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超聲掃描顯微鏡的檢測精度能達(dá)到什么水平?

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杭州芯紀(jì)源半導(dǎo)體設(shè)備有限公司2025-10-25

現(xiàn)代超聲掃描顯微鏡的檢測精度已提升至微米級(jí),例如25MHz探頭可識(shí)別0.37毫米的缺陷,15MHz探頭可檢測1.0毫米以上的分層。其分辨率取決于樣品與換能器狀態(tài),理論上可達(dá)到半波長(λ/2)的極限。

杭州芯紀(jì)源半導(dǎo)體設(shè)備有限公司
杭州芯紀(jì)源半導(dǎo)體設(shè)備有限公司
簡介:杭州芯紀(jì)源半導(dǎo)體設(shè)備有限公司是一家專業(yè)從事半導(dǎo)體檢測設(shè)備研發(fā)、生產(chǎn)、銷售為一體的科技型企業(yè)。
簡介: 杭州芯紀(jì)源半導(dǎo)體設(shè)備有限公司是一家專業(yè)從事半導(dǎo)體檢測設(shè)備研發(fā)、生產(chǎn)、銷售為一體的科技型企業(yè)。
水浸式超聲掃描儀2
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其余 2 條回答

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    杭州芯紀(jì)源半導(dǎo)體設(shè)備有限公司 2025-10-28

    在半導(dǎo)體封裝領(lǐng)域,**設(shè)備通過多頻段探頭(5-400MHz)實(shí)現(xiàn)從宏觀結(jié)構(gòu)到微米級(jí)缺陷的檢測。例如,Sonoscan的AW64系列采用全反射成像技術(shù),可抑制信號(hào)偽影,將缺陷定位誤差控制在±1%以內(nèi)。

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    杭州芯紀(jì)源半導(dǎo)體設(shè)備有限公司 2025-10-28

    針對(duì)2.5D/3D封裝中的微凸點(diǎn)連接質(zhì)量檢測,超聲掃描顯微鏡可分辨0.1微米級(jí)的界面缺陷。其穿透深度與材料聲阻抗相關(guān),高聲阻抗固體中頻率越高、穿透深度越淺,反之則不受頻率限制。

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  • 半導(dǎo)體超聲檢測
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  • 超聲掃描顯微鏡
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