金屬表面處理真空鍍膜工藝過程中出現(xiàn)異常輝光怎么辦？

廣東華升納米科技股份有限公司2025-11-22

金屬表面處理真空鍍膜出現(xiàn)異常輝光時，應立即降功率保設備。先停反應氣，通純Ar 5 min預濺，剝除靶面氧化層；重調匹配器電容，使反射功率＜3 W，避免駐波灼傷；檢查MFC曲線，氣壓波動≤±0.1 Pa，防止局部起輝；觀察窗擋板及時關閉，減少SiO?沉積遮光。仍異常則升壓至0.8 Pa，用低功率20 W緩升，確認輝光均勻后再回歸設定。經(jīng)此金屬表面處理處置，輝光恢復穩(wěn)定，膜層面形與折射率重現(xiàn)設計值，保障批量金屬表面處理真空鍍膜一致性，降低金屬表面處理報廢率，維護金屬表面處理產線連續(xù)高效。

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