RTTLIT P10 熱紅外顯微鏡在光學(xué)配置上的靈活性,可通過多種可選物鏡得以充分體現(xiàn),為不同尺度、不同場景的熱分析需求提供精細(xì)適配。
Micro 廣角鏡頭擅長捕捉大視野范圍的整體熱分布,適合快速定位樣品宏觀熱異常區(qū)域,如整片晶圓的整體散熱趨勢觀測;0.2X 鏡頭在保持一定視野的同時提升細(xì)節(jié)捕捉能力,可用于中等尺寸器件(如傳感器模組)的熱行為分析,平衡效率與精度;0.4X 鏡頭進(jìn)一步聚焦局部,能清晰呈現(xiàn)芯片封裝級的熱分布特征,助力排查封裝缺陷導(dǎo)致的散熱不均問題;1X 與 3X 鏡頭則聚焦微觀尺度,1X 鏡頭可解析芯片內(nèi)部功能模塊的熱交互,3X 鏡頭更是能深入到微米級結(jié)構(gòu)(如晶體管陣列、引線鍵合點(diǎn)),捕捉納米級熱點(diǎn)的細(xì)微溫度波動。
熱紅外顯微鏡的 AI 智能分析模塊,自動標(biāo)記異常熱斑并匹配歷史失效數(shù)據(jù)庫。半導(dǎo)體失效分析熱紅外顯微鏡售價
致晟光電推出的多功能顯微系統(tǒng),創(chuàng)新實現(xiàn)熱紅外與微光顯微鏡的集成設(shè)計,搭配靈活可選的制冷/非制冷模式,可根據(jù)您的實際需求定制專屬配置方案。這套設(shè)備的優(yōu)勢在于一體化集成能力:只需一套系統(tǒng),即可同時搭載可見光顯微鏡、熱紅外顯微鏡及InGaAs微光顯微鏡三大功能模塊。這種設(shè)計省去了多設(shè)備切換的繁瑣,更通過硬件協(xié)同優(yōu)化提升了整體性能,讓您在同一平臺上輕松完成多波段觀測任務(wù)。相比單獨(dú)購置多套設(shè)備,該集成系統(tǒng)能大幅降低采購與維護(hù)成本,在保證檢測精度的同時,為實驗室節(jié)省空間與預(yù)算,真正實現(xiàn)性能與性價比的雙重提升。無損熱紅外顯微鏡與光學(xué)顯微鏡對比熱紅外顯微鏡通過熱成像技術(shù),快速定位 PCB 板上的短路熱點(diǎn) 。
選擇熱紅外顯微鏡(Thermal EMMI) 設(shè)備時,需緊密圍繞實際應(yīng)用需求進(jìn)行綜合評估。若檢測對象為半導(dǎo)體芯片、晶圓,應(yīng)重點(diǎn)關(guān)注設(shè)備的空間分辨率(推薦≤1μm)和溫度靈敏度(≤0.01℃);針對 3D 封裝器件,支持鎖相熱成像技術(shù)的設(shè)備能更好地實現(xiàn)深度定位;而 PCB/PCBA 檢測,則需要兼顧大視野與高精度掃描能力。在技術(shù)指標(biāo)層面,InSb 材質(zhì)的探測器靈敏度出色,適合半導(dǎo)體缺陷檢測,非制冷型氧化釩探測器雖成本較低,但分辨率相對有限;鎖相熱成像技術(shù)可提升信噪比,并實現(xiàn) 3D 空間的深度定位;同時,偏置系統(tǒng)的電壓電流范圍、EMMI 與熱成像融合功能以及 AI 輔助分析能力,也都是衡量設(shè)備性能的關(guān)鍵要素。
非破壞性分析(NDA)以非侵入方式分析樣品內(nèi)部結(jié)構(gòu)和性能,無需切割、拆解或化學(xué)處理,能保留樣品完整性,為后續(xù)研究留有余地,在高精度、高成本的半導(dǎo)體領(lǐng)域作用突出。
無損分析,通過捕捉樣品自身紅外熱輻射成像,全程無接觸,無需對晶圓、芯片等進(jìn)行破壞性處理。在半導(dǎo)體制造中,可識別晶圓晶體缺陷;封裝階段,能檢測焊接點(diǎn)完整性或封裝層粘結(jié)質(zhì)量;失效分析時,可定位內(nèi)部短路或斷裂區(qū)域的隱性熱信號,為根源分析提供依據(jù),完美適配半導(dǎo)體行業(yè)對高價值樣品的保護(hù)需求。 分析倒裝芯片(Flip Chip)、3D 封裝(TSV)的層間熱傳導(dǎo)異常,排查焊球陣列、TSV 通孔的熱界面失效。
熱紅外顯微鏡(Thermal EMMI) 作為一種能夠捕捉微觀尺度熱輻射信號的精密儀器,其優(yōu)勢在于對材料、器件局部溫度分布的高空間分辨率觀測。
然而,在面對微弱熱信號(如納米尺度結(jié)構(gòu)的熱輻射、低功耗器件的散熱特性等)時,傳統(tǒng)熱成像方法易受環(huán)境噪聲、背景輻射的干擾,難以實現(xiàn)精細(xì)測量。鎖相熱成像技術(shù)的引入,為熱紅外顯微鏡突破這一局限提供了關(guān)鍵解決方案。通過鎖相熱成像技術(shù)的賦能,熱紅外顯微鏡從 “可見” 微觀熱分布升級為 “可測” 納米級熱特性,為微觀尺度熱科學(xué)研究與工業(yè)檢測提供了不可或缺的工具。 熱紅外顯微鏡通過納秒級瞬態(tài)熱捕捉,揭示高速芯片開關(guān)過程的瞬態(tài)熱失效機(jī)理。廠家熱紅外顯微鏡價格
熱紅外顯微鏡憑借≤0.001℃的溫度分辨率,助力復(fù)雜半導(dǎo)體失效分析 。半導(dǎo)體失效分析熱紅外顯微鏡售價
半導(dǎo)體制程已逐步進(jìn)入 3 納米及更先進(jìn)階段,芯片內(nèi)部結(jié)構(gòu)日趨密集,供電電壓也持續(xù)降低,這使得微觀熱行為對器件性能的影響變得更為明顯。致晟光電熱紅外顯微鏡是在傳統(tǒng)熱發(fā)射顯微鏡基礎(chǔ)上,經(jīng)迭代進(jìn)化而成的精密工具。在先進(jìn)制程研發(fā)中,它在應(yīng)對熱難題方面能提供一定支持,在芯片設(shè)計驗證、失效排查以及性能優(yōu)化等環(huán)節(jié),都能發(fā)揮相應(yīng)的作用。其通過不斷優(yōu)化的技術(shù),適應(yīng)了先進(jìn)制程下對微觀熱信號檢測的需求,為相關(guān)研發(fā)工作提供了有助于分析和解決問題的熱分布信息,助力研發(fā)人員更好地推進(jìn)芯片相關(guān)的研究與改進(jìn)工作。
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