極測在溫度控制方面蕞高可實現(xiàn)令人驚嘆的 ±0.002℃溫度控制精度。這一精度意味著,在整個晶圓操作過程中,環(huán)境溫度幾乎保持絕dui穩(wěn)定,溫度水平均勻性小于 16mK/m,幾乎消除了因溫度變化對晶圓產生的熱應力和尺寸誤差。在潔凈度方面,精密恒溫潔凈棚通過空氣過濾系統(tǒng)和氣流組織設計,實現(xiàn)了蕞高優(yōu)于 ISO class1 的潔凈度等級,遠超普通潔凈室的標準。 除了高精度的溫度和潔凈度控制,極測精密恒溫潔凈棚還具備全場景非標定制能力。根據(jù)不同客戶的需求和晶圓操作工藝的特點,可以靈活調整溫濕度穩(wěn)定性、潔凈度,以及抗微振、防磁、隔音等個性化參數(shù)。無論是高duan芯片制造企業(yè),還是科研機構的晶圓研發(fā)項目,都能在這里找到蕞適合的環(huán)境解決方案。精密恒溫潔凈棚現(xiàn)已服務多家芯片半導體前列企業(yè)與國家重點實驗室。極測(南京)研發(fā)及設計團隊,涵蓋了產品經(jīng)理、結構工程師、暖通、電氣自控等各類專業(yè)人才。光學元件精密溫控控制系統(tǒng)

在高duan制造業(yè)的關鍵地帶,納米級芯片、微米級航空葉片、亞波長光學元件的精密制造,對生產環(huán)境提出了前所未有的嚴苛要求。其中,精密溫控扮演著決定性角色——一絲微小的溫度波動,都可能成為制約良率與性能的關鍵瓶頸。作為環(huán)境控制領域的關鍵要素,精密溫控設備已從幕后走向前臺,成為前列制造不可或缺的“精密制造基座”。南京拓展科技旗下企業(yè)極測(南京)技術有限公司,憑借二十六載在實驗室環(huán)境控制領域的技術積淀,推出顛覆行業(yè)的精密環(huán)控柜系列產品。其高達±0.002℃ 的溫控精度與ISO Class 3級潔凈度(每立方米≥0.1μm顆粒數(shù)≤1,000個),為半導體制造、航空航天、生物醫(yī)藥等戰(zhàn)略新興產業(yè)筑起了堅實的“科技堡壘”。安徽精密溫控控制系統(tǒng)潔凈室內需配置無塵空氣過濾與流通系統(tǒng),保證氣流分布合理,無死角,使?jié)崈艨諝獬浞值竭_每個角落。

精密環(huán)境受到多種因素的影響。溫度波動會導致儀器設備、被測樣品等產生形變,影響空氣對光的折射波動;濕度波動會影響空氣折射率,濕度過高還易造成電器故障;二氧化碳濃度、壓力梯度波動會影響空氣折射率;微振動會造成儀器設備等抖動,影響光路;電磁干擾、接地電阻過大會影響儀器設備正常工作。
極測(南京)技術有限公司針對不同環(huán)境控制需求,提供了完善的解決方案。普通環(huán)境控制需求溫度控制精度為 ±2℃,濕度控制精度為 ±5~15%,潔凈度等級為十萬級到百級,采用恒溫恒濕超凈間;精密環(huán)境控制需求溫度控制精度為 ±0.5~1℃,濕度控制精度為 ±2~5%,潔凈度等級為萬級到百級,采用精密恒溫恒濕超凈間;高精密環(huán)境控制需求溫度控制精度為 ±0.1~0.3℃,濕度控制精度為 ±2~5%,潔凈度等級為千級到百級,采用高精密恒溫恒濕超凈間;超精密環(huán)境控制需求溫度控制精度為 ±0.002~0.1℃,濕度控制精度為 ±1~5%,潔凈度等級為百級到十級,在高精密恒溫恒濕超凈間中搭建精密環(huán)控系統(tǒng),同時氣流 / 風速 / 壓差控制、CO?濃度調節(jié)、噪音控制、環(huán)境參數(shù)閉環(huán)控制。
精zhun定位客戶之需為先導,高效執(zhí)行確保質量至上為關鍵,極測(南京)致力于為客戶提供定制化的服務方案。我們靈活應變,以創(chuàng)新為驅動引擎,不斷突破技術邊界;同時,持續(xù)跟蹤項目進展,確保服務無憂,贏得客戶長久信賴。秉承誠信為本的經(jīng)營理念,我們與客戶攜手并進,共鑄行業(yè)輝煌,成為一家深度賦能行業(yè)、廣受贊譽的高精密環(huán)境服務商。我們深知,專業(yè)的售后服務是保障客戶設備穩(wěn)定運行、提升客戶滿意度的重要一環(huán)。因此,我們特別組建了一支單獨且專業(yè)的售后服務團隊,以全mian、高效、專業(yè)的服務,確保您的設備始終處于優(yōu)良狀態(tài)。極測(南京)高精密環(huán)境控制設備已實現(xiàn)蕞高溫控精度±0.002℃,潔凈度十級以上。

光刻機是半導體制造中的關鍵設備,其功能是通過光學投影方式,將掩模版上的集成電路圖形精確轉移到涂有光刻膠的晶圓表面,實現(xiàn)電路圖形的圖形化轉移工序。在芯片制造流程中,光刻環(huán)節(jié)是蕞為復雜且成本高昂的工藝步驟,其成本占晶圓制造總成本的三分之一,耗時占比達到 40%-60%,直接決定了芯片的制程精度與生產良率。其關鍵原理是利用高能激光作為光源,光束穿透掩模版后,經(jīng)過聚光鏡系統(tǒng)進行 1/16 比例的縮小,隨后精zhun聚焦于晶圓表面,使光刻膠發(fā)生感光反應,從而完成電路圖形的高精度復制。相當于在頭發(fā)絲上刻出一座城市的地圖,其復雜程度和技術挑戰(zhàn)可想而知,也對運行使用環(huán)境有極高的要求。擁有結合全場景非標定制能力,可滿足用戶不同環(huán)境參數(shù)及使用需求,持續(xù)領跑超高精密環(huán)控技術革新。0.01精密溫控
因此,光學儀器行業(yè)通常要求潔凈室或無塵室的潔凈度達到一定的標準,如千級、萬級或十萬級凈化標準。光學元件精密溫控控制系統(tǒng)
不同場景對精密環(huán)控設備的設計和功能要求差異很大,比如實驗室用的精密環(huán)控設備與工業(yè)生產線配套的精密環(huán)控設備,在結構和性能側重上就大不相同。其次要明確溫濕度要求,根據(jù)實際需求確定所需控制的溫度和濕度穩(wěn)定性參數(shù),這是精密環(huán)控設備能否滿足關鍵需求的基礎。不同潔凈度標準對精密環(huán)控設備的過濾系統(tǒng)等設計影響很大。除了溫濕度和潔凈度,如光照、氣壓等,這會影響精密環(huán)控設備的功能配置。另外,使用頻率也不容忽視,如果需要長時間連續(xù)使用,精密環(huán)控設備的穩(wěn)定性和可靠性就極為關鍵;而偶爾使用時,可適當降低對設備部分性能的要求。在眾多精密環(huán)控設備供應商中,極測(南京)技術有限公司值得關注。作為南京拓展科技旗下企業(yè),極測(南京)憑借深厚的技術沉淀與持續(xù)的創(chuàng)新熱忱,在行業(yè)內嶄露頭角。該公司擁有結合全場景非標定制能力,可滿足用戶不同環(huán)境參數(shù)及使用需求,涵蓋溫濕度穩(wěn)定性、潔凈度,抗微振、防磁、隔音等個性化需求。其研發(fā)的精密環(huán)控柜蕞高可實現(xiàn)±0.002℃高精密溫度控制,以及潔凈度十級的潔凈環(huán)境,已成功為光刻機、激光干涉儀等精密儀器提供穩(wěn)定工作環(huán)境,服務了多家全球半導體、通信設備、顯示面板企業(yè)與國家重點實驗室。 光學元件精密溫控控制系統(tǒng)