北京三坐標測量儀精密溫控

這款高精密環(huán)控柜是我司單獨研發(fā)的精密環(huán)境控制設(shè)備，可達成ISOClass1-6級潔凈度，以及±0.1℃、±0.05℃、±0.01℃、±0.002℃等多級溫度波動控制精度。依托全場景非標定制能力，能滿足用戶在溫濕度穩(wěn)定性、潔凈度、抗微振、防磁、隔音等多方面的個性化需求。設(shè)備具備運行數(shù)據(jù)實時記錄與查詢功能，并配備自動安全防護系統(tǒng)，確保長期穩(wěn)定運行。其構(gòu)成包括主柜體、控制系統(tǒng)、氣流循環(huán)系統(tǒng)、潔凈過濾器、制冷（熱）系統(tǒng)、照明系統(tǒng)及局部氣浴等，專為光刻機、激光干涉儀等精密測量與制造設(shè)備，提供超高精度的溫濕度及潔凈度工作環(huán)境。該系統(tǒng)采用“外環(huán)境保障相對濕度、大環(huán)境穩(wěn)定絕dui含濕量”的邏輯，通過精zhun控溫實現(xiàn)倉內(nèi)濕度達標。為滿足嚴苛要求，采用大風量小溫差設(shè)計，快速循環(huán)過濾空氣并帶走余熱，使關(guān)鍵區(qū)域溫度波動低至±0.002℃；同時通過多級控溫（表冷盤降溫+多級電加熱升溫），將精度從±0.1℃逐步提升至±0.002℃。極測（南京）專注于研發(fā)、生產(chǎn)和銷售高端定制化精密環(huán)控系統(tǒng)，目前已擁有結(jié)合全場景非標定制能力。北京三坐標測量儀精密溫控

高精密環(huán)境控制設(shè)備是一款自主研發(fā)的精密環(huán)境控制產(chǎn)品，主要由設(shè)備主柜體、控制系統(tǒng)、氣流循環(huán)系統(tǒng)、潔凈過濾器、制冷(熱)系統(tǒng)、照明系統(tǒng)、局部氣浴等組成，為光刻機、激光干涉儀等精密測量、精密制造設(shè)備提供招高精度溫濕度、潔凈度的工作環(huán)境。該設(shè)備內(nèi)部通過風機引導氣流以一定的方向循環(huán)，控制系統(tǒng)對循環(huán)氣流的每個環(huán)節(jié)進行處理，從而使柜內(nèi)的溫濕度達到超高的控制精度。溫度穩(wěn)定性蕞高可達±0.002°C，濕度穩(wěn)定性蕞高可達±0.3%RH，潔凈等級蕞高可實現(xiàn) ISO class 1級。天津0.01精密溫控通過整體環(huán)境溫度的精密調(diào)控，以及針對局部發(fā)熱點進行局部氣浴，配套控制潔凈度及減振處理等。

高精密環(huán)控柜由我司自主研發(fā)，是一款精密環(huán)境控制產(chǎn)品，可實現(xiàn)ISOClass1-6級潔凈度，以及±0.1℃、±0.05℃、±0.01℃、±0.002℃等不同精度的溫度波動控制。擁有全場景非標定制能力，能針對用戶的個性化需求（如溫濕度穩(wěn)定性、潔凈度、抗微振、防磁、隔音等）提供解決方案。設(shè)備運行數(shù)據(jù)實時記錄查詢，且配備自動安全保護系統(tǒng)，確保長時間運行無憂。其構(gòu)成部分包括設(shè)備主柜體、控制系統(tǒng)、氣流循環(huán)系統(tǒng)、潔凈過濾器、制冷（熱）系統(tǒng)、照明系統(tǒng)、局部氣浴等，主要為光刻機、激光干涉儀等精密測量與制造設(shè)備，提供超高精度的溫濕度及潔凈度工作環(huán)境。濕度控制采用 “外環(huán)境保證相對濕度、大環(huán)境穩(wěn)定絕dui含濕量” 的方式，通過精確控溫實現(xiàn)環(huán)境倉內(nèi)部濕度穩(wěn)定。為達成溫濕度及潔凈度要求，采用大風量小溫差設(shè)計，通過空氣快速循環(huán)過濾帶走余熱，使溫度波動保持在極低數(shù)值（關(guān)鍵區(qū)域 ±0.002℃）；并通過多級控溫（先經(jīng)表冷盤降溫，再由多級電加熱逐步升溫），將溫度精度從 ±0.1℃升級至 ±0.002℃。

極測的精密溫控箱罩專為滿足三坐標測量儀等精密設(shè)備的嚴苛環(huán)境需求而設(shè)計。其具備的 ±0.002℃高精密溫度控制能力，猶如為三坐標測量儀構(gòu)建了一個恒溫 “堡壘”。精密溫控箱罩運用自主研發(fā)的高精密控溫技術(shù)，確保精密溫控箱罩內(nèi)部溫度穩(wěn)定性關(guān)鍵區(qū)域可達 +/-2mK（靜態(tài)），溫度水平均勻性小于 16mK/m。保證測量儀在長時間運行過程中始終保持穩(wěn)定的測量精度，實現(xiàn)0.1% 的控制輸出精度。除了溫度控制，精密溫控箱罩在濕度和潔凈度方面同樣表現(xiàn)。精密溫控箱罩內(nèi)部濕度穩(wěn)定性可達 ±0.5%@8h，避免了因濕度問題導致的測量儀零部件生銹、電子元件短路等故障，延長了設(shè)備使用壽命。同時，該系統(tǒng)可實現(xiàn)百級以上潔凈度控制，內(nèi)部潔凈度蕞高可優(yōu)于 ISO class3（設(shè)備工作區(qū)），有效防止灰塵等微小顆粒附著在測量儀的光學部件或被測工件表面，避免對測量精度造成干擾。潔凈室內(nèi)的溫度波動可能會導致晶圓材料的物理性質(zhì)發(fā)生變化，影響生產(chǎn)精度。

極測精密恒溫潔凈棚還配備了智能運維系統(tǒng)。運行中的溫度、濕度等關(guān)鍵數(shù)據(jù)自動生成曲線，操作人員可以直觀地掌握環(huán)境變化情況；數(shù)據(jù)自動保存且可隨時導出，運行狀態(tài)與故障狀態(tài)同步記錄，方便進行數(shù)據(jù)分析、質(zhì)量追溯與故障排查。自動安全保護系統(tǒng)更是為設(shè)備的穩(wěn)定運行提供了全天候保障，一旦出現(xiàn)異常，系統(tǒng)將立即啟動保護機制，減少因故障導致的測量中斷和晶圓報廢。 極測先進的環(huán)境控制技術(shù)，為晶圓操作空間樹立了新的行業(yè)標準。精密恒溫潔凈棚不僅解決了半導體制造中環(huán)境控制的難題，更為芯片的高精度制造和研發(fā)提供了堅實的保障。隨著半導體技術(shù)的不斷發(fā)展，對晶圓操作環(huán)境的要求也將越來越高，而極測精密恒溫潔凈棚，必將在未來的產(chǎn)業(yè)發(fā)展中發(fā)揮更加重要的作用，助力我國半導體產(chǎn)業(yè)邁向新的高度。智能閉環(huán)監(jiān)控：內(nèi)置自動安全保護系統(tǒng)，異常情況即時響應(yīng)，故障自動處理機制確保設(shè)備 7x24 小時無憂運行。北京三坐標測量儀精密溫控

極測（南京）的售后服務(wù)團隊，以高效、專業(yè)的服務(wù)，確保您的設(shè)備始終處于優(yōu)良狀態(tài)。北京三坐標測量儀精密溫控

高精密冷凍水機組是一種專為工業(yè)及特殊環(huán)境設(shè)計的制冷設(shè)備，通過精確的溫度控制和高效制冷循環(huán)，為高精度制造、數(shù)據(jù)中心、醫(yī)藥生產(chǎn)等領(lǐng)域提供穩(wěn)定可靠的冷卻解決方案。其關(guān)鍵特點在于高能效、低波動性及智能化控制，滿足嚴苛的溫控需求。極測（南京）技術(shù)有限公司采??研溫控技術(shù)，高精密冷凍水機組冷凍?的出?溫度蕞?精度可達±0.002℃。高精密冷凍水機組采用國際有名品牌壓縮機，配套高質(zhì)量高效能銅管制作的板式換熱器及有名品牌電氣元器件。使機組具有精度高、體積小、噪音低、壽命長、操作簡便、高效節(jié)能等優(yōu)點。高精密冷凍水機組采用自主研發(fā)高精度溫度采集模塊，準確測量實驗艙內(nèi)實時的溫濕度數(shù)值并傳輸給控制器，冷凍水閥無級調(diào)節(jié)、無級調(diào)節(jié)電加熱器、模擬量控制加濕器可根據(jù)實際實驗艙需求調(diào)節(jié)輸出功率。專為高精度恒溫恒濕控制設(shè)計的PID算法，在運行過程中進行比例、積分、微分的計算并輸出控制，使實驗室內(nèi)溫度濕度處于穩(wěn)定狀態(tài)，絕dui焓濕量的控制策略，使控制實驗艙內(nèi)濕度控制快速準確，沒有誤操作誤判斷。北京三坐標測量儀精密溫控