金屬表面處理真空鍍膜PECVD 設(shè)備無(wú)法啟動(dòng)怎么辦？

廣東華升納米科技股份有限公司2025-11-23

金屬表面處理真空鍍膜 PECVD 設(shè)備無(wú)法啟動(dòng)，多由六大模塊故障引起：①射頻電源無(wú)輸出或匹配器電容擊穿，等離子體不能點(diǎn)燃；②真空抽不到本底，前級(jí)泵故障或腔體大漏，系統(tǒng)拒絕解鎖；③氣體質(zhì)量流量控制器（MFC）零點(diǎn)漂移，流量為零，連鎖保護(hù)；④冷卻水流開(kāi)關(guān)未閉合，機(jī)臺(tái)過(guò)熱保護(hù)；⑤ PLC 急?；蜷T(mén)互鎖信號(hào)未復(fù)位；⑥靶電源/直流源保險(xiǎn)絲熔斷，無(wú)工藝電壓。排查順序：先復(fù)位急停并確認(rèn)門(mén)閉→檢查冷卻水壓 0.3 MPa→檢漏并用氦質(zhì)譜儀確保漏率＜1×10???Pa·m3/s→校準(zhǔn) MFC 零點(diǎn)→更換熔斷保險(xiǎn)絲→觀(guān)察射頻匹配器反射功率，若＞10 W 則重新調(diào)諧；仍無(wú)法啟動(dòng)，用示波器測(cè)功率管柵極波形，壞管及時(shí)更換。經(jīng)此金屬表面處理流程，可在 30 min 內(nèi)定位故障，恢復(fù)輝光，避免整批金屬表面處理真空鍍膜產(chǎn)品報(bào)廢，保障金屬表面處理產(chǎn)線(xiàn)連續(xù)運(yùn)行與交付節(jié)拍

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