對于高價值的晶圓產(chǎn)品,切割過程中的追溯性尤為重要。中清航科的切割設備內(nèi)置二維碼追溯系統(tǒng),每片晶圓進入設備后都會生成單獨的二維碼標識,全程記錄切割時間、操作人員、工藝參數(shù)、檢測結(jié)果等信息,可通過掃碼快速查詢?nèi)鞒虜?shù)據(jù),為質(zhì)量追溯與問題分析提供完整依據(jù)。在晶圓切割的邊緣處理方面,中清航科突破傳統(tǒng)工藝限制,開發(fā)出激光倒角技術(shù)??稍谇懈畹耐瑫r完成晶圓邊緣的圓弧處理,倒角半徑可精確控制在5-50μm范圍內(nèi),有效減少邊緣應力集中,提高晶圓的機械強度。該技術(shù)特別適用于需要多次搬運與清洗的晶圓加工流程。中清航科切割耗材全球供應鏈,保障客戶生產(chǎn)連續(xù)性。宿遷芯片晶圓切割測試

通過拉曼光譜掃描切割道,中清航科提供殘余應力分布云圖(分辨率5μm),并推薦退火工藝參數(shù)。幫助客戶將芯片翹曲風險降低70%,服務已用于10家頭部IDM企業(yè)。中清航科技術(shù)結(jié)合機械切割速度與激光切割精度:對硬質(zhì)區(qū)采用刀切,對脆弱區(qū)域切換激光加工。動態(tài)切換時間<0.1秒,兼容復雜芯片結(jié)構(gòu),加工成本降低28%。舊設備切割精度不足?中清航科提供主軸/視覺/控制系統(tǒng)三大模塊升級包。更換高剛性主軸(跳動<0.5μm)+12MP智能相機,精度從±10μm提升至±2μm,改造成本只為新機30%。徐州半導體晶圓切割劃片中清航科多軸聯(lián)動切割頭,適應曲面晶圓±15°傾角加工。

針對小批量多品種的研發(fā)型生產(chǎn)需求,中清航科提供柔性化切割解決方案。其模塊化設計的切割設備可在30分鐘內(nèi)完成不同規(guī)格晶圓的換型調(diào)整,配合云端工藝數(shù)據(jù)庫,存儲超過1000種標準工藝參數(shù),工程師可快速調(diào)用并微調(diào),大幅縮短新產(chǎn)品導入周期,為科研機構(gòu)與初創(chuàng)企業(yè)提供靈活高效的加工支持。晶圓切割后的檢測環(huán)節(jié)直接關(guān)系到后續(xù)封裝的質(zhì)量。中清航科將AI視覺檢測技術(shù)與切割設備深度融合,通過深度學習算法自動識別切割面的微裂紋、缺口等缺陷,檢測精度達0.5μm,檢測速度提升至每秒300個Die,實現(xiàn)切割與檢測的一體化流程,避免不良品流入下道工序造成的浪費。
面對全球半導體設備供應鏈的不確定性,中清航科構(gòu)建了多元化的供應鏈體系。與國內(nèi)200余家質(zhì)優(yōu)供應商建立長期合作關(guān)系,關(guān)鍵部件實現(xiàn)多源供應,同時在各地建立備件中心,儲備充足的易損件與中心部件,確保設備維修與升級時的備件及時供應,縮短設備停機時間。晶圓切割設備的能耗成本在長期運行中占比較大,中清航科通過能效優(yōu)化設計,使設備的單位能耗降低至0.5kWh/片(12英寸晶圓),較行業(yè)平均水平降低35%。采用智能休眠技術(shù),設備閑置時自動進入低功耗模式,進一步節(jié)約能源消耗,為客戶降低長期運營成本。中清航科切割道檢測儀實時反饋數(shù)據(jù),動態(tài)調(diào)整切割參數(shù)。

隨著Chiplet技術(shù)的興起,晶圓切割需要更高的位置精度以保證后續(xù)的異構(gòu)集成。中清航科開發(fā)的納米級定位切割系統(tǒng),采用氣浮導軌與光柵尺閉環(huán)控制,定位精度達到±0.1μm,配合雙頻激光干涉儀進行實時校準,確保切割道位置與設計圖紙的偏差不超過0.5μm,為Chiplet的高精度互聯(lián)奠定基礎。中清航科深諳半導體設備的定制化需求,可為客戶提供從工藝驗證到設備交付的全流程服務。其技術(shù)團隊會深入了解客戶的晶圓規(guī)格、材料特性與產(chǎn)能要求,定制專屬切割方案,如針對特殊異形Die的切割路徑優(yōu)化、大尺寸晶圓的分片切割策略等,已成功為多家頭部半導體企業(yè)完成定制化項目交付。中清航科晶圓切割代工獲ISO 9001認證,月產(chǎn)能達50萬片。上海碳化硅半導體晶圓切割廠
中清航科推出晶圓切割應力模擬軟件,提前預判崩邊風險。宿遷芯片晶圓切割測試
半導體制造對潔凈度要求嚴苛,晶圓切割環(huán)節(jié)的微塵污染可能導致芯片失效。中清航科的切割設備采用全封閉防塵結(jié)構(gòu)與高效HEPA過濾系統(tǒng),工作區(qū)域潔凈度達到Class1標準,同時配備激光誘導等離子體除塵裝置,實時清理切割產(chǎn)生的微米級顆粒,使產(chǎn)品不良率降低至0.1%以下。在成本控制成為半導體企業(yè)核心競爭力的現(xiàn)在,中清航科通過技術(shù)創(chuàng)新實現(xiàn)切割耗材的大幅節(jié)約。其自主研發(fā)的金剛石切割刀片,使用壽命較行業(yè)平均水平延長50%,且通過刀片磨損實時監(jiān)測與自動補償技術(shù),減少頻繁更換帶來的停機損失,幫助客戶降低20%的耗材成本,在激烈的市場競爭中構(gòu)筑成本優(yōu)勢。宿遷芯片晶圓切割測試