隨著數(shù)控機(jī)床應(yīng)用的普及,采用激光干涉儀對數(shù)控機(jī)床進(jìn)行定位精度檢測已經(jīng)成為目前公認(rèn)的高效、高精度的檢測方法。激光干涉儀測量原理:激光器發(fā)射單一頻率光束射入線性干涉鏡,然后分成兩道光束,一道光束(參考光束)射向連接分光鏡的反射鏡,而第二道透射光束(測量光束)則通過分光鏡射入第二個反射鏡,這兩道光束再反射回到分光鏡,重新匯聚之后返回激光器,其中會有一個探測器監(jiān)控兩道光束之間的干涉。若光程差沒有變化時,探測器會在相長性和相消性干涉的兩極之間找到穩(wěn)定的信號。激光干涉儀的光源——激光。遼寧機(jī)床誤差修正激光干涉儀報價
激光干涉儀是以光波為載體,以光波波長為單位的一種計量測試方法,是公認(rèn)的高精度、高靈敏度的檢測手段,在制造領(lǐng)域應(yīng)用普遍。激光干涉儀產(chǎn)品具有測量精度高、測量速度快、測速下分辨率高、測量范圍大等優(yōu)點。通過與不同的光學(xué)組件結(jié)合,可以實現(xiàn)對直線度、垂直度、角度、平面度、平行度等多種幾何精度的測量。在相關(guān)軟件的配合下,還可以對數(shù)控機(jī)床進(jìn)行動態(tài)性能檢測,可以進(jìn)行機(jī)床振動測試與分析,滾珠絲桿的動態(tài)特性分析,驅(qū)動系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析,導(dǎo)軌的動態(tài)特性分析等,具有極高的精度和效率,為機(jī)床誤差修正提供依據(jù)。小型激光干涉儀價格查詢激光干涉儀是精度比較高的線性位移測量儀器,其光波可以直接對米進(jìn)行定義。
激光干涉儀原理:激光器發(fā)射單一頻率光束射入線性干涉鏡,然后分成兩道光束,一道光束(參考光束)射向連接分光鏡的反射鏡,而第二道透射光束(測量光束)則通過分光鏡射入第二個反射鏡,這兩道光束再反射回到分光鏡,重新匯聚之后返回激光器,其中會有一個探測器監(jiān)控兩道光束之間的干涉(見圖)。若光程差沒有變化時,探測器會在相長性和相消性干涉的兩極之間找到穩(wěn)定的信號。若光程差有變化時,探測器會在每一次光程變化時,在相長性和相消性干涉的兩極之間找到變化信號,這些變化會被計算并用來測量兩個光程之間的差異變化。
激光干涉儀的維護(hù):儀器應(yīng)妥善地放在干燥、清潔的房間內(nèi),防止振動,儀器搬動時,應(yīng)托住底座,以防導(dǎo)軌變形。2、光學(xué)零件不用時,應(yīng)存放在清潔的干燥盆內(nèi),以防止發(fā)霉。反光鏡、分光鏡一般不允許擦拭,必要擦拭時,須先用備件毛刷小心撣去灰塵,再用脫脂清潔棉花球滴上酒精混合液輕拭。傳動部件應(yīng)有良好的潤滑。特別是導(dǎo)軌、絲桿、螺母與軸孔部分,應(yīng)用T5精密儀表油潤滑。使用時,各調(diào)整部位用力要適當(dāng),不要強(qiáng)旋、硬扳。導(dǎo)軌面絲桿應(yīng)防止劃傷、銹蝕,用畢后,仍保持不失油狀態(tài)。激光干涉儀具有有平面度測量組件、直線度測量組件、垂直度測量鏡組、激光器準(zhǔn)直輔助鏡等等。
激光干涉儀在數(shù)控機(jī)床檢定中的應(yīng)用:隨著數(shù)控機(jī)床應(yīng)用的普及,采用激光干涉儀對數(shù)控機(jī)床進(jìn)行定位精度檢測已經(jīng)成為目前公認(rèn)的高效、高精度的檢測方法。激光干涉儀可用于精密機(jī)床、大規(guī)模集成電路加工設(shè)備等在線位置測量、誤差修正和控制,其中激光干涉儀應(yīng)用比較多。與傳統(tǒng)的檢定方法相比,激光干涉儀具有較高的精度和效率,并能及時處理數(shù)據(jù),為機(jī)床誤差修正提供依據(jù),位置精度是機(jī)床的重要指標(biāo),目前各國機(jī)床檢定標(biāo)準(zhǔn)中都推薦使用激光干涉儀。激光干涉儀在機(jī)床中的應(yīng)用是其它傳統(tǒng)測量手段難以實現(xiàn)和替代的。激光干涉儀應(yīng)避免在溫度變化大、有風(fēng)、潮濕環(huán)境下測量。數(shù)控軸平面度激光干涉儀加工生產(chǎn)
激光干涉儀可以進(jìn)導(dǎo)軌的動態(tài)特性分析等。遼寧機(jī)床誤差修正激光干涉儀報價
激光干涉儀的應(yīng)用:幾何精度檢測。可用于檢測直線度、垂直度、俯仰與偏擺、平面度、平行度等。位置精度的檢測及其自動補(bǔ)償可檢測數(shù)控機(jī)床定位精度、重復(fù)定位精度、微量位移精度等。利用激光干涉儀不只能自動測量機(jī)器的誤差,而且還能通過RS232接口自動對其線性誤差進(jìn)行補(bǔ)償,比通常的補(bǔ)償方法節(jié)省了大量時間,并且避免了手工計算和手動數(shù)控鍵入而引起的操作者誤差,同時可比較大限度地選用被測軸上的補(bǔ)償點數(shù),使機(jī)床達(dá)到比較佳精度,另外操作者無需具有機(jī)床參數(shù)及補(bǔ)償方法的知識。遼寧機(jī)床誤差修正激光干涉儀報價