操作過程中的安全防護(hù)非常重要。激光安全是重中之重，系統(tǒng)必須配備互鎖裝置，確保在打開激光防護(hù)罩時(shí)激光器自動(dòng)關(guān)閉，防止高能激光對(duì)人員眼睛和皮膚造成長(zhǎng)久性傷害。所有操作人員必須接受激光安全培訓(xùn)并佩戴相應(yīng)的防護(hù)眼鏡。此外，高壓電器（如加熱器電源、RHEED電源）也存在電擊風(fēng)險(xiǎn)，必須確保所有接地可靠，并在進(jìn)行任何內(nèi)部檢查前確認(rèn)設(shè)備完全斷電。 氣體使用的安全規(guī)范不容忽視。系統(tǒng)配備的兩路質(zhì)量流量計(jì)用于精確控制反應(yīng)氣體（如氧氣）或惰性氣體（如氬氣）。在使用氧氣等助燃?xì)怏w時(shí)，必須確保氣路連接牢固無(wú)泄漏，并遠(yuǎn)離任何潛在的油污和熱源。特別是在進(jìn)行較高氧氣壓力下的沉積時(shí)，需明確了解鉑金加熱器等元件在特定壓力...

在規(guī)劃實(shí)驗(yàn)室空間布局時(shí)，需充分考量設(shè)備的尺寸和操作流程，以保障操作的便利性和安全性。設(shè)備的主體部分，像工藝室、負(fù)載鎖定室等，應(yīng)安置在實(shí)驗(yàn)室的中心區(qū)域，方便操作人員進(jìn)行各項(xiàng)操作和監(jiān)控。由于工藝室尺寸為450毫米，且?guī)в锌筛鼡Q的底部法蘭，可連接10個(gè)端口DN63CF用于蒸發(fā)源，其占地面積較大，所以要預(yù)留足夠空間，避免與其他設(shè)備產(chǎn)生干涉。樣品準(zhǔn)備區(qū)應(yīng)緊鄰設(shè)備的負(fù)載鎖定室，便于樣品的裝載和傳輸。該區(qū)域可設(shè)置樣品清洗臺(tái)、干燥設(shè)備和樣品架等，確保樣品在進(jìn)入設(shè)備前得到妥善處理?？紤]到設(shè)備的基板支架尺寸范圍從10×10毫米到4英寸，樣品準(zhǔn)備區(qū)要能容納不同尺寸的樣品，并提供相應(yīng)的操作空間。實(shí)驗(yàn)室需配備適用電源，...