FFU如何安裝，安裝流程？

來源：發(fā)布時間：2025-11-25

FFU（風(fēng)機過濾機組）的安裝流程是 “潔凈保護(hù) + 精細(xì)固定 + 密封防漏 + 調(diào)試達(dá)標(biāo)”，需嚴(yán)格遵循無塵車間施工規(guī)范，避免安裝過程污染環(huán)境或影響后續(xù)運行穩(wěn)定性。以下是適配電子 / 半導(dǎo)體、醫(yī)藥、新能源等行業(yè)的通用安裝流程（分 6 大根本步驟），兼顧通用性與高潔凈場景的特殊要求：

一、安裝前準(zhǔn)備（關(guān)鍵前提，避免后續(xù)返工）

環(huán)境與人員準(zhǔn)備
- 無塵車間需完成吊頂龍骨、靜壓箱安裝，且地面 / 墻面已清潔至對應(yīng)潔凈等級（如電子行業(yè) ISO 5 級需提前除塵）；
- 安裝人員需穿全套無塵服、戴無菌手套 / 口罩，工具（扳手、水平儀、密封膠槍）需經(jīng)風(fēng)淋室清潔后帶入，避免帶入灰塵。
設(shè)備與材料檢查
- 核對 FFU 型號、數(shù)量：確認(rèn)風(fēng)量、過濾等級（HEPA/ULPA）與設(shè)計一致，外觀無變形、破損，過濾器密封墊（EPDM 材質(zhì)）完好無老化；
- 準(zhǔn)備輔材：無菌密封膠（食品 / 醫(yī)藥行業(yè)需選食品級）、不銹鋼固定螺栓、減振墊（電子行業(yè)需低振動款）、水平儀、風(fēng)速儀。
基礎(chǔ)條件確認(rèn)
- 吊頂龍骨強度：需能承受 FFU 重量（單臺約 25-40kg），根本區(qū)（如光刻區(qū)）需額外加固，避免運行時振動；
- 靜壓箱密封：靜壓箱內(nèi)部清潔無積塵，接口處已做保溫（防止結(jié)露），與 FFU 安裝面的平整度誤差≤2mm（避免密封不嚴(yán)）。

二、根本安裝流程（6 步標(biāo)準(zhǔn)化操作）

步驟 1：定位放線（確保安裝位置精細(xì)）

按設(shè)計圖紙在吊頂龍骨或靜壓箱面板上標(biāo)記 FFU 安裝位置，相鄰 FFU 間距誤差≤5mm，邊緣距墻面 / 設(shè)備間隙需符合氣流設(shè)計（通?！?0cm）；
根本工藝區(qū)（如半導(dǎo)體光刻區(qū)）需按 “滿布布局” 放線，確保無氣流死角，標(biāo)記處需用無塵布擦拭干凈，避免粉塵殘留。

步驟 2：固定安裝框架（或直接定位 FFU）

若采用 “框架式安裝”：先將不銹鋼安裝框架固定在吊頂龍骨上，用水平儀校準(zhǔn)，框架水平度誤差≤0.5mm/m（防止 FFU 傾斜導(dǎo)致氣流偏流）；
若直接安裝在龍骨上：需在龍骨對應(yīng)位置加裝承重橫梁，確保每臺 FFU 至少有 4 個固定點，避免除點受力導(dǎo)致變形。

步驟 3：FFU 吊裝與初步固定

用潔凈吊帶（避免麻繩等易掉屑工具）將 FFU 垂直吊至安裝位置，緩慢放入框架或龍骨上，避免碰撞過濾器；
先臨時固定：用螺栓穿過 FFU 四角安裝孔與框架 / 龍骨連接（暫不擰緊），調(diào)整 FFU 位置，確保相鄰 FFU 頂面平齊，高低差≤1mm（保證氣流均勻）。

步驟 4：密封處理（防漏根本，避免未過濾空氣滲入）

檢查 FFU 與安裝面貼合度：用塞尺檢測間隙，比較大間隙≤0.5mm，若有縫隙需墊加厚密封墊；
打密封膠：沿 FFU 底部四周與安裝面的接縫處，均勻涂抹無菌密封膠（寬度 5-8mm），確保無斷點、氣泡，密封膠需覆蓋過濾器密封墊外側(cè)（雙重防漏）；
特殊場景：醫(yī)藥行業(yè)需采用 “袋進(jìn)袋出（BIBO）” 結(jié)構(gòu)的 FFU，安裝時需確保過濾器拆裝通道密封，避免微生物泄漏。

步驟 5：緊固與減振安裝（適配高要求場景）

均勻擰緊固定螺栓：按 “對角交叉” 順序擰緊（避免除側(cè)受力導(dǎo)致 FFU 變形），螺栓擰緊力矩控制在 8-10N?m（力度適中，防止壓壞密封墊）；
減振處理（電子 / 半導(dǎo)體行業(yè)必做）：在 FFU 與安裝框架之間加裝橡膠減振墊（厚度 5-10mm），振動速度需控制在≤0.3mm/s，避免影響光刻機等精密設(shè)備。

步驟 6：接線與通電前檢查

接線：將 FFU 電源線與車間適用于潔凈電源對接，電線需穿套管固定，接地電阻≤1Ω（防靜電要求），根本區(qū) FFU 需預(yù)留 PLC 聯(lián)動控制線（支持集中控制）；
通電前核查：再次檢查密封膠是否固化（常溫下 2-4 小時），過濾器無移位，F(xiàn)FU 無松動，周邊無工具、雜物遺留。

三、安裝后調(diào)試與驗收（確保運行達(dá)標(biāo)）

單機試運
- 通電啟動 FFU，運行 30 分鐘，觀察風(fēng)機是否異響、振動（用振動儀檢測≤0.3mm/s），噪音≤55dB (A)（電子行業(yè)根本區(qū)需≤50dB (A)）；
- 用風(fēng)速儀檢測出風(fēng)口風(fēng)速：均勻性偏差≤±20%，根本區(qū)（如光刻區(qū)）需達(dá)到 0.35-0.55m/s。
密封與潔凈度檢測
- 檢漏測試：用粒子計數(shù)器掃描 FFU 四周接縫處，無顆粒泄漏（如 ISO 5 級要求≥0.1μm 顆粒數(shù)≤29 個 /m3）；
- 靜壓測試：檢測車間正壓（相對于外界≥15Pa），確保無氣流短路。
聯(lián)動調(diào)試（智能控制場景）
- 接入中心控制系統(tǒng)，測試風(fēng)速無級調(diào)節(jié)、故障報警（如過濾器壓差超標(biāo)報警）功能，確保單單一立控制與集中聯(lián)動正常。

四、特殊行業(yè)安裝注意事項

電子 / 半導(dǎo)體行業(yè)：FFU 安裝后需額外做振動校準(zhǔn)，與光刻機等設(shè)備的間距≥50cm，避免振動干擾；接地需單獨布線，遠(yuǎn)離動力線纜，防止電磁干擾。
醫(yī)藥行業(yè)：過濾器更換需預(yù)留 “袋進(jìn)袋出” 通道，安裝時避免密封膠污染藥品接觸區(qū)域，調(diào)試后需做微生物檢測（無菌區(qū)需≤10 CFU/m3）。
新能源（鋰電池）行業(yè)：FFU 需接地可靠（接地電阻≤0.5Ω），安裝區(qū)域濕度控制在≤30% RH，避免靜電積累，密封膠需選用耐腐材質(zhì)（防止電解液腐蝕）。