè)備主柜體、潔凈過(guò)濾系統(tǒng)、局部氣浴、控制系統(tǒng)、氣流循環(huán)系統(tǒng)、制冷(熱)系統(tǒng)等組成。

極測(cè)(南京)技術(shù)有限公司依托母公司南京拓展科技有限公司在實(shí)驗(yàn)室專業(yè)領(lǐng)域的沉淀,尤其是暖通及自控方面的專長(zhǎng),同時(shí)匯聚了30多名擁有15年以上經(jīng)驗(yàn)的行業(yè)前列工程師,致力于為芯片半導(dǎo)體、精密光學(xué)、科研研發(fā)等領(lǐng)域提供定制化的高精密環(huán)境解決方案,現(xiàn)已服務(wù)多家全球半導(dǎo)體、通信設(shè)備、顯示面板企業(yè)與國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室,應(yīng)用于眾多科研與生產(chǎn)場(chǎng)景,科學(xué)技術(shù)成果認(rèn)定為國(guó)際先進(jìn)水平。目前,高精密環(huán)境控制設(shè)備已實(shí)現(xiàn)蕞高溫控精度±0.002℃,潔凈度十級(jí)以上。擁有結(jié)合全場(chǎng)景非標(biāo)定制能力,可滿足用戶不同環(huán)境參數(shù)及使用需求,持續(xù)領(lǐng)跑超高精密環(huán)控技術(shù)革新。極測(cè)(南京)致力于為芯片半導(dǎo)體、電子信息、光學(xué)儀器、精密制造、新能源等行業(yè)提供高精密環(huán)境解決方案。山東精密溫控柜
極測(cè)(南京)高精密環(huán)境控制設(shè)備確保實(shí)驗(yàn)結(jié)果的準(zhǔn)確性和可靠性,滿足光刻機(jī)、加速器等設(shè)備的恒溫需求。山東精密溫控柜
考慮到不同生產(chǎn)車間的布局需求,極測(cè)精密環(huán)控設(shè)備采用可拆卸鋁合金框架,大型設(shè)備可在現(xiàn)場(chǎng)便捷組裝,節(jié)省安裝時(shí)間與成本。箱體采用高質(zhì)量鈑金材質(zhì),不僅堅(jiān)固耐用,還可根據(jù)客戶需求定制外觀顏色,融入不同的工作環(huán)境。設(shè)備運(yùn)行時(shí),采用 EC 風(fēng)機(jī)和高效隔音材質(zhì),實(shí)現(xiàn)靜音高效運(yùn)轉(zhuǎn),噪音低于 45dB,為操作人員營(yíng)造安靜舒適的工作環(huán)境,避免噪音干擾測(cè)量操作和數(shù)據(jù)分析。 自推出以來(lái),極測(cè)精密環(huán)控設(shè)備已成功為眾多企業(yè)的三坐標(biāo)測(cè)量?jī)x提供了穩(wěn)定可靠的工作環(huán)境,贏得了贊譽(yù)。在制造業(yè)對(duì)高精度、高效率生產(chǎn)要求日益提升的如今極測(cè)精密環(huán)控設(shè)備為精密制造和質(zhì)量檢測(cè)奠定堅(jiān)實(shí)基礎(chǔ),助力企業(yè)在激烈的市場(chǎng)競(jìng)爭(zhēng)中脫穎而出。山東精密溫控柜