0.02精密溫控方案

精密環(huán)境受到多種因素的影響。溫度波動(dòng)會(huì)導(dǎo)致儀器設(shè)備、被測樣品等產(chǎn)生形變，影響空氣對(duì)光的折射波動(dòng)；濕度波動(dòng)會(huì)影響空氣折射率，濕度過高還易造成電器故障；二氧化碳濃度、壓力梯度波動(dòng)會(huì)影響空氣折射率；微振動(dòng)會(huì)造成儀器設(shè)備等抖動(dòng)，影響光路；電磁干擾、接地電阻過大會(huì)影響儀器設(shè)備正常工作。
極測（南京）技術(shù)有限公司針對(duì)不同環(huán)境控制需求，提供了完善的解決方案。普通環(huán)境控制需求溫度控制精度為 ±2℃，濕度控制精度為 ±5~15%，潔凈度等級(jí)為十萬級(jí)到百級(jí)，采用恒溫恒濕超凈間；精密環(huán)境控制需求溫度控制精度為 ±0.5~1℃，濕度控制精度為 ±2~5%，潔凈度等級(jí)為萬級(jí)到百級(jí)，采用精密恒溫恒濕超凈間；高精密環(huán)境控制需求溫度控制精度為 ±0.1~0.3℃，濕度控制精度為 ±2~5%，潔凈度等級(jí)為千級(jí)到百級(jí)，采用高精密恒溫恒濕超凈間；超精密環(huán)境控制需求溫度控制精度為 ±0.002~0.1℃，濕度控制精度為 ±1~5%，潔凈度等級(jí)為百級(jí)到十級(jí)，在高精密恒溫恒濕超凈間中搭建精密環(huán)控系統(tǒng)，同時(shí)氣流 / 風(fēng)速 / 壓差控制、CO?濃度調(diào)節(jié)、噪音控制、環(huán)境參數(shù)閉環(huán)控制。
擁有結(jié)合全場景非標(biāo)定制能力，可滿足用戶不同環(huán)境參數(shù)及使用需求.0.02精密溫控方案

高精密環(huán)境控制設(shè)備是一款自主研發(fā)的精密環(huán)境控制產(chǎn)品，主要由設(shè)備主柜體、控制系統(tǒng)、氣流循環(huán)系統(tǒng)、潔凈過濾器、制冷(熱)系統(tǒng)、照明系統(tǒng)、局部氣浴等組成，為光刻機(jī)、激光干涉儀等精密測量、精密制造設(shè)備提供招高精度溫濕度、潔凈度的工作環(huán)境。該設(shè)備內(nèi)部通過風(fēng)機(jī)引導(dǎo)氣流以一定的方向循環(huán)，控制系統(tǒng)對(duì)循環(huán)氣流的每個(gè)環(huán)節(jié)進(jìn)行處理，從而使柜內(nèi)的溫濕度達(dá)到超高的控制精度。溫度穩(wěn)定性蕞高可達(dá)±0.002°C，濕度穩(wěn)定性蕞高可達(dá)±0.3%RH，潔凈等級(jí)蕞高可實(shí)現(xiàn) ISO class 1級(jí)。上海0.05精密溫控極測（南京）致力于為芯片半導(dǎo)體、精密光學(xué)、科研研發(fā)等領(lǐng)域提供定制化的高精密環(huán)境解決方案。

在光學(xué)領(lǐng)域，干涉儀扮演著無可替代的 “基準(zhǔn)量具” 角色。其測量精度直接受到工作環(huán)境的影響，包括溫度、濕度、氣壓波動(dòng)等影響因素，尤其是溫度控制的細(xì)微偏差，都可能成為測量結(jié)果失準(zhǔn)的 “系統(tǒng)性誤差源”。極測（南京）自研生產(chǎn)的精密環(huán)控系統(tǒng)，為干涉儀打造穩(wěn)定的外部運(yùn)行環(huán)境，包括精密溫度控制，以及濕度穩(wěn)定性，氣壓穩(wěn)定性，噪聲等。同時(shí)針對(duì)內(nèi)部腔體區(qū)域采用局部氣浴的模式，保證內(nèi)部檢測腔環(huán)境的穩(wěn)定性，是許多半導(dǎo)體企業(yè)的選擇。

超高潔凈環(huán)境保障：系統(tǒng)可實(shí)現(xiàn)蕞高ISO Class 1級(jí)的潔凈環(huán)境（每立方米≥0.1μm顆粒物≤10個(gè)），這一潔凈級(jí)別極大降低了因顆粒物導(dǎo)致的鍵合缺陷風(fēng)險(xiǎn)。
濕度與壓力協(xié)同控制：除了溫控精度與潔凈度，系統(tǒng)蕞高能將濕度穩(wěn)定性維持在±0.3%RH，壓力波動(dòng)控制在±3Pa以內(nèi)。這種多參數(shù)協(xié)同控制能力，為鍵合工藝提供了全方wei、全時(shí)段的穩(wěn)定環(huán)境保障。 因此，光學(xué)儀器行業(yè)通常要求潔凈室或無塵室的潔凈度達(dá)到一定的標(biāo)準(zhǔn)，如千級(jí)、萬級(jí)或十萬級(jí)凈化標(biāo)準(zhǔn)。

高精密環(huán)控柜由我司自主研發(fā)，是一款精密環(huán)境控制產(chǎn)品，可實(shí)現(xiàn)ISOClass1-6級(jí)潔凈度，以及±0.1℃、±0.05℃、±0.01℃、±0.002℃等不同精度的溫度波動(dòng)控制。擁有全場景非標(biāo)定制能力，能針對(duì)用戶的個(gè)性化需求（如溫濕度穩(wěn)定性、潔凈度、抗微振、防磁、隔音等）提供解決方案。設(shè)備運(yùn)行數(shù)據(jù)實(shí)時(shí)記錄查詢，且配備自動(dòng)安全保護(hù)系統(tǒng)，確保長時(shí)間運(yùn)行無憂。其構(gòu)成部分包括設(shè)備主柜體、控制系統(tǒng)、氣流循環(huán)系統(tǒng)、潔凈過濾器、制冷（熱）系統(tǒng)、照明系統(tǒng)、局部氣浴等，主要為光刻機(jī)、激光干涉儀等精密測量與制造設(shè)備，提供超高精度的溫濕度及潔凈度工作環(huán)境。濕度控制采用 “外環(huán)境保證相對(duì)濕度、大環(huán)境穩(wěn)定絕dui含濕量” 的方式，通過精確控溫實(shí)現(xiàn)環(huán)境倉內(nèi)部濕度穩(wěn)定。為達(dá)成溫濕度及潔凈度要求，采用大風(fēng)量小溫差設(shè)計(jì)，通過空氣快速循環(huán)過濾帶走余熱，使溫度波動(dòng)保持在極低數(shù)值（關(guān)鍵區(qū)域 ±0.002℃）；并通過多級(jí)控溫（先經(jīng)表冷盤降溫，再由多級(jí)電加熱逐步升溫），將溫度精度從 ±0.1℃升級(jí)至 ±0.002℃。光學(xué)儀器行業(yè)通常要求相對(duì)濕度控制在40~60%RH之間，某些情況下可能要求更嚴(yán)格的范圍，如45~55%RH。0.02精密溫控方案

半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備精密且昂貴，因此應(yīng)采取相應(yīng)的抗振措施。例如，在設(shè)備底部設(shè)置減振支座或彈簧隔振器等。0.02精密溫控方案

極測微環(huán)境控制系統(tǒng)運(yùn)用自主研發(fā)的高精密控溫技術(shù)，控制輸出精度達(dá) 0.1%，設(shè)備內(nèi)部溫度穩(wěn)定性關(guān)鍵區(qū)域可達(dá) +/-2mK（靜態(tài)），溫度水平均勻性小于 16mK/m。這一精度確保了在立式干涉儀運(yùn)行時(shí)，光學(xué)元件與機(jī)械結(jié)構(gòu)不受溫度波動(dòng)干擾，始終維持在蕞佳工作狀態(tài)，微環(huán)境控制系統(tǒng)為精zhun測量提供穩(wěn)定基礎(chǔ)。 0.02精密溫控方案