半導體制造對潔凈度要求嚴苛,晶圓切割環(huán)節(jié)的微塵污染可能導致芯片失效。中清航科的切割設備采用全封閉防塵結構與高效HEPA過濾系統(tǒng),工作區(qū)域潔凈度達到Class1標準,同時配備激光誘導等離子體除塵裝置,實時清理切割產生的微米級顆粒,使產品不良率降低至0.1%以下。在成本控制成為半導體企業(yè)核心競爭力的現在,中清航科通過技術創(chuàng)新實現切割耗材的大幅節(jié)約。其自主研發(fā)的金剛石切割刀片,使用壽命較行業(yè)平均水平延長50%,且通過刀片磨損實時監(jiān)測與自動補償技術,減少頻繁更換帶來的停機損失,幫助客戶降低20%的耗材成本,在激烈的市場競爭中構筑成本優(yōu)勢。晶圓切割后清洗設備中清航科專利設計,殘留顆粒<5個/片。衢州碳化...
針對晶圓切割過程中的靜電防護問題,中清航科的設備采用全流程防靜電設計。從晶圓上料的導電吸盤到切割區(qū)域的離子風扇,再到下料區(qū)的防靜電輸送軌道,形成完整的靜電防護體系,將設備表面靜電電壓控制在50V以下,有效避免靜電對敏感芯片造成的潛在損傷。中清航科的晶圓切割設備具備強大的數據分析能力,內置數據挖掘模塊可對歷史切割數據進行深度分析,識別影響切割質量的關鍵因素,如環(huán)境溫度波動、晶圓批次差異等,并自動生成工藝優(yōu)化建議。通過持續(xù)的數據積累與分析,幫助客戶不斷提升切割工藝水平,實現持續(xù)改進。5G射頻芯片切割中清航科特殊工藝,金線偏移量<0.8μm。南通砷化鎵晶圓切割測試半導體制造對潔凈度要求嚴苛,晶圓切割...
晶圓切割的主要目標之一是從每片晶圓中獲得高產量的、功能完整且無損的芯片。產量是半導體制造中的一個關鍵性能指標,因為它直接影響電子器件生產的成本和效率。更高的產量意味著每個芯片的成本更造能力更大,制造商更能滿足不斷增長的電子器件需求。晶圓切割直接影響到包含這些分離芯片的電子器件的整體性能。切割過程的精度和準確性需要確保每個芯片按照設計規(guī)格分離,尺寸和對準的變化小。這種精度對于在終設備中實現比較好電氣性能、熱管理和機械穩(wěn)定性至關重要。中清航科推出晶圓切割應力模擬軟件,提前預判崩邊風險。杭州碳化硅半導體晶圓切割寬度在晶圓切割的邊緣檢測精度提升上,中清航科創(chuàng)新采用雙攝像頭立體視覺技術。通過兩個高分辨率...
晶圓切割過程中產生的應力可能導致芯片可靠性下降,中清航科通過有限元分析軟件模擬切割應力分布,優(yōu)化激光掃描路徑與能量輸出模式,使切割后的晶圓殘余應力降低40%。經第三方檢測機構驗證,采用該工藝的芯片在溫度循環(huán)測試中表現優(yōu)異,可靠性提升25%,特別適用于航天航空等應用領域。為幫助客戶快速掌握先進切割技術,中清航科建立了完善的培訓體系。其位于總部的實訓基地配備全套切割設備與教學系統(tǒng),可為客戶提供理論培訓、實操演練與工藝調試指導,培訓內容涵蓋設備操作、日常維護、工藝優(yōu)化等方面,確??蛻魣F隊能在短時間內實現設備的高效運轉。晶圓切割培訓課程中清航科每月開放,已認證工程師超800名。寧波碳化硅線晶圓切割寬度...
在晶圓切割的批量一致性控制方面,中清航科采用統(tǒng)計過程控制(SPC)技術。設備實時采集每片晶圓的切割尺寸數據,通過SPC軟件進行分析,繪制控制圖,及時發(fā)現過程中的異常波動,并自動調整相關參數,使切割尺寸的標準差控制在1μm以內,確保批量產品的一致性。針對薄晶圓切割后的搬運難題,中清航科開發(fā)了無損搬運系統(tǒng)。采用特制的真空吸盤與輕柔的取放機構,配合視覺引導,實現薄晶圓的平穩(wěn)搬運,避免搬運過程中的彎曲與破損。該系統(tǒng)可集成到切割設備中,也可作為單獨模塊與其他設備對接,提高薄晶圓的處理能力。中清航科晶圓切割代工廠通過ISO14644潔凈認證,量產經驗足。無錫藍寶石晶圓切割代工廠針對高粘度晶圓切割液的回收處...
針對高粘度晶圓切割液的回收處理,中清航科研發(fā)了離心式過濾凈化系統(tǒng)。該系統(tǒng)通過三級過濾工藝,可去除切割液中99.9%的固體顆粒雜質,使切割液循環(huán)利用率提升至80%以上,不只降低耗材成本,還減少廢液排放。同時配備濃度自動調節(jié)功能,確保切割液性能穩(wěn)定,保障切割質量一致性。在晶圓切割設備的維護便捷性設計上,中清航科秉持“易維護”理念。設備關鍵部件采用模塊化設計,更換激光頭、切割刀片等中心組件只需15分鐘,較傳統(tǒng)設備縮短70%維護時間。同時配備維護指引系統(tǒng),通過AR技術直觀展示維護步驟,降低對專業(yè)維護人員的依賴,減少客戶運維壓力。中清航科晶圓切割代工獲ISO 9001認證,月產能達50萬片。浙江碳化硅晶...
針對晶圓切割后的表面清潔度要求,中清航科在設備中集成了在線等離子清洗模塊。切割完成后立即對晶圓表面進行等離子處理,去除殘留的切割碎屑與有機污染物,清潔度達到Class10標準。該模塊可與切割流程無縫銜接,減少晶圓轉移過程中的二次污染風險。中清航科注重晶圓切割設備的人性化設計,操作界面采用直觀的圖形化布局,支持多語言切換與自定義快捷鍵設置。設備配備可調節(jié)高度的操作面板與符合人體工學的扶手設計,減少操作人員長時間工作的疲勞感,同時提供聲光報警與故障提示,使操作更便捷高效。晶圓切割后清洗設備中清航科專利設計,殘留顆粒<5個/片。浙江芯片晶圓切割藍膜在半導體設備國產化替代的浪潮中,中清航科始終堅持自主...
中清航科為晶圓切割設備提供全生命周期的服務支持,從設備安裝調試、操作人員培訓、工藝優(yōu)化指導到設備升級改造,形成完整的服務鏈條。建立客戶服務檔案,定期進行設備巡檢與性能評估,根據客戶的生產需求變化提供定制化的升級方案,確保設備始終保持先進的技術水平。隨著半導體技術向更多新興領域滲透,晶圓切割的應用場景不斷拓展。中清航科積極布局新興市場,開發(fā)適用于可穿戴設備芯片、柔性電子、生物芯片等領域的切割設備。例如,針對柔性晶圓的切割,采用低溫冷凍切割技術,解決柔性材料切割時的拉伸變形問題,為新興半導體應用提供可靠的制造保障。晶圓切割MES系統(tǒng)中清航科定制,實時追蹤每片切割工藝參數。杭州藍寶石晶圓切割廠中清航...
隨著Chiplet技術的興起,晶圓切割需要更高的位置精度以保證后續(xù)的異構集成。中清航科開發(fā)的納米級定位切割系統(tǒng),采用氣浮導軌與光柵尺閉環(huán)控制,定位精度達到±0.1μm,配合雙頻激光干涉儀進行實時校準,確保切割道位置與設計圖紙的偏差不超過0.5μm,為Chiplet的高精度互聯奠定基礎。中清航科深諳半導體設備的定制化需求,可為客戶提供從工藝驗證到設備交付的全流程服務。其技術團隊會深入了解客戶的晶圓規(guī)格、材料特性與產能要求,定制專屬切割方案,如針對特殊異形Die的切割路徑優(yōu)化、大尺寸晶圓的分片切割策略等,已成功為多家頭部半導體企業(yè)完成定制化項目交付。中清航科切割機遠程診斷系統(tǒng),故障排除時間縮短70...
對于高價值的晶圓產品,切割過程中的追溯性尤為重要。中清航科的切割設備內置二維碼追溯系統(tǒng),每片晶圓進入設備后都會生成單獨的二維碼標識,全程記錄切割時間、操作人員、工藝參數、檢測結果等信息,可通過掃碼快速查詢全流程數據,為質量追溯與問題分析提供完整依據。在晶圓切割的邊緣處理方面,中清航科突破傳統(tǒng)工藝限制,開發(fā)出激光倒角技術??稍谇懈畹耐瑫r完成晶圓邊緣的圓弧處理,倒角半徑可精確控制在5-50μm范圍內,有效減少邊緣應力集中,提高晶圓的機械強度。該技術特別適用于需要多次搬運與清洗的晶圓加工流程。中清航科晶圓切割代工廠通過ISO14644潔凈認證,量產經驗足。麗水12英寸半導體晶圓切割劃片晶圓切割設備是...
中清航科開放6條全自動切割產線,支持從8英寸化合物半導體到12英寸邏輯晶圓的來料加工。云端訂單系統(tǒng)實時追蹤進度,平均交貨周期48小時,良率承諾99.2%。先進封裝RDL層切割易引發(fā)銅箔撕裂。中清航科應用超快飛秒激光(脈寬400fs)配合氦氣保護,在銅-硅界面形成納米級熔融區(qū),剝離強度提升5倍。中清航科搭建全球較早切割工藝共享平臺,收錄3000+材料參數組合。客戶輸入晶圓類型/厚度/目標良率,自動生成比較好參數包,工藝開發(fā)周期縮短90%。超窄街切割方案中清航科實現30μm道寬,芯片數量提升18%。泰州晶圓切割劃片為滿足汽車電子追溯要求,中清航科在切割機集成區(qū)塊鏈模塊。每片晶圓生成單獨工藝參數數字...
隨著Chiplet技術的興起,晶圓切割需要更高的位置精度以保證后續(xù)的異構集成。中清航科開發(fā)的納米級定位切割系統(tǒng),采用氣浮導軌與光柵尺閉環(huán)控制,定位精度達到±0.1μm,配合雙頻激光干涉儀進行實時校準,確保切割道位置與設計圖紙的偏差不超過0.5μm,為Chiplet的高精度互聯奠定基礎。中清航科深諳半導體設備的定制化需求,可為客戶提供從工藝驗證到設備交付的全流程服務。其技術團隊會深入了解客戶的晶圓規(guī)格、材料特性與產能要求,定制專屬切割方案,如針對特殊異形Die的切割路徑優(yōu)化、大尺寸晶圓的分片切割策略等,已成功為多家頭部半導體企業(yè)完成定制化項目交付。5G射頻芯片切割中清航科特殊工藝,金線偏移量<0...
面對高溫高濕等惡劣生產環(huán)境,中清航科對晶圓切割設備進行了特殊環(huán)境適應性改造。設備電氣系統(tǒng)采用三防設計(防潮濕、防霉菌、防鹽霧),機械結構采用耐腐蝕材料,可在溫度30-40℃、濕度60-85%的環(huán)境下穩(wěn)定運行,特別適用于熱帶地區(qū)半導體工廠及特殊工業(yè)場景。晶圓切割的刀具損耗是影響成本的重要因素,中清航科開發(fā)的刀具壽命預測系統(tǒng),通過振動傳感器與AI算法實時監(jiān)測刀具磨損狀態(tài),提前2小時預警刀具更換需求,并自動推送比較好的更換時間窗口,避免因刀具突然失效導致的產品報廢,使刀具消耗成本降低25%。MEMS器件晶圓切割中清航科特殊保護層技術,結構完整率99%。臺州碳化硅半導體晶圓切割寬度在碳化硅晶圓切割領域...
中清航科開放6條全自動切割產線,支持從8英寸化合物半導體到12英寸邏輯晶圓的來料加工。云端訂單系統(tǒng)實時追蹤進度,平均交貨周期48小時,良率承諾99.2%。先進封裝RDL層切割易引發(fā)銅箔撕裂。中清航科應用超快飛秒激光(脈寬400fs)配合氦氣保護,在銅-硅界面形成納米級熔融區(qū),剝離強度提升5倍。中清航科搭建全球較早切割工藝共享平臺,收錄3000+材料參數組合??蛻糨斎刖A類型/厚度/目標良率,自動生成比較好參數包,工藝開發(fā)周期縮短90%。復合材料晶圓切割選中清航科多工藝集成設備,兼容激光與刀片。臺州半導體晶圓切割劃片針對航天電子需求,中清航科在屏蔽室內完成切割(防宇宙射線干擾)。采用低介電刀具材...
中清航科為晶圓切割設備提供全生命周期的服務支持,從設備安裝調試、操作人員培訓、工藝優(yōu)化指導到設備升級改造,形成完整的服務鏈條。建立客戶服務檔案,定期進行設備巡檢與性能評估,根據客戶的生產需求變化提供定制化的升級方案,確保設備始終保持先進的技術水平。隨著半導體技術向更多新興領域滲透,晶圓切割的應用場景不斷拓展。中清航科積極布局新興市場,開發(fā)適用于可穿戴設備芯片、柔性電子、生物芯片等領域的切割設備。例如,針對柔性晶圓的切割,采用低溫冷凍切割技術,解決柔性材料切割時的拉伸變形問題,為新興半導體應用提供可靠的制造保障。中清航科切割液回收系統(tǒng)降低耗材成本35%,符合綠色制造。江蘇碳化硅晶圓切割劃片半導體...
在碳化硅晶圓切割領域,由于材料硬度高達莫氏9級,傳統(tǒng)切割方式面臨效率低下的問題。中清航科創(chuàng)新采用超高壓水射流與激光復合切割技術,利用水射流的冷卻作用抑制激光切割產生的熱影響區(qū),同時借助激光的預熱作用降低材料強度,使碳化硅晶圓的切割效率提升3倍,熱影響區(qū)控制在10μm以內。晶圓切割設備的可靠性是大規(guī)模生產的基礎保障。中清航科對中心部件進行嚴格的可靠性測試,其中激光振蕩器經過10萬小時連續(xù)運行驗證,機械導軌的壽命測試達到200萬次往復運動無故障。設備平均無故障時間(MTBF)突破1000小時,遠超行業(yè)800小時的平均水平,為客戶提供穩(wěn)定可靠的生產保障。中清航科切割工藝白皮書下載量超10萬次,成行業(yè)...
面對高溫高濕等惡劣生產環(huán)境,中清航科對晶圓切割設備進行了特殊環(huán)境適應性改造。設備電氣系統(tǒng)采用三防設計(防潮濕、防霉菌、防鹽霧),機械結構采用耐腐蝕材料,可在溫度30-40℃、濕度60-85%的環(huán)境下穩(wěn)定運行,特別適用于熱帶地區(qū)半導體工廠及特殊工業(yè)場景。晶圓切割的刀具損耗是影響成本的重要因素,中清航科開發(fā)的刀具壽命預測系統(tǒng),通過振動傳感器與AI算法實時監(jiān)測刀具磨損狀態(tài),提前2小時預警刀具更換需求,并自動推送比較好的更換時間窗口,避免因刀具突然失效導致的產品報廢,使刀具消耗成本降低25%。8小時連續(xù)切割驗證:中清航科設備溫度波動≤±0.5℃。舟山藍寶石晶圓切割寬度為滿足汽車電子追溯要求,中清航科在...
針對高粘度晶圓切割液的回收處理,中清航科研發(fā)了離心式過濾凈化系統(tǒng)。該系統(tǒng)通過三級過濾工藝,可去除切割液中99.9%的固體顆粒雜質,使切割液循環(huán)利用率提升至80%以上,不只降低耗材成本,還減少廢液排放。同時配備濃度自動調節(jié)功能,確保切割液性能穩(wěn)定,保障切割質量一致性。在晶圓切割設備的維護便捷性設計上,中清航科秉持“易維護”理念。設備關鍵部件采用模塊化設計,更換激光頭、切割刀片等中心組件只需15分鐘,較傳統(tǒng)設備縮短70%維護時間。同時配備維護指引系統(tǒng),通過AR技術直觀展示維護步驟,降低對專業(yè)維護人員的依賴,減少客戶運維壓力。采用中清航科激光隱形切割技術,晶圓分片效率提升40%以上。南京半導體晶圓切...
中清航科IoT平臺通過振動傳感器+電流波形分析,提前72小時預警主軸軸承磨損、刀片鈍化等故障。數字孿生模型模擬設備衰減曲線,備件更換周期精度達±5%,設備綜合效率(OEE)提升至95%。機械切割引發(fā)的殘余應力會導致芯片分層失效。中清航科創(chuàng)新采用超聲波輔助切割,高頻振動(40kHz)使材料塑性分離,應力峰值降低60%。該技術已獲ISO14649認證,適用于汽車電子AEC-Q100可靠性要求。Chiplet架構需對同片晶圓分區(qū)切割。中清航科多深度切割系統(tǒng)支持在單次制程中實現5-200μm差異化切割深度,精度±1.5μm。動態(tài)焦距激光模塊配合高速振鏡,完成異構芯片的高效分離。8小時連續(xù)切割驗證:中清...
晶圓切割的工藝參數設置需要豐富的經驗積累,中清航科開發(fā)的智能工藝推薦系統(tǒng),基于千萬級切割數據訓練而成。只需輸入晶圓材料、厚度、切割道寬等基本參數,系統(tǒng)就能自動生成比較好的切割方案,包括激光功率、切割速度、聚焦位置等關鍵參數,新手操作人員也能快速達到工程師的工藝水平,大幅降低技術門檻。半導體產業(yè)對設備的占地面積有著嚴格要求,中清航科采用緊湊型設計理念,將晶圓切割設備的占地面積控制在2平方米以內,較傳統(tǒng)設備減少40%。在有限空間內,通過巧妙的結構布局實現全部功能集成,同時預留擴展接口,方便后續(xù)根據產能需求增加模塊,滿足不同規(guī)模生產車間的布局需求。切割冷卻液在線凈化裝置中清航科研發(fā),雜質濃度自動控制...
針對晶圓切割過程中的靜電防護問題,中清航科的設備采用全流程防靜電設計。從晶圓上料的導電吸盤到切割區(qū)域的離子風扇,再到下料區(qū)的防靜電輸送軌道,形成完整的靜電防護體系,將設備表面靜電電壓控制在50V以下,有效避免靜電對敏感芯片造成的潛在損傷。中清航科的晶圓切割設備具備強大的數據分析能力,內置數據挖掘模塊可對歷史切割數據進行深度分析,識別影響切割質量的關鍵因素,如環(huán)境溫度波動、晶圓批次差異等,并自動生成工藝優(yōu)化建議。通過持續(xù)的數據積累與分析,幫助客戶不斷提升切割工藝水平,實現持續(xù)改進。切割刀痕深度控制中清航科技術達±0.2μm,減少后續(xù)研磨量。上海砷化鎵晶圓切割劃片高速切割產生的局部高溫易導致材料熱...
在半導體設備國產化替代的浪潮中,中清航科始終堅持自主創(chuàng)新,中心技術100%自主可控。其晶圓切割設備的關鍵部件如激光發(fā)生器、精密導軌、控制系統(tǒng)等均實現國產化量產,不僅擺脫對進口部件的依賴,還將設備交付周期縮短至8周以內,較進口設備縮短50%,為客戶搶占市場先機提供有力支持。展望未來,隨著3nm及更先進制程的突破,晶圓切割將面臨更小尺寸、更高精度的挑戰(zhàn)。中清航科已啟動下一代原子級精度切割技術的研發(fā),計劃通過量子點標記與納米操控技術,實現10nm以下的切割精度,同時布局晶圓-封裝一體化工藝,為半導體產業(yè)的持續(xù)發(fā)展提供前瞻性的技術解決方案,與全球客戶共同邁向更微觀的制造領域。切割機預測性維護平臺中清航...
針對晶圓切割后的表面清潔度要求,中清航科在設備中集成了在線等離子清洗模塊。切割完成后立即對晶圓表面進行等離子處理,去除殘留的切割碎屑與有機污染物,清潔度達到Class10標準。該模塊可與切割流程無縫銜接,減少晶圓轉移過程中的二次污染風險。中清航科注重晶圓切割設備的人性化設計,操作界面采用直觀的圖形化布局,支持多語言切換與自定義快捷鍵設置。設備配備可調節(jié)高度的操作面板與符合人體工學的扶手設計,減少操作人員長時間工作的疲勞感,同時提供聲光報警與故障提示,使操作更便捷高效。MEMS器件晶圓切割中清航科特殊保護層技術,結構完整率99%。徐州藍寶石晶圓切割劃片隨著Chiplet技術的興起,晶圓切割需要更...
8英寸晶圓在功率半導體、MEMS等領域仍占據重要市場份額,中清航科針對這類成熟制程開發(fā)的切割設備,兼顧效率與性價比。設備采用雙主軸并行切割設計,每小時可加工40片8英寸晶圓,且通過優(yōu)化機械結構降低振動噪聲至65分貝以下,為車間創(chuàng)造更友好的工作環(huán)境,深受中小半導體企業(yè)的青睞。晶圓切割工藝的數字化轉型是智能制造的重要組成部分。中清航科的切割設備內置工業(yè)物聯網模塊,可實時采集切割壓力、溫度、速度等100余項工藝參數,通過邊緣計算節(jié)點進行實時分析,生成工藝優(yōu)化建議??蛻艨赏ㄟ^云端平臺查看生產報表與趨勢分析,實現基于數據的精細化管理。第三代半導體切割中清航科提供全套解決方案,良率95%+。泰州半導體晶圓...
半導體晶圓的制造過程制造過程始于一個大型單晶硅的生產(晶錠),制造方法包括直拉法與區(qū)熔法,這兩種方法都涉及從高純度硅熔池中控制硅晶體的生長。一旦晶錠生產出來,就需要用精密金剛石鋸將其切成薄片狀晶圓。隨后晶圓被拋光以達到鏡面般的光滑,確保在后續(xù)制造工藝中表面無缺陷。接著,晶圓會經歷一系列復雜的制造步驟,包括光刻、蝕刻和摻雜,這些步驟在晶圓表面上形成晶體管、電阻、電容和互連的復雜圖案。這些圖案在多個層上形成,每一層在電子器件中都有特定的功能。制造過程完成后,晶圓經過晶圓切割分離出單個芯片,芯片會被封裝并測試,集成到電子器件和系統(tǒng)中。中清航科推出切割機租賃服務,降低客戶初期投入成本。湖州12英寸半導...
晶圓切割作為半導體制造流程中的關鍵環(huán)節(jié),直接影響芯片的良率與性能。中清航科憑借多年行業(yè)積淀,研發(fā)出高精度激光切割設備,可實現小切割道寬達20μm,滿足5G芯片、車規(guī)級半導體等領域的加工需求。其搭載的智能視覺定位系統(tǒng),能實時校準晶圓位置偏差,將切割精度控制在±1μm以內,為客戶提升30%以上的生產效率。在半導體產業(yè)快速迭代的當下,晶圓材料呈現多元化趨勢,從傳統(tǒng)硅基到碳化硅、氮化鎵等寬禁帶半導體,切割工藝面臨更大挑戰(zhàn)。中清航科針對性開發(fā)多材料適配切割方案,通過可調諧激光波長與動態(tài)功率控制技術,完美解決硬脆材料切割時的崩邊問題,崩邊尺寸可控制在5μm以下,助力第三代半導體器件的規(guī)模化生產。中清航科切...
中清航科開放6條全自動切割產線,支持從8英寸化合物半導體到12英寸邏輯晶圓的來料加工。云端訂單系統(tǒng)實時追蹤進度,平均交貨周期48小時,良率承諾99.2%。先進封裝RDL層切割易引發(fā)銅箔撕裂。中清航科應用超快飛秒激光(脈寬400fs)配合氦氣保護,在銅-硅界面形成納米級熔融區(qū),剝離強度提升5倍。中清航科搭建全球較早切割工藝共享平臺,收錄3000+材料參數組合??蛻糨斎刖A類型/厚度/目標良率,自動生成比較好參數包,工藝開發(fā)周期縮短90%。切割粉塵回收模塊中清航科集成,重金屬污染減排90%以上。揚州碳化硅陶瓷晶圓切割劃片廠中清航科創(chuàng)新性推出“激光預劃+機械精切”復合方案:先以激光在晶圓表面形成引導...
通過拉曼光譜掃描切割道,中清航科提供殘余應力分布云圖(分辨率5μm),并推薦退火工藝參數。幫助客戶將芯片翹曲風險降低70%,服務已用于10家頭部IDM企業(yè)。中清航科技術結合機械切割速度與激光切割精度:對硬質區(qū)采用刀切,對脆弱區(qū)域切換激光加工。動態(tài)切換時間
為滿足半導體行業(yè)的快速交付需求,中清航科建立了高效的設備生產與交付體系。采用柔性化生產模式,標準型號切割設備可實現7天內快速發(fā)貨,定制化設備交付周期控制在30天以內。同時提供門到門安裝調試服務,配備專業(yè)技術團隊全程跟進,確保設備快速投產。在晶圓切割的工藝參數優(yōu)化方面,中清航科引入實驗設計(DOE)方法。通過多因素正交試驗,系統(tǒng)分析激光功率、切割速度、焦點位置等參數對切割質量的影響,建立參數優(yōu)化模型,可在20組實驗內找到比較好工藝組合,較傳統(tǒng)試錯法減少60%的實驗次數,加速新工藝開發(fā)進程。晶圓切割MES系統(tǒng)中清航科定制,實時追蹤每片切割工藝參數。衢州半導體晶圓切割刀片對于高價值的晶圓產品,切割過...
面向磁傳感器制造,中清航科開發(fā)超導磁懸浮切割臺。晶圓在強磁場(0.5T)下懸浮,消除機械接觸應力,切割后磁疇結構畸變率