輝光放電質譜GDMS檢測的應用領域有哪些？

杭州博測材料科技有限公司2025-11-14

**應用領域 GD-MS被譽為高純材料痕量元素分析的“黃金標準”，其應用可歸納為以下幾個**領域： 1. 半導體行業(yè) 這是GD-MS**重要、**廣泛的應用領域。半導體器件的性能對原材料中痕量雜質的含量極其敏感，某些雜質即使?jié)舛鹊椭潦畠|分之一（ppb）甚至萬億分之一（ppt）級別，也會嚴重影響芯片的電學性能和成品率。 應用實例： 高純硅材料：分析多晶硅、單晶硅錠和硅片中的金屬雜質（如Fe、Cr、Ni、Cu、Zn、Na、K等）。 化合物半導體：分析砷化鎵（GaAs）、磷化銦（InP）、氮化鎵（GaN）等關鍵材料中的痕量元素。 工藝監(jiān)控：用于監(jiān)測晶圓制造過程中可能引入的污染。 2. 高純金屬及先進合金 許多高性能應用要求金屬材料具有極高的純度，GD-MS能夠直接分析塊狀固體樣品，避免了濕法消解帶來的污染和誤差。 應用實例： 高純金屬：如高純鈦（用于航空航天、醫(yī)療植入物）、高純鎳、高純鈷、高純銅（用于靶材、電子元件）、高純鋯（用于核工業(yè)）等。 高溫合金/超級合金：用于航空發(fā)動機和燃氣輪機葉片，分析其中添加的微量元素（如Ta, Hf, Re）以及有害雜質元素，這些元素對合金的耐高溫、抗蠕變性能至關重要。 磁性材料：如釹鐵硼（NdFeB）永磁體，分析其主量、次量和痕量元素組成，以優(yōu)化磁性能。 3. 核工業(yè) 在核工業(yè)中，材料的純度和同位素組成直接關系到核反應堆的安全和效率。 應用實例： 核燃料：分析鈾（U）、钚（Pu）及其氧化物中的雜質含量和同位素組成。 結構材料：分析核反應堆包殼材料（如鋯合金）中的痕量元素，這些元素會影響其抗輻射和耐腐蝕性能。 4. 地質科學與材料科學基礎研究 GD-MS的高靈敏度使其成為研究地球化學和開發(fā)新材料的強大工具。 應用實例： 地質樣品：直接分析巖石、礦物中的微量元素和同位素比率，用于礦床成因、地球化學演化和地質年代學研究。 新型材料研發(fā)：在開發(fā)新的功能陶瓷、超導材料、儲能材料時，需要精確了解材料的成分和雜質分布，GD-MS提供關鍵數(shù)據。 5. 高純無機非金屬材料 使用射頻（RF）源的GD-MS可以擴展至分析非導電材料。 應用實例： 高純陶瓷：如氧化鋁、氮化硅等結構陶瓷或功能陶瓷。 玻璃材料：特別是用于光學和電子領域的高純玻璃。

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