從石英部件切換到碳化硅部件，工藝參數(shù)需要調(diào)整嗎？

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江蘇三責(zé)新材料科技股份有限公司2025-11-04

從石英切換到碳化硅，由于材料物理性能差異，部分工藝參數(shù)確實需要調(diào)整。主要差異和調(diào)整：熱膨脹系數(shù)——碳化硅的熱膨脹系數(shù)與氮化硅、多晶硅相近，低于石英，裝配間隙設(shè)計可能需微調(diào)；導(dǎo)熱系數(shù)——碳化硅導(dǎo)熱系數(shù)遠(yuǎn)高于石英，升降溫速度可以更快，溫度分布更均勻，可能需要優(yōu)化加熱曲線；使用溫度上限——碳化硅使用溫度1350℃，可以提高工藝溫度以改善產(chǎn)品性能或提高產(chǎn)能；熱震性能——碳化硅抗熱震性能優(yōu)于石英，溫度變化速率可以適當(dāng)提高。其他注意：碳化硅比石英重，需確認(rèn)支撐結(jié)構(gòu)承載能力；碳化硅表面特性不同，可能影響晶圓吸附力，需測試調(diào)整。江蘇三責(zé)新材料科技股份有限公司的碳化硅懸臂槳、爐管、晶舟等已完成高純碳化硅部件的國產(chǎn)化替代，有豐富的工藝轉(zhuǎn)換經(jīng)驗。