銀漿無氧烤箱與真空烤箱，銀漿固化效果哪個好？

廣東華芯半導(dǎo)體技術(shù)有限公司2025-10-29

銀漿固化優(yōu)先選無氧烤箱，關(guān)鍵 差異在：①無氧烤箱通過氮氣持續(xù)置換保持低氧，更適合銀漿（尤其有機銀漿），避免真空環(huán)境導(dǎo)致樹脂載體過度揮發(fā)；②溫度均勻性更優(yōu)（±1℃ vs 真空烤箱 ±2-3℃），銀層電阻一致性更好；③無需頻繁抽真空 / 泄壓，適合連續(xù)生產(chǎn)，效率比真空烤箱高 20%-30%。只當(dāng)銀漿含高沸點溶劑（需負壓輔助揮發(fā)）時，真空烤箱更適配，但需配合氮氣回填防氧化。廣東華芯半導(dǎo)體技術(shù)有限公司的無氧烤箱，銀漿固化效果在多數(shù)場景優(yōu)于真空烤箱。

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