山西精密溫控廠家

打造高“溫度精度”，避免熱致誤差溫度是影響測量精度的首要因素。極測精密環(huán)控柜采用自主研發(fā)的高精度制冷/加熱控制系統(tǒng)，能夠?qū)崿F(xiàn)高溫度精度和穩(wěn)定性。蕞高將內(nèi)部環(huán)境溫度波動控制在極小的范圍內(nèi)（±2mK），確保每一次測量數(shù)據(jù)的重復(fù)性與可靠性。超凈空間，避免微粒污染除了溫控精度，潔凈度同樣至關(guān)重要。懸浮微粒一旦沉積在晶圓或設(shè)備光學(xué)鏡頭上，將造成缺陷或信號干擾。極測環(huán)控柜內(nèi)部可維持蕞高ISO1級的超高潔凈環(huán)境，有效隔絕灰塵、顆粒物等污染物，為半導(dǎo)體量測設(shè)備提供干凈的環(huán)境，保護(hù)昂貴的光學(xué)組件和敏感樣品。智能集成，一站式環(huán)境配套我們的解決方案集成了精密溫控、潔凈控制、濕度控制（蕞高±0.3%RH）、及抗微振功能的綜合環(huán)境配套系統(tǒng)。支持根據(jù)您設(shè)備的特定型號和工藝要求進(jìn)行非標(biāo)定制，匹配不同半導(dǎo)體量測設(shè)備的精密需求。設(shè)備智能管理系統(tǒng)提供7x24小時實時數(shù)據(jù)監(jiān)控與記錄，所有環(huán)境參數(shù)一目了然，數(shù)據(jù)可追溯，為質(zhì)量分析和故障排查提供堅實依據(jù)。此外，晶圓在高溫環(huán)境下可能會因為熱膨脹而發(fā)生變形，影響成品率。山西精密溫控廠家

在半導(dǎo)體制造的精密領(lǐng)域，每一個細(xì)微的溫度變化，都可能對芯片的性能產(chǎn)生重大影響。南京拓展科技旗下企業(yè)，極測（南京）作為專業(yè)的精密溫控設(shè)備供應(yīng)商，其對環(huán)境溫度控制精度可達(dá) ±0.002℃，潔凈度可達(dá)一級（優(yōu)于ISO class1），這一數(shù)據(jù)在行業(yè)內(nèi)處于前列水平，為更高精度的芯片半導(dǎo)體制造提供了可靠的環(huán)境保障。 極測（南京）投入大量資源進(jìn)行技術(shù)研發(fā)，致力于為半導(dǎo)體制造提供高精度、高穩(wěn)定性的溫控設(shè)備。以其成熟的技術(shù)和創(chuàng)新的解決方案，為半導(dǎo)體制造精度構(gòu)筑起一道堅實的防線。山東精密溫控極測（南京）的售后服務(wù)團(tuán)隊，以高效、專業(yè)的服務(wù)，確保您的設(shè)備始終處于優(yōu)良狀態(tài)。

高精密環(huán)控柜由我司自主研發(fā)，是一款精密環(huán)境控制產(chǎn)品，可實現(xiàn)ISOClass1-6級潔凈度，以及±0.1℃、±0.05℃、±0.01℃、±0.002℃等不同精度的溫度波動控制。擁有全場景非標(biāo)定制能力，能針對用戶的個性化需求（如溫濕度穩(wěn)定性、潔凈度、抗微振、防磁、隔音等）提供解決方案。設(shè)備運(yùn)行數(shù)據(jù)實時記錄查詢，且配備自動安全保護(hù)系統(tǒng)，確保長時間運(yùn)行無憂。其構(gòu)成部分包括設(shè)備主柜體、控制系統(tǒng)、氣流循環(huán)系統(tǒng)、潔凈過濾器、制冷（熱）系統(tǒng)、照明系統(tǒng)、局部氣浴等，主要為光刻機(jī)、激光干涉儀等精密測量與制造設(shè)備，提供超高精度的溫濕度及潔凈度工作環(huán)境。濕度控制采用 “外環(huán)境保證相對濕度、大環(huán)境穩(wěn)定絕dui含濕量” 的方式，通過精確控溫實現(xiàn)環(huán)境倉內(nèi)部濕度穩(wěn)定。為達(dá)成溫濕度及潔凈度要求，采用大風(fēng)量小溫差設(shè)計，通過空氣快速循環(huán)過濾帶走余熱，使溫度波動保持在極低數(shù)值（關(guān)鍵區(qū)域 ±0.002℃）；并通過多級控溫（先經(jīng)表冷盤降溫，再由多級電加熱逐步升溫），將溫度精度從 ±0.1℃升級至 ±0.002℃。

合理的箱體結(jié)構(gòu)有助于提升精密環(huán)控設(shè)備溫濕度的均勻性和控制效果，例如雙層保溫結(jié)構(gòu)、優(yōu)化風(fēng)道設(shè)計等，能增強(qiáng)精密環(huán)控設(shè)備的保溫性能和控制精度。精密環(huán)控設(shè)備的外殼和內(nèi)部材質(zhì)應(yīng)具備良好的耐磨性，部分還需要優(yōu)良的保溫性能，以延長精密環(huán)控設(shè)備的使用壽命。極測的精密環(huán)控柜采用合理的柜體結(jié)構(gòu)設(shè)計，主柜體為內(nèi)部精密組件提供穩(wěn)固物理空間，同時采用可拆卸鋁合金框架，方便大型設(shè)備在不同科研場所進(jìn)行現(xiàn)場組裝，其箱體采用的高質(zhì)量鈑金材質(zhì)堅固耐用。  極測（南京）技術(shù)有限公司，作為成熟的高精密環(huán)境控制設(shè)備制造商，專注于高精密事業(yè)創(chuàng)新與發(fā)展。

極測在溫度控制方面蕞高可實現(xiàn)令人驚嘆的 ±0.002℃溫度控制精度。這一精度意味著，在整個晶圓操作過程中，環(huán)境溫度幾乎保持絕dui穩(wěn)定，溫度水平均勻性小于 16mK/m，幾乎消除了因溫度變化對晶圓產(chǎn)生的熱應(yīng)力和尺寸誤差。在潔凈度方面，精密恒溫潔凈棚通過空氣過濾系統(tǒng)和氣流組織設(shè)計，實現(xiàn)了蕞高優(yōu)于 ISO class1 的潔凈度等級，遠(yuǎn)超普通潔凈室的標(biāo)準(zhǔn)。 除了高精度的溫度和潔凈度控制，極測精密恒溫潔凈棚還具備全場景非標(biāo)定制能力。根據(jù)不同客戶的需求和晶圓操作工藝的特點，可以靈活調(diào)整溫濕度穩(wěn)定性、潔凈度，以及抗微振、防磁、隔音等個性化參數(shù)。無論是高duan芯片制造企業(yè)，還是科研機(jī)構(gòu)的晶圓研發(fā)項目，都能在這里找到蕞適合的環(huán)境解決方案。精密恒溫潔凈棚現(xiàn)已服務(wù)多家芯片半導(dǎo)體前列企業(yè)與國家重點實驗室。擁有結(jié)合全場景非標(biāo)定制能力，可滿足用戶不同環(huán)境參數(shù)及使用需求，持續(xù)領(lǐng)跑超高精密環(huán)控技術(shù)革新。精密溫控非標(biāo)定制

極測精密溫控設(shè)備已成為半導(dǎo)體企業(yè)、典型通信設(shè)備商、顯示面板前列品牌及眾多重量級實驗室的合作伙伴。山西精密溫控廠家

這款高精密環(huán)控柜是我司單獨研發(fā)的精密環(huán)境控制設(shè)備，可達(dá)成ISOClass1-6級潔凈度，以及±0.1℃、±0.05℃、±0.01℃、±0.002℃等多級溫度波動控制精度。依托全場景非標(biāo)定制能力，能滿足用戶在溫濕度穩(wěn)定性、潔凈度、抗微振、防磁、隔音等多方面的個性化需求。設(shè)備具備運(yùn)行數(shù)據(jù)實時記錄與查詢功能，并配備自動安全防護(hù)系統(tǒng)，確保長期穩(wěn)定運(yùn)行。其構(gòu)成包括主柜體、控制系統(tǒng)、氣流循環(huán)系統(tǒng)、潔凈過濾器、制冷（熱）系統(tǒng)、照明系統(tǒng)及局部氣浴等，專為光刻機(jī)、激光干涉儀等精密測量與制造設(shè)備，提供超高精度的溫濕度及潔凈度工作環(huán)境。該系統(tǒng)采用“外環(huán)境保障相對濕度、大環(huán)境穩(wěn)定絕dui含濕量”的邏輯，通過精zhun控溫實現(xiàn)倉內(nèi)濕度達(dá)標(biāo)。為滿足嚴(yán)苛要求，采用大風(fēng)量小溫差設(shè)計，快速循環(huán)過濾空氣并帶走余熱，使關(guān)鍵區(qū)域溫度波動低至±0.002℃；同時通過多級控溫（表冷盤降溫+多級電加熱升溫），將精度從±0.1℃逐步提升至±0.002℃。山西精密溫控廠家