POCl3 擴散過程中產(chǎn)生的副產(chǎn)物如何處理？

賽瑞達智能電子裝備（無錫）有限公司2025-07-16

POCl3 擴散過程中會產(chǎn)生一些副產(chǎn)物，如氯化物等。對于這些副產(chǎn)物，首先要通過合理的尾氣處理系統(tǒng)進行處理。一般會采用化學吸收法，利用特定的化學試劑吸收尾氣中的有害成分，例如用堿性溶液吸收氯化氫等酸性氣體。吸收后的溶液需要進行進一步處理，達到環(huán)保排放標準后才能排放。對于一些固體副產(chǎn)物，如反應生成的殘渣等，要按照危險廢物的處理標準進行分類收集和處理，通常會交由專業(yè)的危險廢物處理機構進行安全處置，防止對環(huán)境造成污染。

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