廣東華芯半導(dǎo)體技術(shù)有限公司2025-10-03
先檢查真空管道是否漏氣,更換破損密封圈;再檢查真空泵是否正常工作,若泵效率下降需維護(hù);還需清理真空閥門(mén)雜質(zhì),確保閥門(mén)關(guān)閉嚴(yán)密。處理后重新測(cè)試真空度。廣東華芯半導(dǎo)體技術(shù)有限公司可提供故障排查指導(dǎo)。
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