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晶圓掃描顯微鏡的維護保養(yǎng)有哪些關鍵點?如何延長設備壽命?

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杭州芯紀源半導體設備有限公司2025-10-23

防潮是關鍵。光學鏡片受潮易生霉,導致光線散射或圖像模糊。存放時應選擇干燥環(huán)境(濕度<50%),并在顯微鏡箱內(nèi)放置硅膠干燥劑,定期烘烤(如60℃烘烤2小時)以恢復吸濕能力;機械部分受潮易生銹,需避免接觸液體。

杭州芯紀源半導體設備有限公司
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簡介:杭州芯紀源半導體設備有限公司是一家專業(yè)從事半導體檢測設備研發(fā)、生產(chǎn)、銷售為一體的科技型企業(yè)。
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水浸式超聲掃描儀2
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其余 2 條回答

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    杭州芯紀源半導體設備有限公司 2025-10-24

    防塵可減少磨損?;覊m落入光學系統(tǒng)會降低透光率,落入機械部分(如導軌、齒輪)會增加摩擦,導致運動受阻。使用前需用吹風球清理載物臺和物鏡表面灰塵,避免用布直接擦拭;長期停用時需覆蓋防塵罩。

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    杭州芯紀源半導體設備有限公司 2025-10-29

    定期校準確保精度。物鏡、光源、載物臺等部件需定期校準(如每3個月一次),例如檢查物鏡放大倍數(shù)是否準確、光源亮度是否均勻、載物臺移動是否平穩(wěn);校準需使用標準樣品(如NIST溯源標片),并記錄校準數(shù)據(jù)以便追溯。

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