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不同類型的無(wú)塵車間對(duì)FFU有哪些特殊要求?

來(lái)源: 發(fā)布時(shí)間:2025-11-25
不同類型的無(wú)塵車間因行業(yè)屬性、潔凈等級(jí)和工藝需求差異,對(duì) FFU(風(fēng)機(jī)過(guò)濾機(jī)組)的過(guò)濾效率、覆蓋率、氣流控制及材質(zhì)適配等方面提出了不同特殊要求,根本圍繞潔凈等級(jí)匹配、工藝環(huán)境適配、功能特性定制三大維度展開(kāi),具體要求如下:
  1. 電子 / 半導(dǎo)體行業(yè)無(wú)塵車間(ISO 5-6 級(jí)為主)
    • 過(guò)濾效率:芯片制造、晶圓加工等根本區(qū)域需 U15 級(jí) ULPA 過(guò)濾器,對(duì) 0.12μm 顆粒過(guò)濾效率≥99.999%;封裝測(cè)試等環(huán)節(jié)可選 H14 級(jí) HEPA 過(guò)濾器。
    • 覆蓋率與風(fēng)速:ISO 5 級(jí)車間 FFU 覆蓋率需達(dá) 60%-80%(根本區(qū)甚至≥80%),面風(fēng)速控制在 0.35-0.55m/s,且風(fēng)速均勻性偏差≤±20%,需形成垂直單向流避免微粒沉降在精密元件上。
    • 附加要求:電機(jī)需選 EC 變頻款,支持無(wú)級(jí)調(diào)速并接入廠務(wù)監(jiān)控系統(tǒng);設(shè)備需具備低振動(dòng)特性(振動(dòng)速度≤1.5mm/s),防止影響精密儀器檢測(cè)精度。
  2. 醫(yī)藥 / 生物制藥行業(yè)無(wú)塵車間(GMP 合規(guī),ISO 5-7 級(jí))
    • 過(guò)濾效率:無(wú)菌制劑、灌裝線等 ISO 5 級(jí)區(qū)域需 H14 級(jí)及以上 HEPA 過(guò)濾器,對(duì) 0.3μm 微粒過(guò)濾效率≥99.995%;藥品包裝等 ISO 7 級(jí)區(qū)域可選 H13 級(jí)過(guò)濾器。
    • 氣流與布局:人員活動(dòng)頻繁的灌裝區(qū)需 60%-65% FFU 覆蓋率 + 0.45m/s 層流風(fēng)速,關(guān)鍵區(qū)域加裝垂直單向流 FFU 陣專保粒子數(shù)穩(wěn)定≤29 個(gè) /m3。
    • 材質(zhì)與維護(hù):接觸藥品的區(qū)域,F(xiàn)FU 箱體需用 316L 不銹鋼,過(guò)濾器更換需采用 “袋進(jìn)袋出”(BIBO)方式,防止微生物氣溶膠外泄。
  3. 食品 / 飲料行業(yè)無(wú)塵車間(ISO 7-8 級(jí))
    • 過(guò)濾效率:食品加工、包裝區(qū)選用 H11-H13 級(jí) HEPA 過(guò)濾器,重點(diǎn)攔截微生物和粉塵顆粒即可。
    • 覆蓋率與能耗:FFU 覆蓋率需需 25%-40%,搭配混合流氣流設(shè)計(jì),在關(guān)鍵生產(chǎn)工位局部增加 FFU 即可,無(wú)需高覆蓋率造成能耗浪費(fèi)。
    • 材質(zhì)要求:箱體需具備防腐蝕、易清潔特性,優(yōu)先選 304 不銹鋼并做光滑涂層處理,符合食品衛(wèi)生級(jí)標(biāo)準(zhǔn)。
  4. 化工 / 腐蝕性環(huán)境無(wú)塵車間(ISO 7-8 級(jí))
    • 材質(zhì)適配:強(qiáng)酸、電鍍等腐蝕性區(qū)域,F(xiàn)FU 外殼需用 316L 不銹鋼,電機(jī)涂覆聚四氟乙烯防腐涂層,密封膠條選用耐腐硅橡膠。
    • 過(guò)濾與維護(hù):回風(fēng)側(cè)加裝活性炭過(guò)濾盒吸附腐蝕性氣體,過(guò)濾器更換周期縮短至 6-8 個(gè)月(腐蝕性氣體易堵塞濾材)。
  5. 新能源行業(yè)無(wú)塵車間(如鋰電池,ISO 7 級(jí))
    • 氣流與控濕:FFU 覆蓋率約 30%,搭配頂部回風(fēng)夾層減少氣流短路,同時(shí)需集成濕度補(bǔ)償模塊,確保濕度波動(dòng)≤±5% RH(鋰電池車間需濕度≤30% RH)。
    • 能耗控制:選用低功耗 EC 電機(jī),結(jié)合變頻控制,相比傳統(tǒng) AC 電機(jī)可降低 30% 能耗。
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