晶圓制造是一項(xiàng)對(duì)環(huán)境極為敏感的工藝。無(wú)論是光刻、刻蝕,還是封裝環(huán)節(jié),溫度的細(xì)微波動(dòng)和空氣中的微小顆粒都可能帶來(lái)災(zāi)難性后果,影響芯片的功能或造成短路或斷路,導(dǎo)致整片晶圓報(bào)廢。南京拓展科技旗下企業(yè),極測(cè)(南京)技術(shù)有限公司推出的超精密恒溫潔凈棚,憑借突破性的環(huán)境控制技術(shù),為晶圓構(gòu)建起無(wú)可比擬的操作空間,可實(shí)現(xiàn)±0.002℃,±0.005℃,±0.05℃,±0.01℃,±0.1℃等不同等級(jí)精度的溫度控制,及ISO class1-ISO class6不同等級(jí)的潔凈度,相比晶圓操作臺(tái)通過(guò)被動(dòng)抵御環(huán)境溫度變化,極測(cè)精密恒溫潔凈棚通過(guò)其在溫度控制和潔凈度管理上的雙重突破,主動(dòng)調(diào)控外部溫度,形成超精密恒溫潔凈間的 “黃金環(huán)境”,成為推動(dòng)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)向更高精度邁進(jìn)的關(guān)鍵力量。精密測(cè)量要求環(huán)境高度潔凈,以防止微粒、塵埃和顆粒物影響測(cè)量精度??梢允褂肏EPA過(guò)濾器、潔凈工作臺(tái)等。局部氣浴精密溫控采購(gòu)

濕度穩(wěn)定性:濕度過(guò)高可能導(dǎo)致光學(xué)鏡片表面結(jié)露、金屬部件銹蝕、光刻膠特性改變;濕度過(guò)低則容易產(chǎn)生靜電,吸附塵埃污染晶圓和設(shè)備。精確的濕度控制對(duì)確保工藝穩(wěn)定性和材料性能至關(guān)重要。3、chao低振動(dòng):光刻機(jī)在曝光時(shí)需要極高的穩(wěn)定性。任何來(lái)自地面(交通、施工、人員走動(dòng))、設(shè)備自身(空調(diào)、泵)或建筑物(風(fēng)載荷)的振動(dòng),都會(huì)直接導(dǎo)致光學(xué)系統(tǒng)抖動(dòng),使投影到硅片上的圖形模糊或位置偏移。因此,光刻機(jī)通常安裝在深達(dá)地下的單獨(dú)地基或高性能主動(dòng)/被動(dòng)隔震平臺(tái)上,甚至采用磁懸浮等技術(shù)進(jìn)行主動(dòng)減振。 甘肅精密溫控設(shè)計(jì)極測(cè)(南京)高精密環(huán)境控制設(shè)備確保實(shí)驗(yàn)結(jié)果的準(zhǔn)確性和可靠性,滿足光刻機(jī)、加速器等設(shè)備的恒溫需求。

打造波動(dòng) ±0.005℃、潔凈度 ISO Class 3 的精密環(huán)境是一項(xiàng)復(fù)雜的系統(tǒng)工程。通過(guò)明確目標(biāo)、構(gòu)建系統(tǒng)、智能監(jiān)測(cè)和完善維護(hù),能夠有效實(shí)現(xiàn)這一目標(biāo)。極測(cè)(南京)精密溫控設(shè)備為高duan產(chǎn)業(yè)和科研活動(dòng)提供穩(wěn)定、可靠的環(huán)境保障,推動(dòng)行業(yè)不斷向著更高精度、更高質(zhì)量的方向發(fā)展。第一步,確定環(huán)境要求標(biāo)準(zhǔn)與目標(biāo)。根據(jù)具體的生產(chǎn)或?qū)嶒?yàn)需求,明確溫度、濕度、潔凈度等各項(xiàng)參數(shù)的目標(biāo)值;以及對(duì)此環(huán)境所處的外部大環(huán)境參數(shù)進(jìn)行確認(rèn)。第二步,明確高精度環(huán)境要求空間大小,并構(gòu)建環(huán)境控制系統(tǒng)。根據(jù)所需空間大小搭建外部框架,針對(duì)框架空間內(nèi)的溫度控制,選擇相應(yīng)精密溫控設(shè)備并合理布局,確保溫度在整個(gè)空間內(nèi)均勻分布。第三步,實(shí)施智能監(jiān)測(cè)與反饋。精密溫控設(shè)備通過(guò)部署高精度傳感器實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)環(huán)境中的各項(xiàng)參數(shù),并將數(shù)據(jù)傳輸至智能控制系統(tǒng),進(jìn)行智能調(diào)控,使環(huán)境恢復(fù)穩(wěn)定。蕞后,建立完善的維護(hù)體系。定期對(duì)環(huán)境控制系統(tǒng)進(jìn)行維護(hù)和保養(yǎng),包括清潔設(shè)備、更換濾芯、校準(zhǔn)傳感器等,確保精密溫控設(shè)備始終處于良好的運(yùn)行狀態(tài)。
極測(cè)(南京)高精密水冷冷凍水機(jī)組的 “數(shù)字引擎”PT100 溫度傳感器與PID 控制算法形成基礎(chǔ)控溫鏈路,控溫精度達(dá) ±0.1℃~±0.01℃;高精密逐級(jí)控溫專利設(shè)計(jì)(如分級(jí)制冷回路)進(jìn)一步細(xì)化控制層級(jí),部分機(jī)型引入自適應(yīng)模糊控制算法,在激光加工、醫(yī)療設(shè)備等復(fù)雜場(chǎng)景中,將精密水冷冷凍水機(jī)組的控溫精度提升至±0.001℃(毫 K 級(jí))。
精密水冷冷凍水機(jī)組采用板式換熱器,其微通道結(jié)構(gòu)與波紋板片設(shè)計(jì)使傳熱系數(shù)提升 20%~40%,同時(shí)具備體積緊湊、易維護(hù)等優(yōu)勢(shì);不銹鋼 / 銅材質(zhì)增強(qiáng)耐腐蝕性,適配半導(dǎo)體、醫(yī)療等行業(yè)對(duì)水質(zhì)與潔凈度的高要求;環(huán)保冷媒 R410A 的應(yīng)用,更契合全球綠色制造趨勢(shì)。
極測(cè)(南京)的售后服務(wù)團(tuán)隊(duì),以高效、專業(yè)的服務(wù),確保您的設(shè)備始終處于優(yōu)良狀態(tài)。

極測(cè)(南京)致力于為全球高精密需求用戶打造超精密穩(wěn)定的研發(fā)與生產(chǎn)環(huán)境,專注于研發(fā)、生產(chǎn)和銷售高端定制化精密環(huán)控系統(tǒng),目前已擁有結(jié)合全場(chǎng)景非標(biāo)定制能力,滿足用戶不同溫濕度穩(wěn)定性、潔凈度,氣壓穩(wěn)定性、抗微振、防磁、隔音等個(gè)性化需求??茖W(xué)技術(shù)成果認(rèn)定為國(guó)際先進(jìn)水平。服務(wù)行業(yè)覆蓋:半導(dǎo)體芯片、精密光學(xué)、精密測(cè)量、新能源、航空航天、通信技術(shù)等行業(yè)。極測(cè)在新技術(shù)浪潮中奮力向前,攀登環(huán)境控制新高度!為用戶提供精zhun、穩(wěn)定、可靠的高精密環(huán)境!精密測(cè)量需要在恒溫條件下進(jìn)行,因?yàn)楦鞣N工程材料都有熱膨脹性。標(biāo)準(zhǔn)測(cè)量溫度通常為20℃。OCD量測(cè)精密溫控平臺(tái)
極測(cè)(南京)高精密環(huán)控設(shè)備用于芯片加工、元器件組裝等場(chǎng)景,避免熱應(yīng)力對(duì)精密元件的影響,提升良品率。局部氣浴精密溫控采購(gòu)
控制精度是衡量精密環(huán)控設(shè)備的關(guān)鍵指標(biāo),通常以溫度和濕度的偏差值表示,如 ±0.1℃和 ±1% RH,偏差值越小,精密環(huán)控設(shè)備的控制能力越強(qiáng)。極測(cè)(南京)技術(shù)有限公司的精密環(huán)控設(shè)備運(yùn)用自主研發(fā)的高精密控溫技術(shù),能達(dá)到 0.1% 的控制輸出精度。同時(shí),精密環(huán)控設(shè)備內(nèi)部的溫濕度均勻性也很重要,能確保各個(gè)位置的物品處于相同環(huán)境條件;而且在長(zhǎng)時(shí)間運(yùn)行中,精密環(huán)控設(shè)備的溫濕度控制需保持穩(wěn)定,波動(dòng)范圍越小越好,像極測(cè)的設(shè)備內(nèi)部溫度穩(wěn)定性關(guān)鍵區(qū)域可達(dá) +/-2mK(靜態(tài)),溫度水平均勻性小于 16mK/m。 局部氣浴精密溫控采購(gòu)