探針臺怎么選合適的配置,怎么確定精度?通常需要確定以下問題來確定探針臺的選型:1、比較大需要測幾英寸的晶圓或者器件?2、探針臺機(jī)械精度要求多高?3、點測樣品的尺寸規(guī)格為多少?100um*100um或60um*60um的pad,還是FIB制作的minipad,還是ic內(nèi)部的metal?4、Pad尺寸大于20um就都可以使用體式顯微鏡(體式顯微鏡比較大倍率200倍)5、需要幾根探針同時去點測?6、會測試到的比較大的電流、電壓值是多少(電壓越高探針的針尖就要越粗、對夾具的要求也會越高。5A以下推薦使用同軸夾具、5A以上推薦使用三軸夾具)7、漏電精度需要達(dá)到多高?是否有射頻的需求?三軸管狀...
手動探針臺的使用方式:1.將樣品載入真空卡盤,開啟真空閥門控制開關(guān),使樣品安全且牢固地吸附在卡盤上。2.使用卡盤X軸/Y軸控制旋鈕移動卡盤平臺,在顯微鏡低倍物鏡聚焦下看清楚樣品。3.使用卡盤X軸/Y軸控制旋鈕移動卡盤平臺將樣品待測試點移動至顯微鏡下。4.顯微鏡切換為高倍率物鏡,在大倍率下找到待測點,再微調(diào)顯微鏡聚焦和樣品x-y,將影像調(diào)節(jié)清晰,帶測點在顯微鏡視場中心。5.待測點位置確認(rèn)好后,再調(diào)節(jié)探針座的位置,將探針裝上后可眼觀先將探針移到接近待測點的位置旁邊,再使用探針座X-Y-Z三個微調(diào)旋鈕,慢慢的將探針移至被測點,此時動作要小心且緩慢,以防動作過大誤傷芯片,當(dāng)探針針尖懸空于被測點上空時,...
到手動探針臺,它的主要用途是為半導(dǎo)體芯片的電參數(shù)測試提供一個測試平臺,配合測量儀器可完成集成電路的電壓、電流、電阻以及電容電壓特性曲線等參數(shù)檢測。它是陳本比較高的儀器,不光是要在使用時好好維護(hù),不用時也需要好好保存。怎樣保存呢?1、儀器的運輸:儀器運輸時,請先拔掉電源線插頭。儀器運輸應(yīng)使用專門的包裝箱,避免碰到探針臺的任何運動部件。2、避免碰撞:在安裝,操作CS探針臺時應(yīng)避免碰撞,機(jī)體放置需平坦,不可傾斜或橫倒,避免機(jī)器發(fā)生故障或異常異音。3、停電或長期不用、外出旅行時,請將電源線插頭拔掉以維護(hù)手動探針臺壽命。4、手動探針臺應(yīng)放在穩(wěn)定可靠的臺面上,比如具有防震裝置的工作臺上,避免在高溫,潮濕激...
光電流測試探針臺系統(tǒng)是在金相顯微鏡基礎(chǔ)上導(dǎo)入另一路光源,用于輻照樣品以測試樣品在特定波長及能量下的電氣特性等測試目的。l本顯微鏡設(shè)計為雙光路或3光路,其中一路為導(dǎo)入光通路,另一到兩路為成像光路導(dǎo)入光為平行的激光或其它線性光源,波長范圍200nm~20000nm,中間可加入多個波片過濾,起偏及偏振角度無級360度調(diào)節(jié)。光斑輻照直徑有650nm紅光指示。l所有模塊均可拉出設(shè)計,對導(dǎo)入光性質(zhì)無影響。導(dǎo)入光光路可選擇一個光時間開關(guān),精確控制導(dǎo)入光的輻照時間,精度1ms,范圍2ms~∞,在控制界面上可對各種參數(shù)進(jìn)行詳細(xì)設(shè)置。成像光路為同軸照明金相成像,其中一路為1倍成像,可選擇第2路成像,為物鏡的0.2...
半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)快速發(fā)展,探針臺市場需求攀升,新思界產(chǎn)業(yè)分析人士表示,探針臺是半導(dǎo)體、晶圓、集成電路中重要的檢測設(shè)備,隨著全球半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)向中國轉(zhuǎn)移,我國探針臺市場需求持續(xù)攀升。當(dāng)前受益于5G、人工智能等產(chǎn)業(yè)發(fā)展帶動,半導(dǎo)體芯片出貨量維持增長趨勢,則探針臺行業(yè)長期景氣。在生產(chǎn)方面,長期以來探針臺市場被日企壟斷,臺企在市場中具有一定影響力,而國內(nèi)企業(yè)在全球中占比較小。但隨著國內(nèi)探針臺生產(chǎn)技術(shù)不斷革新,國產(chǎn)化率提升,預(yù)計未來不久將實現(xiàn)國產(chǎn)替代。半導(dǎo)體設(shè)備市場中,探針臺是我國目前能實現(xiàn)高國產(chǎn)化率的設(shè)備。LCR測試探針臺加裝你了解低溫探針臺嗎?估計了解的人很少,因為它主要用于科研我們平時很少用到。但是,一些關(guān)...
高精度探針臺例如OTS,QPU和TTG相關(guān)技術(shù),這種全新的高精度系統(tǒng)為下一代小型化的設(shè)計及多種測試條件提供保證。特性1:OTS對正系統(tǒng)(光學(xué)目標(biāo)對準(zhǔn))OTS通過對照相機(jī)相對位置的測量來保證其位置的精度。這是非常引人注目的技術(shù),來源于TSK的度量技術(shù)。OTS實現(xiàn)了以自己為參照的光學(xué)對準(zhǔn)系統(tǒng)。特性2:QPU-高剛性的硅片承載臺(四方型系統(tǒng))為了有效的達(dá)到接觸位置的精度,硅片承載臺各部分的剛性一致是非常重要的,UF3000使用新的4軸機(jī)械轉(zhuǎn)換裝置(QPU),達(dá)到高剛性,高穩(wěn)定度的接觸。特性3:裝載部件令客戶滿意的測試環(huán)境,可以提供從前部開始的通常的8",12"及基本檢查單元。也為自動物料輸送系統(tǒng)應(yīng)用...
低溫探針臺中低電流測量的注意事項:低電流測量(低于 1 nA)是評估成熟和新興半導(dǎo)體器件的設(shè)計和制造質(zhì)量的關(guān)鍵工具。在這種情況下,器件材料、生長參數(shù)或器件幾何形狀的修改會導(dǎo)致器件中出現(xiàn)不希望的和無關(guān)的電流路徑。這些所謂的漏電流可能是由材料缺陷、柵極氧化物形態(tài)、襯底選擇和電場分布造成的,并導(dǎo)致器件性能下降——常見的是功耗過大。由于許多這些泄漏路徑背后的物理機(jī)制具有眾所周知的溫度依賴性,因此低溫探測測量可以成為識別電流泄漏的精確機(jī)制的有用評估工具,特別是對于新材料和器件架構(gòu)。探針臺行業(yè)品牌排行榜!RF探針臺配件探針臺應(yīng)用手動探針臺廣泛應(yīng)用于,科研單位研發(fā)測試、院校教學(xué)操作、企業(yè)實驗室芯片失效分析等...
低溫探針臺中低電流測量的注意事項:低電流測量(低于 1 nA)是評估成熟和新興半導(dǎo)體器件的設(shè)計和制造質(zhì)量的關(guān)鍵工具。在這種情況下,器件材料、生長參數(shù)或器件幾何形狀的修改會導(dǎo)致器件中出現(xiàn)不希望的和無關(guān)的電流路徑。這些所謂的漏電流可能是由材料缺陷、柵極氧化物形態(tài)、襯底選擇和電場分布造成的,并導(dǎo)致器件性能下降——常見的是功耗過大。由于許多這些泄漏路徑背后的物理機(jī)制具有眾所周知的溫度依賴性,因此低溫探測測量可以成為識別電流泄漏的精確機(jī)制的有用評估工具,特別是對于新材料和器件架構(gòu)。芯片的電參數(shù)測試用手動探針臺。PIV測試探針臺供應(yīng) 微納探針臺可在納米尺度上對樣品和測試設(shè)備進(jìn)行電學(xué)表特征:1、快...
到手動探針臺,它的主要用途是為半導(dǎo)體芯片的電參數(shù)測試提供一個測試平臺,配合測量儀器可完成集成電路的電壓、電流、電阻以及電容電壓特性曲線等參數(shù)檢測。它是陳本比較高的儀器,不光是要在使用時好好維護(hù),不用時也需要好好保存。怎樣保存呢?1、儀器的運輸:儀器運輸時,請先拔掉電源線插頭。儀器運輸應(yīng)使用專門的包裝箱,避免碰到探針臺的任何運動部件。2、避免碰撞:在安裝,操作CS探針臺時應(yīng)避免碰撞,機(jī)體放置需平坦,不可傾斜或橫倒,避免機(jī)器發(fā)生故障或異常異音。3、停電或長期不用、外出旅行時,請將電源線插頭拔掉以維護(hù)手動探針臺壽命。4、手動探針臺應(yīng)放在穩(wěn)定可靠的臺面上,比如具有防震裝置的工作臺上,避免在高溫,潮濕激...
探針臺操作步驟:1.將測試產(chǎn)品放入探針臺的臺盤上;2.打開顯微鏡光源燈(LED或光源機(jī));3.打開背光面板光源開關(guān);4.調(diào)整Zaxis高度對焦,使能清楚看到樣品圖象為OK;5.調(diào)整目鏡和Zoom倍率,使影像清晰;二.點針操作步驟:1.通過移動鏡頭組部分找到Sample要下針的地方;2.調(diào)整針座位置,將三軸歸零;3.調(diào)整針座仰角機(jī)構(gòu),使針尖位于顯微鏡射出光斑**上方1-2mm處;4.利用低倍鏡頭找到針尖,將針尖移至視野**位置并通過調(diào)整焦距使針尖達(dá)到*清晰;6.切換至高倍鏡頭,找到針尖;7.利用針座的X-Y-Z軸微調(diào)下針;8.量測完畢后,逆時針旋轉(zhuǎn)鈕針座的仰角機(jī)構(gòu)的旋鈕取出快速將針往上抬起,針尖...
探針臺如何工作?探針臺可以固定晶圓或芯片,并精確定位待測物。手動探針臺的使用者將探針臂和探針安裝到操縱器中,并使用顯微鏡將探針前列放置到待測物上的正確位置。一旦所有探針前列都被設(shè)置在正確的位置,就可以對待測物進(jìn)行測試。對于帶有多個芯片的晶圓,使用者可以抬起壓盤,壓盤將探針頭與芯片分開,然后將工作臺移到下一個芯片上,使用顯微鏡找到精確的位置,壓板降低后下一個芯片可以進(jìn)行測試。半自動和全自動探針臺系統(tǒng)使用機(jī)械化工作臺和機(jī)器視覺來自動化這個移動過程,提高了探針臺生產(chǎn)率。探針臺如何來工作呢?毫米波探針臺加裝探針臺的探針的清洗,1、毛刷清潔法:適用范圍為5微米以上探針,微波探針。不適用于針尖直徑在5微米...
探針臺-高低溫真空光電測試系統(tǒng)功能:用于測試半導(dǎo)體器件,材料,發(fā)光器件等綜合性能表征系統(tǒng),可測試參數(shù)包括:暗電流、光電流、光電壓(光伏器件)、響應(yīng)速度、光譜響應(yīng)、變光強的R~P響應(yīng)等。系統(tǒng)由光源、探針臺和光電測試三部分組成,根據(jù)用戶需求,三大部分可以進(jìn)行定制化開發(fā),以實現(xiàn)不同光譜覆蓋范圍、不同測試環(huán)境和不同測試功能的實現(xiàn)。探針臺可選項: 低溫/常溫/高溫、有背柵/無背柵、光纖導(dǎo)入/無光纖、有磁場/無磁場、真空/非真空 等。探針臺廣泛應(yīng)用于產(chǎn)品開發(fā)和故障失效分析。mini led探針臺規(guī)格可提供單維磁場,多維磁場探針臺,磁場強度,精度和間隙均可客制化l高剛性結(jié)構(gòu),所有零配件均采用無磁化材料可加載...
低溫探針臺中低電流測量的注意事項:低電流測量(低于 1 nA)是評估成熟和新興半導(dǎo)體器件的設(shè)計和制造質(zhì)量的關(guān)鍵工具。在這種情況下,器件材料、生長參數(shù)或器件幾何形狀的修改會導(dǎo)致器件中出現(xiàn)不希望的和無關(guān)的電流路徑。這些所謂的漏電流可能是由材料缺陷、柵極氧化物形態(tài)、襯底選擇和電場分布造成的,并導(dǎo)致器件性能下降——常見的是功耗過大。由于許多這些泄漏路徑背后的物理機(jī)制具有眾所周知的溫度依賴性,因此低溫探測測量可以成為識別電流泄漏的精確機(jī)制的有用評估工具,特別是對于新材料和器件架構(gòu)。探針臺是半導(dǎo)體(包含集成電路、分立器材、光電器材、傳感器)行業(yè)的檢測標(biāo)配。低阻測試探針臺報價提到手動探針臺,大家就會對操作系...
光電流測試探針臺系統(tǒng)是在金相顯微鏡基礎(chǔ)上導(dǎo)入另一路光源,用于輻照樣品以測試樣品在特定波長及能量下的電氣特性等測試目的。l本顯微鏡設(shè)計為雙光路或3光路,其中一路為導(dǎo)入光通路,另一到兩路為成像光路導(dǎo)入光為平行的激光或其它線性光源,波長范圍200nm~20000nm,中間可加入多個波片過濾,起偏及偏振角度無級360度調(diào)節(jié)。光斑輻照直徑有650nm紅光指示。l所有模塊均可拉出設(shè)計,對導(dǎo)入光性質(zhì)無影響。導(dǎo)入光光路可選擇一個光時間開關(guān),精確控制導(dǎo)入光的輻照時間,精度1ms,范圍2ms~∞,在控制界面上可對各種參數(shù)進(jìn)行詳細(xì)設(shè)置。成像光路為同軸照明金相成像,其中一路為1倍成像,可選擇第2路成像,為物鏡的0.2...
探針臺主要應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)、光電行業(yè)、集成電路以及封裝的測試。廣泛應(yīng)用于復(fù)雜、高速露件的精密電氣測量的研發(fā),旨在確保質(zhì)量及可靠性,并縮減研發(fā)時間和器件制造工藝的成本。手動探針臺的主要用途是為半導(dǎo)體芯片的電參數(shù)測試提供一個測試平臺,探針臺可吸附多種規(guī)格芯片,并提供多個可調(diào)測試針以及探針座,配合測量儀器可完成集成電路的電壓,電流、電陽以及電容電壓特性線等參數(shù)檢測。適用于對芯片進(jìn)行科研分析,抽查測試等用途.激光探針臺主要檢測內(nèi)容:1、激光打標(biāo);2、表層修復(fù)線路(利用激光將兩層金屬線熔融連接);3、驅(qū)除短路點;4、激光斷線,5、干擾芯片測試;除了以幾項之外激光探針臺兼?zhèn)涑R?guī)探針臺功能:1.微小連接點信...
根據(jù)新思界產(chǎn)業(yè)研究中心發(fā)布的《2022-2026年中國半導(dǎo)體探針臺行業(yè)市場深度調(diào)研及發(fā)展前景預(yù)測報告》顯示,中國探針臺市場和全球相似,在2020年受到行情影響,半導(dǎo)體芯片出貨量略有下降,探針臺市場規(guī)模同比上年減少了10%左右。但隨著行情得到控制,在人工智能大背景下,半導(dǎo)體芯片出貨量增長,探針臺市場規(guī)?;厣?,預(yù)計到2022年達(dá)到16億元。探針臺行業(yè)具有較高的技術(shù)壁壘,在全球中市場呈現(xiàn)高度集中趨勢,東京精密和東京電子壟斷市場,二者占比高達(dá)74%左右。在國內(nèi)市場,以上兩家企業(yè)占比高達(dá)68%左右本土企業(yè)占比32%。我國也有企業(yè)布局在探針臺領(lǐng)域,且技術(shù)不斷創(chuàng)新,已取得實質(zhì)性突破。 探針臺主...
探針臺的各種應(yīng)用,例如器件表征和建模,RF /微波,晶片級可靠性,故障分析,設(shè)計驗證,和大功率。滿足先進(jìn)半導(dǎo)體測試市場的要求,主要用于解決故障分析,設(shè)計驗證,IC工程,晶圓級可靠性以及MEMS,高功率,RF和mmW器件測試的特殊要求。系統(tǒng)噪聲,非常精確和高度可靠的DC / CV,RF和高功率測量。用于在寬溫度范圍內(nèi)實現(xiàn)功率半導(dǎo)體的低接觸電阻測量。帶互鎖功能的安全光幕可通過互鎖系統(tǒng)關(guān)閉儀器,從而保護(hù)用戶免受意外高壓沖擊。該系統(tǒng)具有后門,并由互鎖保護(hù),以提供簡便的初始測量設(shè)置。半導(dǎo)體設(shè)備市場中,探針臺是我國目前能實現(xiàn)高國產(chǎn)化率的設(shè)備。雙面點針探針臺廠家供應(yīng)無論是芯片設(shè)計的可靠性驗證測試,或是晶圓量...
可提供單維磁場,多維磁場探針臺,磁場強度,精度和間隙均可客制化l高剛性結(jié)構(gòu),所有零配件均采用無磁化材料可加載高低溫,可同時進(jìn)行DC和RF測試,可配合市場主流擴(kuò)頻模塊進(jìn)行超高頻測試;大行程高精度探針座,X-Y-Z-Theta四軸控制l顯微鏡可以在2英寸*2英寸*2英寸范圍內(nèi)移動,擴(kuò)大了顯微鏡視場;兼容直流與高頻信號;可以定制,可升級性強l比較大可以測試12英寸樣品,探針臺chuck具備升降功能,便于樣品和探針的快速分離??膳浜系入x子發(fā)生器使用,可以給樣品提供超高溫和等離子氣體。探針臺廣泛應(yīng)用于科研單位研發(fā)測試、院校教學(xué)操作、企業(yè)實驗室芯片失效分析等領(lǐng)域。安徽大功率測試探針臺高精度探針臺例如OTS...
N系列探針臺是一款適用于4-12英寸晶圓的精密探針臺。該系列探針臺采用高剛性顯微鏡龍門設(shè)計,結(jié)構(gòu)穩(wěn)定。顯微鏡平移臺可進(jìn)行X-Y-Z方向精密位移調(diào)節(jié),顯微鏡放大倍率高,操作方便。同時支持多種功能的升級,非常適合晶圓級的測試應(yīng)用。該產(chǎn)品主要應(yīng)用于集成電路/芯片/MEMS器件/管芯晶圓/LED/LCD/太陽能電池等行業(yè)的測試及研究領(lǐng)域。在科研單位和半導(dǎo)體工廠都得到了運用。產(chǎn)品優(yōu)勢:顯微鏡具備高剛性龍門支架且搭配氣動升降,保證高質(zhì)量光學(xué)成像質(zhì)量。卡盤同時具備快速和微調(diào)升降,便于樣品和探針快速分離,也可以加載探針卡。可升級性強,比較高可升級220G高頻,可集成光電流掃描成像或拉曼-瞬態(tài)熒光壽命成像系統(tǒng)等...
探針臺可以將電探針、光學(xué)探針或射頻探針放置在硅晶片上,從而可以與測試儀器/半導(dǎo)體測試系統(tǒng)配合來測試芯片/半導(dǎo)體器件。這些測試可以很簡單,例如連續(xù)性或隔離檢查,也可以很復(fù)雜,包括微電路的完整功能測試。可以在將晶圓鋸成單個管芯之前或之后進(jìn)行測試。在晶圓級別的測試允許制造商在生產(chǎn)過程中多次測試芯片器件,這可以提供有關(guān)哪些工藝步驟將缺陷引入產(chǎn)品的信息。它還使制造商能夠在封裝之前測試管芯,這在封裝成本相對于器件成本高的應(yīng)用中很重要。探針臺還可以用于研發(fā)、產(chǎn)品開發(fā)和故障分析應(yīng)用。經(jīng)濟(jì)實惠高性價比的手動探針臺。PIV測試探針臺品牌排行榜探針臺是一種輔助執(zhí)行機(jī)構(gòu),測試人員把需要量測的器件放到探針臺載物臺(ch...
探針臺的工作原理1.探針臺工作原理將待測物吸附在載物臺上后推入探針臺腔體內(nèi),利用探針座精密移動探針,通過顯微鏡的觀察,將探針與待測物接觸,然后將探針座上的電纜與儀表連接,通過自帶的軟件實現(xiàn)器件的參數(shù)測量和提取。結(jié)果方便保留對比查看。2.探針臺功能通過連接儀器及待測物實現(xiàn)器件的參數(shù)提取,通過自帶的驅(qū)動及測試軟件能夠?qū)崿F(xiàn)器件的電學(xué)特性測試,為精密器件提供一個良好的系統(tǒng)平臺,探針臺可以搭配多種測試儀器使用,比如示波器,頻譜儀,IV等等。3.探針臺用途探針臺主要應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)、光電行業(yè)、集成電路以及封裝的測試。廣泛應(yīng)用于復(fù)雜、高速器件的精密電氣測量的研發(fā),旨在確保質(zhì)量及可靠性,并縮減研發(fā)...
H系列探針臺是一款配置綜合型手動測試探針臺,該系列探針臺設(shè)備配置豐富,基本可以滿足一般實驗室的全部測試要求。其樣品臺可以360度快速移動,便于快速定位樣品位置,提高測試效率。并且具備三段式針座平臺,在不失焦的情況下可以使樣品和探針做到快速分離。此設(shè)備一般適用于大型實驗室或者半導(dǎo)體工廠。產(chǎn)品優(yōu)勢:卡盤可360度快速移動,便于快速定位樣品位置,提高測試效率大手柄微分頭驅(qū)動,省時,省力,省心三段式可升降探針座平臺,在不失焦的情況下可以使樣品和探針做到快速分離極端環(huán)境下給樣品加載電學(xué)信號的探針臺設(shè)備。高低溫探針臺廠家供應(yīng) 微納探針臺可在納米尺度上對樣品和測試設(shè)備進(jìn)行電學(xué)表特征:1、快速、精確...
平面電機(jī)x-y步進(jìn)工作臺的維護(hù)與保養(yǎng),平面電機(jī)由定子和動子組成,它和傳統(tǒng)的步進(jìn)電機(jī)相比其特殊性就是將定子展開,定子是基礎(chǔ)平臺,動子和定子間有一層氣墊,動子浮于氣墊上,而可編程承片臺則安裝在動子之上。這種結(jié)構(gòu)的x-y工作臺,由于動子和定子間無相對摩擦故無磨損,使用壽命長。由于平面電機(jī)的定子及動子是完全暴露在空氣中,所以潮濕的環(huán)境及長時期保養(yǎng)不當(dāng)將很容易使定子發(fā)生銹蝕現(xiàn)象,另外重物的碰撞及堅銳器物的劃傷都將對定子造成損傷,而影響平面電機(jī)的步進(jìn)精度及使用壽命,對于已生銹的定子可以用天然油石輕輕地向一個方向打磨定子的表面,然后用脫脂棉球蘸煤油清洗,整個過程操作要十分地細(xì)心,不可使定子表面出...
H系列探針臺是一款配置綜合型手動測試探針臺,該系列探針臺設(shè)備配置豐富,基本可以滿足一般實驗室的全部測試要求。其樣品臺可以360度快速移動,便于快速定位樣品位置,提高測試效率。并且具備三段式針座平臺,在不失焦的情況下可以使樣品和探針做到快速分離。此設(shè)備一般適用于大型實驗室或者半導(dǎo)體工廠。產(chǎn)品優(yōu)勢:卡盤可360度快速移動,便于快速定位樣品位置,提高測試效率大手柄微分頭驅(qū)動,省時,省力,省心三段式可升降探針座平臺,在不失焦的情況下可以使樣品和探針做到快速分離低溫探針臺中低電流測量的注意事項有哪些?微波探針臺維保你了解低溫探針臺嗎?估計了解的人很少,因為它主要用于科研我們平時很少用到。但是,一些關(guān)于它...
經(jīng)過檢測,探針臺將參數(shù)特性不符合要求的芯片記錄下來,在進(jìn)入后序工序前予以除掉,降低器材的制作本錢。半導(dǎo)體的測驗環(huán)節(jié),首要包含芯片規(guī)劃中的規(guī)劃驗證、晶圓制作中的晶圓測臉(CP測驗)和封裝完結(jié)后的成品測驗(FT測驗》。半導(dǎo)體測驗設(shè)備首要包含測機(jī)、探針臺和分選機(jī)。在一切的測驗環(huán)節(jié)中都會用到測驗機(jī),不同環(huán)節(jié)中測驗機(jī)需要和分選機(jī)或探針臺配合使用探針臺是檢測芯片的重要設(shè)備,在芯片的規(guī)劃驗證階段,首要作業(yè)是檢測芯片規(guī)劃的功能是否可以達(dá)到芯片的技術(shù)指標(biāo),在檢測過程中會對芯片樣品逐個查看,只要通過規(guī)劃驗證的產(chǎn)品型號才會量產(chǎn)。晶圓測驗一般在晶圓廠、封測廠或?qū)iT的測臉代工廠進(jìn)行,首要用到的設(shè)備為測驗機(jī)和探針臺。電路...
N系列探針臺是一款適用于4-12英寸晶圓的精密探針臺。該系列探針臺采用高剛性顯微鏡龍門設(shè)計,結(jié)構(gòu)穩(wěn)定。顯微鏡平移臺可進(jìn)行X-Y-Z方向精密位移調(diào)節(jié),顯微鏡放大倍率高,操作方便。同時支持多種功能的升級,非常適合晶圓級的測試應(yīng)用。該產(chǎn)品主要應(yīng)用于集成電路/芯片/MEMS器件/管芯晶圓/LED/LCD/太陽能電池等行業(yè)的測試及研究領(lǐng)域。在科研單位和半導(dǎo)體工廠都得到了運用。產(chǎn)品優(yōu)勢:顯微鏡具備高剛性龍門支架且搭配氣動升降,保證高質(zhì)量光學(xué)成像質(zhì)量??ūP同時具備快速和微調(diào)升降,便于樣品和探針快速分離,也可以加載探針卡??缮壭詮姡容^高可升級220G高頻,可集成光電流掃描成像或拉曼-瞬態(tài)熒光壽命成像系統(tǒng)等...
探針測試臺x-y工作臺的分類縱觀國內(nèi)外的自動探針測試臺在功能及組成上大同小異,即主要由x-y向工作臺,可編程承片臺、探卡/探卡支架、打點器、探邊器、操作手柄等組成,并配有與測試儀(TESTER)相連的通訊接口。但如果按其x-y工作臺結(jié)構(gòu)的不同可為兩大類,即:以美國EG公司為**的平面電機(jī)型x-y工作臺(又叫磁性氣浮工作臺)自動探針測試臺和以日本及歐洲國家生產(chǎn)的采用精密滾珠絲杠副和直線導(dǎo)軌結(jié)構(gòu)的x-y工作臺型自動探針測試臺。由于x-y工作臺的結(jié)構(gòu)差別很大,所以其使用維護(hù)保養(yǎng)不可一概而論,應(yīng)區(qū)別對待。手動探針臺的工作原理。TFT探針臺供應(yīng)提到探針臺,大家應(yīng)該會一頭霧水,不知道探針臺是干什么用的,下...
手動探針臺是廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)的綜合經(jīng)濟(jì)型測試儀器,主要用于半導(dǎo)體芯片的電參數(shù)檢測。手動探針臺是通過兩根探針以及吸片盤夠成的回路以及相應(yīng)大型電參數(shù)測試儀對芯片中的集成電路進(jìn)行檢測的。應(yīng)用范圍:手動探針臺主要用于對生產(chǎn)及科研中的集成電路、三極管、二極管、可控硅及敏感元件管芯的電壓、電流、電阻等參數(shù)進(jìn)行手動測試。極低溫測試:因為晶圓在低溫大氣環(huán)境測試時,空氣中的水汽會凝結(jié)在晶圓上,會導(dǎo)致漏電過大或者探針無法接觸電極而使測試失敗。避免這些需要把真空腔內(nèi)的水汽在測試前用泵抽走,并且保持整個測試過程泵的運轉(zhuǎn)。高溫?zé)o氧化測試:當(dāng)晶圓加熱至300℃,400℃,500℃甚至更高溫度時,氧化現(xiàn)象會越來越明顯,...
手動探針臺是廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)的綜合經(jīng)濟(jì)型測試儀器,主要用于半導(dǎo)體芯片的電參數(shù)檢測。手動探針臺是通過兩根探針以及吸片盤夠成的回路以及相應(yīng)大型電參數(shù)測試儀對芯片中的集成電路進(jìn)行檢測的。應(yīng)用范圍:手動探針臺主要用于對生產(chǎn)及科研中的集成電路、三極管、二極管、可控硅及敏感元件管芯的電壓、電流、電阻等參數(shù)進(jìn)行手動測試。極低溫測試:因為晶圓在低溫大氣環(huán)境測試時,空氣中的水汽會凝結(jié)在晶圓上,會導(dǎo)致漏電過大或者探針無法接觸電極而使測試失敗。避免這些需要把真空腔內(nèi)的水汽在測試前用泵抽走,并且保持整個測試過程泵的運轉(zhuǎn)。高溫?zé)o氧化測試:當(dāng)晶圓加熱至300℃,400℃,500℃甚至更高溫度時,氧化現(xiàn)象會越來越明顯,...
自動探針臺是一款適合6寸、8寸、12寸晶圓的量產(chǎn)型全自動晶圓探針臺,通過使探針卡與晶圓Pad點之間精細(xì)接觸,實現(xiàn)完成晶圓WAT/CP測試,該設(shè)備操作簡單并具有良好的機(jī)械穩(wěn)定性,能為客戶提供一個具有成本優(yōu)勢且高產(chǎn)量的晶圓測試解決方案,滿足晶圓廠、封測廠、測試廠等不同客戶的測試需求。經(jīng)過不斷的技術(shù)迭代更新,A系列全自動探針臺已擁有同步國外的先進(jìn)技術(shù):低噪聲、快速移動、高產(chǎn)能、采用缺口和晶圓ID同步識別,減少了晶圓的加載時間;低重心設(shè)計,支持高針數(shù)探針卡,半導(dǎo)體探測系統(tǒng)是一種成熟的工具,用于測試硅晶片,裸片和開放式微芯片上的電路和器件。南昌GaAs探針臺桌面探針系統(tǒng)之射頻探針:把傳統(tǒng)探針臺的體積大、...