如何選擇適合無塵車間的FFU？

來源：發(fā)布時間：2025-11-25

如何選擇適合無塵車間的 FFU 需圍繞潔凈室等級、根本性能參數(shù)、使用場景需求三大根本維度綜合考量，同時兼顧能耗、維護(hù)與智能化等實際運營因素，具體選擇方法如下：

1.匹配無塵車間的潔凈等級

*明確車間的 ISO 潔凈等級（如電子半導(dǎo)體行業(yè)常用 ISO 5 級、6 級），對應(yīng)選擇過濾效率和覆蓋率：ISO 5 級（芯片制造）需 U15 級 ULPA 過濾器，F(xiàn)FU 覆蓋率 60%-80%；ISO 6 級（精密涂層）可選 H13/H14 級 HEPA 過濾器，覆蓋率 40%-60%；中低等級車間（如 ISO 7-8 級）可選用 H11-H13 級過濾器，覆蓋率 15%-40%。

*半導(dǎo)體前端工藝等對顆?？刂埔髽O高的區(qū)域，需選擇對 0.12μm 顆粒過濾效率≥99.999% 的 ULPA 過濾器。評估根本

2.性能參數(shù)

*風(fēng)機(jī)與電機(jī)：優(yōu)先選 EC 電機(jī)（電子換向電機(jī)），其節(jié)能、調(diào)速平滑、噪音低且壽命長，適合高潔凈度、智能化需求的車間；若預(yù)算有限且對性能要求不高，可選用 AC 電機(jī)，但需接受其能耗高、調(diào)速差的短板。同時需核對風(fēng)機(jī)的風(fēng)量 - 靜壓曲線，確保過濾器終阻力工況下風(fēng)量仍滿足設(shè)計要求。

噪聲與能耗：噪聲值需控制在 50-55 dB (A) 以下（高級別潔凈室要求更嚴(yán)），并關(guān)注單位風(fēng)量能耗（W/(m3/h)），EC 電機(jī)在能耗上優(yōu)勢明顯。

*風(fēng)速與尺寸：面風(fēng)速一般控制在 0.3-0.55m/s，且風(fēng)速均勻性偏差≤±20%；FFU 尺寸需與吊頂龍骨模塊匹配，常見標(biāo)準(zhǔn)尺寸為 1200mm×600mm 或 1200mm×1200mm。

3.結(jié)合使用場景與功能需求

*長期高潔凈需求：如半導(dǎo)體晶圓廠，選 ECFFU，支持無級調(diào)速和智能集成，可接入廠務(wù)監(jiān)控系統(tǒng)實現(xiàn)遠(yuǎn)程管理。

*預(yù)算有限 / 中低等級車間：如普通電子組裝車間，選 ACFFU，初期采購成本低，維護(hù)便捷。

*臨時 / 低成本場景：如短期實驗室改造，可選 BFU（簡化版 FFU），輕量化設(shè)計且安裝拆卸方便，但過濾效率較低。* *特殊工藝區(qū)域：如需定制風(fēng)量、風(fēng)壓，可選用 EFU，其結(jié)構(gòu)靈活，支持過濾器與風(fēng)機(jī)分離安裝。考量材質(zhì)與維護(hù)便利性箱體優(yōu)先選 304 不銹鋼或覆鋁鋅板，耐腐蝕、抗老化，適配車間復(fù)雜環(huán)境；密封工藝需達(dá)標(biāo)，如采用雙層 EPDM 密封條，確保漏風(fēng)率低于 0.01%。選擇模塊化設(shè)計的 FFU，濾網(wǎng)更換更便捷，可減少車間停機(jī)損失。關(guān)注廣東華業(yè)建設(shè)集團(tuán)有限公司 為您解決各種疑難問題。 from clipboard