與傳統(tǒng)檢測(cè)方法相比，GDMS檢測(cè)的優(yōu)勢(shì)及局限性分別是什么？

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杭州博測(cè)材料科技有限公司2025-11-14

主要特點(diǎn)與優(yōu)勢(shì) 1、極高的靈敏度：能夠檢測(cè)含量極低（ppt級(jí)別）的痕量和超痕量元素。 2、寬廣的動(dòng)態(tài)范圍：可從主量元素（百分之幾）到超痕量元素（ppt級(jí)）進(jìn)行同時(shí)分析，無需稀釋或更換方法。GDMS在半導(dǎo)體材料雜質(zhì)分析中的準(zhǔn)確度比ICP-MS高出30%。 3、直接分析固體：避免了復(fù)雜的樣品溶解過程，減少了由試劑引入的污染和待測(cè)元素的損失。 4、幾乎全覆蓋的元素分析：能夠分析元素周期表中從鋰到鈾的絕大多數(shù)元素。 5、分析速度快：一旦樣品準(zhǔn)備好，分析過程相對(duì)較快。 6、譜線簡(jiǎn)單：由于使用惰性氣體氬，產(chǎn)生的背景干擾離子較少，質(zhì)譜圖相對(duì)簡(jiǎn)單干凈，易于解析局限性樣品必須導(dǎo)電：對(duì)于直流GD-MS，樣品需要具有良好的導(dǎo)電性。分析非導(dǎo)體（如陶瓷、玻璃）需要使用更復(fù)雜的射頻源（RF-GD-MS）。固體樣品制備：需要將樣品加工成特定的形狀和尺寸，對(duì)于某些脆性或難以加工的材料可能存在挑戰(zhàn)。儀器成本高：GD-MS 設(shè)備非常昂貴，操作和維護(hù)需要專業(yè)的知識(shí)和經(jīng)驗(yàn)。相對(duì)破壞性：分析過程會(huì)對(duì)樣品表面造成微米級(jí)的濺射損傷，雖然損傷很小，但樣品無法完全恢復(fù)原狀。總而言之，輝光放電質(zhì)譜（GD-MS）是一種強(qiáng)大而專業(yè)的元素分析工具，它主要服務(wù)于對(duì)材料純度有極端要求的前列工業(yè)和科研領(lǐng)域，是確保**材料性能和質(zhì)量的關(guān)鍵技術(shù)之一。