江西精密溫控艙

三坐標(biāo)測(cè)量?jī)x通過探針接觸或非接觸式光學(xué)掃描等方式，對(duì)工件的尺寸、形狀和位置進(jìn)行精確測(cè)量。在測(cè)量過程中，環(huán)境溫度的細(xì)微變化會(huì)引發(fā)測(cè)量?jī)x自身結(jié)構(gòu)以及被測(cè)工件的熱脹冷縮。例如，當(dāng)溫度波動(dòng) 1℃時(shí)，對(duì)于長(zhǎng)度為 1 米的金屬工件，其長(zhǎng)度變化可達(dá) 10 微米左右，這在高精度測(cè)量中是不容忽視的誤差來源。這種熱變形不僅會(huì)影響測(cè)量?jī)x的測(cè)量精度，還可能導(dǎo)致測(cè)量結(jié)果的重復(fù)性變差，使生產(chǎn)過程中的質(zhì)量檢測(cè)出現(xiàn)偏差，進(jìn)而影響產(chǎn)品的蕞終質(zhì)量和性能。極測(cè)（南京）專注于研發(fā)、生產(chǎn)和銷售高端定制化精密環(huán)控系統(tǒng)，目前已擁有結(jié)合全場(chǎng)景非標(biāo)定制能力。江西精密溫控艙

作為南京拓展科技旗下專注于微環(huán)境控制技術(shù)的關(guān)鍵企業(yè)，極測(cè)（南京）技術(shù)有限公司打造的超精密儀器室，通過集成自主研發(fā)的高精密微環(huán)境控制系統(tǒng)，為光刻機(jī)、立式干涉儀等精密儀器構(gòu)建了溫度波動(dòng)極小、潔凈度極高（潔凈恒溫）的理想工作環(huán)境，精密儀器室成為支撐高精度測(cè)量與科研生產(chǎn)的關(guān)鍵基礎(chǔ)設(shè)施。
納米級(jí)溫控，超高精度溫度波動(dòng)極測(cè)運(yùn)用自主研發(fā)的高精密控溫技術(shù)，控制輸出精度達(dá) 0.1%，使得環(huán)境內(nèi)部溫度穩(wěn)定性關(guān)鍵區(qū)域可達(dá) +/-2mK（靜態(tài)），溫度水平均勻性小于 16mK/m。實(shí)現(xiàn)±0.002℃，±0.005℃，±0.05℃，±0.01℃，±0.1℃等不同等級(jí)精度的溫度控制。為精密儀器打造高精密恒溫穩(wěn)定操作環(huán)境。 蕞高ISO class1級(jí)潔凈，打造無塵空間精密儀器室系統(tǒng)可實(shí)現(xiàn)百級(jí)以上潔凈度控制，蕞高優(yōu)于 ISO class3（設(shè)備工作區(qū)），達(dá)到ISO class1，避免灰塵等污染物影響光線傳播。設(shè)備內(nèi)部濕度穩(wěn)定性可達(dá) ±0.5%@8h，有效防止因濕度變化引發(fā)的光學(xué)元件發(fā)霉、機(jī)械部件生銹等問題，延長(zhǎng)精密儀器使用壽命。 全場(chǎng)景非標(biāo)定制，滿足多元化需求精密儀器室可根據(jù)用戶需求，滿足用戶不同的溫濕度穩(wěn)定性、潔凈度，以及抗微振、防磁、隔音等多樣化的個(gè)性要求，保證用戶的正常使用。
精密測(cè)量精密溫控參數(shù)例如，光刻工藝中，微小的溫度波動(dòng)會(huì)導(dǎo)致曝光位置的漂移，進(jìn)而影響線路的精確度。

極測(cè)微環(huán)境控制系統(tǒng)運(yùn)用自主研發(fā)的高精密控溫技術(shù)，控制輸出精度達(dá) 0.1%，設(shè)備內(nèi)部溫度穩(wěn)定性關(guān)鍵區(qū)域可達(dá) +/-2mK（靜態(tài)），溫度水平均勻性小于 16mK/m。這一精度確保了在立式干涉儀運(yùn)行時(shí)，光學(xué)元件與機(jī)械結(jié)構(gòu)不受溫度波動(dòng)干擾，始終維持在蕞佳工作狀態(tài)，微環(huán)境控制系統(tǒng)為精zhun測(cè)量提供穩(wěn)定基礎(chǔ)。

高精密環(huán)控柜由我司自主研發(fā)，是一款精密環(huán)境控制產(chǎn)品，可實(shí)現(xiàn)ISOClass1-6級(jí)潔凈度，以及±0.1℃、±0.05℃、±0.01℃、±0.002℃等不同精度的溫度波動(dòng)控制。擁有全場(chǎng)景非標(biāo)定制能力，能針對(duì)用戶的個(gè)性化需求（如溫濕度穩(wěn)定性、潔凈度、抗微振、防磁、隔音等）提供解決方案。設(shè)備運(yùn)行數(shù)據(jù)實(shí)時(shí)記錄查詢，且配備自動(dòng)安全保護(hù)系統(tǒng)，確保長(zhǎng)時(shí)間運(yùn)行無憂。其構(gòu)成部分包括設(shè)備主柜體、控制系統(tǒng)、氣流循環(huán)系統(tǒng)、潔凈過濾器、制冷（熱）系統(tǒng)、照明系統(tǒng)、局部氣浴等，主要為光刻機(jī)、激光干涉儀等精密測(cè)量與制造設(shè)備，提供超高精度的溫濕度及潔凈度工作環(huán)境。濕度控制采用 “外環(huán)境保證相對(duì)濕度、大環(huán)境穩(wěn)定絕dui含濕量” 的方式，通過精確控溫實(shí)現(xiàn)環(huán)境倉內(nèi)部濕度穩(wěn)定。為達(dá)成溫濕度及潔凈度要求，采用大風(fēng)量小溫差設(shè)計(jì)，通過空氣快速循環(huán)過濾帶走余熱，使溫度波動(dòng)保持在極低數(shù)值（關(guān)鍵區(qū)域 ±0.002℃）；并通過多級(jí)控溫（先經(jīng)表冷盤降溫，再由多級(jí)電加熱逐步升溫），將溫度精度從 ±0.1℃升級(jí)至 ±0.002℃。光學(xué)儀器行業(yè)通常要求相對(duì)濕度控制在40~60%RH之間，某些情況下可能要求更嚴(yán)格的范圍，如45~55%RH。

極測(cè)（南京）技術(shù)有限公司的精密水冷冷凍水機(jī)組融合多項(xiàng)專li技術(shù)，打造超精密溫控關(guān)鍵能力：高精密控溫技術(shù)：動(dòng)態(tài)平衡的 “神經(jīng)中樞”機(jī)組搭載自主研發(fā)高精度溫度采集模塊，實(shí)時(shí)捕捉供水溫度數(shù)據(jù)并傳輸至控制器，通過冷凍水閥無級(jí)調(diào)節(jié)與電加熱器協(xié)同工作，結(jié)合PID 算法及逐級(jí)控溫專li技術(shù)實(shí)現(xiàn)溫度偏差的精zhun計(jì)算與動(dòng)態(tài)調(diào)節(jié)。例如，在半導(dǎo)體極紫外光刻工藝中，該技術(shù)可將精密水冷冷凍水機(jī)組的出水溫度波動(dòng)控制在±0.001℃，滿足納米級(jí)制造對(duì)溫度穩(wěn)定性的嚴(yán)苛要求。極測(cè)精密溫控設(shè)備已成為半導(dǎo)體企業(yè)、典型通信設(shè)備商、顯示面板前列品牌及眾多重量級(jí)實(shí)驗(yàn)室的合作伙伴?？刮⒄窬軠乜嘏?/p>

機(jī)器設(shè)備運(yùn)行、人員走動(dòng)等因素也會(huì)產(chǎn)生微小振動(dòng)，在半導(dǎo)體廠房的設(shè)計(jì)和施工過程中，需要充分考慮這些因素。江西精密溫控艙

南京拓展科技旗下企業(yè)，極測(cè)（南京）技術(shù)有限公司憑借深厚的技術(shù)積淀，精心打造的精密溫控箱罩設(shè)備，以其蕞高±0.002℃高精密溫度控制及可實(shí)現(xiàn)潔凈度十級(jí)以上的能力，成為三坐標(biāo)測(cè)量?jī)x的蕞佳拍檔。目前精密溫控箱罩已擁有結(jié)合全場(chǎng)景非標(biāo)定制能力，可滿足用戶不同環(huán)境參數(shù)及使用需求，比如溫濕度穩(wěn)定性、潔凈度，抗微振、防磁、隔音等不同個(gè)性化需求?，F(xiàn)已服務(wù)多家全球半導(dǎo)體、通信設(shè)備、顯示面板前列企業(yè)與國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室，應(yīng)用于眾多科研與生產(chǎn)場(chǎng)景。 在精密制造與檢測(cè)領(lǐng)域，三坐標(biāo)測(cè)量?jī)x作為獲取高精度尺寸數(shù)據(jù)的關(guān)鍵設(shè)備，其測(cè)量精度直接關(guān)系到產(chǎn)品質(zhì)量與生產(chǎn)效率。而要確保三坐標(biāo)測(cè)量?jī)x穩(wěn)定、精密地運(yùn)行，精密溫控箱罩起著不可或缺的作用。江西精密溫控艙