河北干涉儀精密溫控

在實際應(yīng)用中，極測的溫控設(shè)備已經(jīng)在眾多半導(dǎo)體制造企業(yè)中發(fā)揮了重要作用。某有名芯片制造企業(yè)在引入極測的溫控設(shè)備后，光刻工藝的精度得到了明顯提升。由于溫度控制更加精zhun，芯片上的電路圖案更加清晰、準(zhǔn)確，有效減少了因溫度問題導(dǎo)致的圖案偏差和缺陷，產(chǎn)品良率大幅提高。現(xiàn)已服務(wù)多家芯片半導(dǎo)體前列企業(yè)與國家重點實驗室。 同時極測（南京）具備全場景非標(biāo)定制能力?？筛鶕?jù)不同客戶的需求根據(jù)溫濕度穩(wěn)定性、潔凈度，以及抗微振、防磁、隔音等個性化參數(shù)，進(jìn)行靈活定制。極測精密溫控設(shè)備已成為半導(dǎo)體企業(yè)、典型通信設(shè)備商、顯示面板前列品牌及眾多重量級實驗室的合作伙伴。河北干涉儀精密溫控

作為南京拓展科技旗下專注于微環(huán)境控制技術(shù)的關(guān)鍵企業(yè)，極測（南京）技術(shù)有限公司打造的超精密儀器室，通過集成自主研發(fā)的高精密微環(huán)境控制系統(tǒng)，為光刻機、立式干涉儀等精密儀器構(gòu)建了溫度波動極小、潔凈度極高（潔凈恒溫）的理想工作環(huán)境，精密儀器室成為支撐高精度測量與科研生產(chǎn)的關(guān)鍵基礎(chǔ)設(shè)施。
納米級溫控，超高精度溫度波動極測運用自主研發(fā)的高精密控溫技術(shù)，控制輸出精度達(dá) 0.1%，使得環(huán)境內(nèi)部溫度穩(wěn)定性關(guān)鍵區(qū)域可達(dá) +/-2mK（靜態(tài)），溫度水平均勻性小于 16mK/m。實現(xiàn)±0.002℃，±0.005℃，±0.05℃，±0.01℃，±0.1℃等不同等級精度的溫度控制。為精密儀器打造高精密恒溫穩(wěn)定操作環(huán)境。 蕞高ISO class1級潔凈，打造無塵空間精密儀器室系統(tǒng)可實現(xiàn)百級以上潔凈度控制，蕞高優(yōu)于 ISO class3（設(shè)備工作區(qū)），達(dá)到ISO class1，避免灰塵等污染物影響光線傳播。設(shè)備內(nèi)部濕度穩(wěn)定性可達(dá) ±0.5%@8h，有效防止因濕度變化引發(fā)的光學(xué)元件發(fā)霉、機械部件生銹等問題，延長精密儀器使用壽命。 全場景非標(biāo)定制，滿足多元化需求精密儀器室可根據(jù)用戶需求，滿足用戶不同的溫濕度穩(wěn)定性、潔凈度，以及抗微振、防磁、隔音等多樣化的個性要求，保證用戶的正常使用。
2mK精密溫控系統(tǒng)極測（南京）冷水機組冷凍水的出水溫度蕞高精度可達(dá)±0.002℃，配置過載保護(hù)、液位監(jiān)測、漏液檢測等功能。

精密環(huán)境受到多種因素的影響。溫度波動會導(dǎo)致儀器設(shè)備、被測樣品等產(chǎn)生形變，影響空氣對光的折射波動；濕度波動會影響空氣折射率，濕度過高還易造成電器故障；二氧化碳濃度、壓力梯度波動會影響空氣折射率；微振動會造成儀器設(shè)備等抖動，影響光路；電磁干擾、接地電阻過大會影響儀器設(shè)備正常工作。
極測（南京）技術(shù)有限公司針對不同環(huán)境控制需求，提供了完善的解決方案。普通環(huán)境控制需求溫度控制精度為 ±2℃，濕度控制精度為 ±5~15%，潔凈度等級為十萬級到百級，采用恒溫恒濕超凈間；精密環(huán)境控制需求溫度控制精度為 ±0.5~1℃，濕度控制精度為 ±2~5%，潔凈度等級為萬級到百級，采用精密恒溫恒濕超凈間；高精密環(huán)境控制需求溫度控制精度為 ±0.1~0.3℃，濕度控制精度為 ±2~5%，潔凈度等級為千級到百級，采用高精密恒溫恒濕超凈間；超精密環(huán)境控制需求溫度控制精度為 ±0.002~0.1℃，濕度控制精度為 ±1~5%，潔凈度等級為百級到十級，在高精密恒溫恒濕超凈間中搭建精密環(huán)控系統(tǒng)，同時氣流 / 風(fēng)速 / 壓差控制、CO?濃度調(diào)節(jié)、噪音控制、環(huán)境參數(shù)閉環(huán)控制。

干涉儀對精密微環(huán)境的嚴(yán)苛需求：干涉儀的納米級測量精度極易受環(huán)境干擾。其基于光的干涉原理工作，通過測量干涉條紋變化精確測定物體長度、角度、表面平整度等參數(shù)，精度可達(dá)納米級別。溫度波動引致光學(xué)元件熱變形，改變光路并偏移干涉條紋；塵埃與濕度波動則加速設(shè)備損耗，干涉儀精密微環(huán)境的穩(wěn)定性直接決定測量成敗。前列的精密溫控能力：干涉儀微環(huán)境穩(wěn)定關(guān)鍵極測精密溫控技術(shù)可實現(xiàn)內(nèi)部溫度穩(wěn)定性關(guān)鍵區(qū)域可達(dá) +/-2mK（靜態(tài)），溫度水平均勻性小于 16mK/m。這一精度確保了在立式干涉儀運行時，光學(xué)元件與機械結(jié)構(gòu)不受溫度波動干擾，始終維持在蕞佳工作狀態(tài)，為精Zhun測量提供穩(wěn)定基礎(chǔ)。百級潔凈+濕度協(xié)同打造干涉儀長效微環(huán)境系統(tǒng)通過極測精密微環(huán)境控制系統(tǒng)，實現(xiàn)濕度控制與百級以上潔凈，同步解決光學(xué)件霉變、金屬銹蝕及塵埃光路干擾問題，為干涉儀構(gòu)建多參數(shù)協(xié)同精密微環(huán)境。智能精密溫控：干涉儀微環(huán)境運維閉環(huán)實時監(jiān)控干涉儀微環(huán)境溫濕度等數(shù)據(jù)，自動生成運行趨勢曲線，支持故障追溯與質(zhì)量分析。智能防護(hù)模塊保障精密溫控設(shè)備24小時連續(xù)運行，避免測量中斷。機器設(shè)備運行、人員走動等因素也會產(chǎn)生微小振動，在半導(dǎo)體廠房的設(shè)計和施工過程中，需要充分考慮這些因素。

合理的箱體結(jié)構(gòu)有助于提升精密環(huán)控設(shè)備溫濕度的均勻性和控制效果，例如雙層保溫結(jié)構(gòu)、優(yōu)化風(fēng)道設(shè)計等，能增強精密環(huán)控設(shè)備的保溫性能和控制精度。精密環(huán)控設(shè)備的外殼和內(nèi)部材質(zhì)應(yīng)具備良好的耐磨性，部分還需要優(yōu)良的保溫性能，以延長精密環(huán)控設(shè)備的使用壽命。極測的精密環(huán)控柜采用合理的柜體結(jié)構(gòu)設(shè)計，主柜體為內(nèi)部精密組件提供穩(wěn)固物理空間，同時采用可拆卸鋁合金框架，方便大型設(shè)備在不同科研場所進(jìn)行現(xiàn)場組裝，其箱體采用的高質(zhì)量鈑金材質(zhì)堅固耐用。  極測（南京）研發(fā)及設(shè)計團(tuán)隊，涵蓋了產(chǎn)品經(jīng)理、結(jié)構(gòu)工程師、暖通、電氣自控等各類專業(yè)人才。河北干涉儀精密溫控

穩(wěn)定電子元件內(nèi)部結(jié)構(gòu)，應(yīng)用于超聲波清洗、真空鍍膜等場景，防止清洗劑揮發(fā)并保障鍍膜質(zhì)量。河北干涉儀精密溫控

若需要對溫濕度數(shù)據(jù)進(jìn)行長期監(jiān)測和分析，選擇具有數(shù)據(jù)記錄與存儲功能的精密環(huán)控設(shè)備很有必要，部分設(shè)備還可通過 USB、以太網(wǎng)等接口將數(shù)據(jù)傳輸?shù)接嬎銠C或云端。極測精密溫控設(shè)備具備強大的數(shù)據(jù)實時記錄查詢功能，實驗過程中的溫度、濕度等關(guān)鍵數(shù)據(jù)自動生成曲線，數(shù)據(jù)自動保存并支持隨時以表格形式導(dǎo)出，設(shè)備的運行狀態(tài)、故障狀態(tài)等信息也同步記錄，方便人員進(jìn)行全mian的數(shù)據(jù)追溯和深入分析。遠(yuǎn)程監(jiān)控與報警功能也很實用，通過手機、電腦等設(shè)備可隨時隨地監(jiān)控精密環(huán)控設(shè)備的運行狀態(tài)，當(dāng)溫濕度超出設(shè)定范圍或設(shè)備出現(xiàn)故障時，報警功能能及時通知用戶，便于及時處理。極測的設(shè)備一旦出現(xiàn)故障，實時聲光報警提醒并支持遠(yuǎn)程協(xié)助故障處理，蕞大程度減少設(shè)備故障對科研進(jìn)度或生產(chǎn)的影響。河北干涉儀精密溫控