局部氣浴精密溫控棚

在半導體制造領域，每一納米的變化都可能直接影響芯片的性能與良率。作為高精度檢測的關鍵環(huán)節(jié)，半導體量測設備（如電子顯微鏡、膜厚測量儀、OCD量測等）自身對運行環(huán)境的要求也極為苛刻。環(huán)境的細微波動，都會引入測量誤差。 除整體環(huán)境外，半導體量測設備通常配備高精度光學成像器件（廣義上的“照相機”），其中光源，電子控制單元，運動部件等都有可能產生局部發(fā)熱源，蕞終影響環(huán)境的穩(wěn)定性，以及晶圓表面溫度穩(wěn)定性。極測（南京）技術有限公司深刻理解這一需求，憑借在微環(huán)境控制領域的深厚技術積累，專為高duan半導體量測設備設計精密環(huán)控系統(tǒng)，做好設備配套。系統(tǒng)由設備主柜體（設備維護結構模塊）、潔凈過濾系統(tǒng)、局部氣浴、控制系統(tǒng)、氣流循環(huán)系統(tǒng)、制冷(熱)系統(tǒng)等組成。通過整體環(huán)境溫度的精密調控，以及針對局部發(fā)熱點進行局部氣浴，配套控制潔凈度及減振處理等，為半導體檢測設備打造精密穩(wěn)定，恒溫潔凈的運行環(huán)境。潔凈室內的溫度波動可能會導致晶圓材料的物理性質發(fā)生變化，影響生產精度。局部氣浴精密溫控棚

在眾多精密環(huán)控設備供應商中，極測（南京）技術有限公司值得關注。作為南京拓展科技旗下企業(yè)，極測（南京）憑借深厚的技術沉淀與持續(xù)的創(chuàng)新熱忱，在行業(yè)內嶄露頭角。該公司擁有結合全場景非標定制能力，可滿足用戶不同環(huán)境參數(shù)及使用需求，涵蓋溫濕度穩(wěn)定性、潔凈度，抗微振、防磁、隔音等個性化需求。其研發(fā)的精密環(huán)控柜蕞高可實現(xiàn)±0.002℃高精密溫度控制，以及潔凈度十級的潔凈環(huán)境，已成功為光刻機、激光干涉儀等精密儀器提供穩(wěn)定工作環(huán)境，服務了多家全球半導體、通信設備、顯示面板企業(yè)與國家重點實驗室。 江西芯片精密溫控極測（南京）精密環(huán)控柜滿足用戶不同溫濕度穩(wěn)定性、潔凈度，氣壓穩(wěn)定性、抗微振、防磁、隔音等個性化需求。

超高潔凈環(huán)境保障：系統(tǒng)可實現(xiàn)蕞高ISO Class 1級的潔凈環(huán)境（每立方米≥0.1μm顆粒物≤10個），這一潔凈級別極大降低了因顆粒物導致的鍵合缺陷風險。
濕度與壓力協(xié)同控制：除了溫控精度與潔凈度，系統(tǒng)蕞高能將濕度穩(wěn)定性維持在±0.3%RH，壓力波動控制在±3Pa以內。這種多參數(shù)協(xié)同控制能力，為鍵合工藝提供了全方wei、全時段的穩(wěn)定環(huán)境保障。

極測（南京）技術有限公司采用相對濕度由外環(huán)境保證，大環(huán)境控制空氣中的絕dui含濕量保持穩(wěn)定，以實現(xiàn)環(huán)境倉內部濕度穩(wěn)定性。其超精密環(huán)控艙內部構造先進，包括分區(qū)送風靜壓腔、分區(qū)回風流道、毫 K 級測溫采集模組 + 1/10Bpt100 矩陣式分布、中低頻吸 / 阻靜音設計方案等。自研高精密溫控技術，冷凍水的出水溫度蕞高精度可達 ±0.002℃。
在溫度控制方面，采用大風量小溫差的設計思想，通過快速循環(huán)空氣過濾并帶走熱量，使溫度波動處于極低數(shù)值，關鍵區(qū)域可達 ±0.002℃。同時采用多級控溫，將溫度精度逐步提升。針對光路部分設計密閉防護罩，表面開孔可有效降低發(fā)熱區(qū)域溫度，控制風速。對于局部發(fā)熱區(qū)域，采用局部氣浴進行溫度控制，確保該區(qū)域溫度在一定范圍內，且 30s 內的溫度變化率不超過 0.03℃。
精密環(huán)控系統(tǒng)安裝后，精度顯著提高。溫度穩(wěn)定性從 ±2℃提升至 ±0.004℃，濕度穩(wěn)定性從 ±10% RH 提升至 ±0.8% RH，潔凈度從 100 級提升至 10 級，噪音值從 70dB 降低至 55dB，測量誤差從 400 降低至 4。
光學儀器行業(yè)通常要求相對濕度控制在40~60%RH之間，某些情況下可能要求更嚴格的范圍，如45~55%RH。

在實際應用中，極測的溫控設備已經在眾多半導體制造企業(yè)中發(fā)揮了重要作用。某有名芯片制造企業(yè)在引入極測的溫控設備后，光刻工藝的精度得到了明顯提升。由于溫度控制更加精zhun，芯片上的電路圖案更加清晰、準確，有效減少了因溫度問題導致的圖案偏差和缺陷，產品良率大幅提高?，F(xiàn)已服務多家芯片半導體前列企業(yè)與國家重點實驗室。 同時極測（南京）具備全場景非標定制能力?？筛鶕煌蛻舻男枨蟾鶕貪穸确€(wěn)定性、潔凈度，以及抗微振、防磁、隔音等個性化參數(shù)，進行靈活定制。控溫精度：提供業(yè)界前列的 ±0.002℃高精密溫度控制能力，溫度水平均勻性嚴格控制在 <16mK/m 范圍內。山西精密溫控單元

極測（南京）擁有自己的工廠，能夠有效地將研發(fā)成果轉化為實際產品。局部氣浴精密溫控棚

極測（南京）高精密水冷冷凍水機組的 “數(shù)字引擎”PT100 溫度傳感器與PID 控制算法形成基礎控溫鏈路，控溫精度達 ±0.1℃~±0.01℃；高精密逐級控溫專利設計（如分級制冷回路）進一步細化控制層級，部分機型引入自適應模糊控制算法，在激光加工、醫(yī)療設備等復雜場景中，將精密水冷冷凍水機組的控溫精度提升至±0.001℃（毫 K 級）。
精密水冷冷凍水機組采用板式換熱器，其微通道結構與波紋板片設計使傳熱系數(shù)提升 20%~40%，同時具備體積緊湊、易維護等優(yōu)勢；不銹鋼 / 銅材質增強耐腐蝕性，適配半導體、醫(yī)療等行業(yè)對水質與潔凈度的高要求；環(huán)保冷媒 R410A 的應用，更契合全球綠色制造趨勢。
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