打造高“溫度精度”,避免熱致誤差溫度是影響測(cè)量精度的首要因素。極測(cè)精密環(huán)控柜采用自主研發(fā)的高精度制冷/加熱控制系統(tǒng),能夠?qū)崿F(xiàn)高溫度精度和穩(wěn)定性。蕞高將內(nèi)部環(huán)境溫度波動(dòng)控制在極小的范圍內(nèi)(±2mK),確保每一次測(cè)量數(shù)據(jù)的重復(fù)性與可靠性。超凈空間,避免微粒污染除了溫控精度,潔凈度同樣至關(guān)重要。懸浮微粒一旦沉積在晶圓或設(shè)備光學(xué)鏡頭上,將造成缺陷或信號(hào)干擾。極測(cè)環(huán)控柜內(nèi)部可維持蕞高ISO1級(jí)的超高潔凈環(huán)境,有效隔絕灰塵、顆粒物等污染物,為半導(dǎo)體量測(cè)設(shè)備提供干凈的環(huán)境,保護(hù)昂貴的光學(xué)組件和敏感樣品。智能集成,一站式環(huán)境配套我們的解決方案集成了精密溫控、潔凈控制、濕度控制(蕞高±0.3%RH)、及抗微振功能的綜合環(huán)境配套系統(tǒng)。支持根據(jù)您設(shè)備的特定型號(hào)和工藝要求進(jìn)行非標(biāo)定制,匹配不同半導(dǎo)體量測(cè)設(shè)備的精密需求。設(shè)備智能管理系統(tǒng)提供7x24小時(shí)實(shí)時(shí)數(shù)據(jù)監(jiān)控與記錄,所有環(huán)境參數(shù)一目了然,數(shù)據(jù)可追溯,為質(zhì)量分析和故障排查提供堅(jiān)實(shí)依據(jù)。極測(cè)(南京)精密環(huán)控柜滿(mǎn)足用戶(hù)不同溫濕度穩(wěn)定性、潔凈度,氣壓穩(wěn)定性、抗微振、防磁、隔音等個(gè)性化需求。鍵合設(shè)備精密溫控房

在光學(xué)領(lǐng)域,干涉儀扮演著無(wú)可替代的 “基準(zhǔn)量具” 角色。其測(cè)量精度直接受到工作環(huán)境的影響,包括溫度、濕度、氣壓波動(dòng)等影響因素,尤其是溫度控制的細(xì)微偏差,都可能成為測(cè)量結(jié)果失準(zhǔn)的 “系統(tǒng)性誤差源”。極測(cè)(南京)自研生產(chǎn)的精密環(huán)控系統(tǒng),為干涉儀打造穩(wěn)定的外部運(yùn)行環(huán)境,包括精密溫度控制,以及濕度穩(wěn)定性,氣壓穩(wěn)定性,噪聲等。同時(shí)針對(duì)內(nèi)部腔體區(qū)域采用局部氣浴的模式,保證內(nèi)部檢測(cè)腔環(huán)境的穩(wěn)定性,是許多半導(dǎo)體企業(yè)的選擇。湖北精密溫控配套極測(cè)(南京)技術(shù)有限公司,作為成熟的高精密環(huán)境控制設(shè)備制造商,專(zhuān)注于高精密事業(yè)創(chuàng)新與發(fā)展。

極測(cè)設(shè)備的智能化設(shè)計(jì)為干涉儀的穩(wěn)定運(yùn)行增添強(qiáng)力保障:數(shù)據(jù)全流程可溯:實(shí)時(shí)記錄并圖形化顯示溫度、濕度等關(guān)鍵環(huán)境參數(shù)變化曲線(xiàn),數(shù)據(jù)自動(dòng)存儲(chǔ)并支持表格導(dǎo)出。設(shè)備運(yùn)行狀態(tài)、故障事件完整記錄,為科研數(shù)據(jù)的溯源分析、生產(chǎn)質(zhì)量管理提供堅(jiān)實(shí)、透明的依據(jù)。智能閉環(huán)監(jiān)控:內(nèi)置自動(dòng)安全保護(hù)系統(tǒng),異常情況即時(shí)響應(yīng),故障自動(dòng)處理機(jī)制確保設(shè)備 7x24 小時(shí)無(wú)憂(yōu)運(yùn)行。遠(yuǎn)程協(xié)助功能極大縮短故障排除時(shí)間,蕞大限度保障干涉儀測(cè)量工作的連續(xù)性。
匠心靈活設(shè)計(jì):按需定制無(wú)懼干擾靈活部署:采用可拆卸鋁合金框架結(jié)構(gòu),大型設(shè)備現(xiàn)場(chǎng)輕松組裝,大幅節(jié)省安裝成本和時(shí)間。堅(jiān)固美觀(guān):高質(zhì)量鈑金箱體堅(jiān)固耐用,外觀(guān)顏色可按需定制,完美融入現(xiàn)代化實(shí)驗(yàn)室環(huán)境。靜謐運(yùn)行:應(yīng)用 EC 風(fēng)機(jī)與高效隔音材料,運(yùn)行噪音低于 45dB,營(yíng)造安靜專(zhuān)注的工作氛圍,避免噪音對(duì)精密操作和干涉儀調(diào)試產(chǎn)生干擾。
在實(shí)際應(yīng)用中,極測(cè)的溫控設(shè)備已經(jīng)在眾多半導(dǎo)體制造企業(yè)中發(fā)揮了重要作用。某有名芯片制造企業(yè)在引入極測(cè)的溫控設(shè)備后,光刻工藝的精度得到了明顯提升。由于溫度控制更加精zhun,芯片上的電路圖案更加清晰、準(zhǔn)確,有效減少了因溫度問(wèn)題導(dǎo)致的圖案偏差和缺陷,產(chǎn)品良率大幅提高?,F(xiàn)已服務(wù)多家芯片半導(dǎo)體前列企業(yè)與國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室。 同時(shí)極測(cè)(南京)具備全場(chǎng)景非標(biāo)定制能力??筛鶕?jù)不同客戶(hù)的需求根據(jù)溫濕度穩(wěn)定性、潔凈度,以及抗微振、防磁、隔音等個(gè)性化參數(shù),進(jìn)行靈活定制。極測(cè)(南京)研發(fā)及設(shè)計(jì)團(tuán)隊(duì),涵蓋了產(chǎn)品經(jīng)理、結(jié)構(gòu)工程師、暖通、電氣自控等各類(lèi)專(zhuān)業(yè)人才。

極測(cè)(南京)高精密水冷冷凍水機(jī)組的 “數(shù)字引擎”P(pán)T100 溫度傳感器與PID 控制算法形成基礎(chǔ)控溫鏈路,控溫精度達(dá) ±0.1℃~±0.01℃;高精密逐級(jí)控溫專(zhuān)利設(shè)計(jì)(如分級(jí)制冷回路)進(jìn)一步細(xì)化控制層級(jí),部分機(jī)型引入自適應(yīng)模糊控制算法,在激光加工、醫(yī)療設(shè)備等復(fù)雜場(chǎng)景中,將精密水冷冷凍水機(jī)組的控溫精度提升至±0.001℃(毫 K 級(jí))。
精密水冷冷凍水機(jī)組采用板式換熱器,其微通道結(jié)構(gòu)與波紋板片設(shè)計(jì)使傳熱系數(shù)提升 20%~40%,同時(shí)具備體積緊湊、易維護(hù)等優(yōu)勢(shì);不銹鋼 / 銅材質(zhì)增強(qiáng)耐腐蝕性,適配半導(dǎo)體、醫(yī)療等行業(yè)對(duì)水質(zhì)與潔凈度的高要求;環(huán)保冷媒 R410A 的應(yīng)用,更契合全球綠色制造趨勢(shì)。
一般來(lái)說(shuō),潔凈室的潔凈度要達(dá)到Class 1到Class 100的標(biāo)準(zhǔn)。電子元器件精密溫控非標(biāo)定制
擁有結(jié)合全場(chǎng)景非標(biāo)定制能力,可滿(mǎn)足用戶(hù)不同環(huán)境參數(shù)及使用需求.鍵合設(shè)備精密溫控房
在半導(dǎo)體制造的精密領(lǐng)域,每一個(gè)細(xì)微的溫度變化,都可能對(duì)芯片的性能產(chǎn)生重大影響。南京拓展科技旗下企業(yè),極測(cè)(南京)作為專(zhuān)業(yè)的精密溫控設(shè)備供應(yīng)商,其對(duì)環(huán)境溫度控制精度可達(dá) ±0.002℃,潔凈度可達(dá)一級(jí)(優(yōu)于ISO class1),這一數(shù)據(jù)在行業(yè)內(nèi)處于前列水平,為更高精度的芯片半導(dǎo)體制造提供了可靠的環(huán)境保障。 極測(cè)(南京)投入大量資源進(jìn)行技術(shù)研發(fā),致力于為半導(dǎo)體制造提供高精度、高穩(wěn)定性的溫控設(shè)備。以其成熟的技術(shù)和創(chuàng)新的解決方案,為半導(dǎo)體制造精度構(gòu)筑起一道堅(jiān)實(shí)的防線(xiàn)。鍵合設(shè)備精密溫控房