Tag標(biāo)簽
  • 無(wú)烴納米涂覆系統(tǒng)維修
    無(wú)烴納米涂覆系統(tǒng)維修

    新南威爾士大學(xué)AronMichael團(tuán)隊(duì)利用超高真空電子束蒸發(fā)硅系統(tǒng)，攻克了CMOS上集成MEMS時(shí)的低熱預(yù)算難題。該系統(tǒng)可在≤500℃的低熱預(yù)算下，制備出厚度達(dá)60μm、表面光滑且低應(yīng)力的原位磷摻雜硅薄膜，沉積速率達(dá)1μm/min，且不會(huì)損害CMOS的完整性。團(tuán)隊(duì)還基于這種厚多晶硅膜設(shè)計(jì)制造了20μm厚的梳狀驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)，成功實(shí)現(xiàn)了加速度計(jì)的功能。該案例為MEMS器件提供了新型低成本厚多晶硅技術(shù)，助力汽車、可穿戴設(shè)備等領(lǐng)域智能傳感器的低成本集成。工業(yè)研發(fā)中，設(shè)備可實(shí)現(xiàn)小批量試產(chǎn)，為規(guī)模化生產(chǎn)提供工藝參數(shù)參考。無(wú)烴納米涂覆系統(tǒng)維修 NL-FLEX多功能沉積系統(tǒng)：全場(chǎng)景基材適配，解鎖多元應(yīng)用可能 ...