遼寧精密溫控柜

濕度穩(wěn)定性：濕度過(guò)高可能導(dǎo)致光學(xué)鏡片表面結(jié)露、金屬部件銹蝕、光刻膠特性改變；濕度過(guò)低則容易產(chǎn)生靜電，吸附塵埃污染晶圓和設(shè)備。精確的濕度控制對(duì)確保工藝穩(wěn)定性和材料性能至關(guān)重要。3、chao低振動(dòng)：光刻機(jī)在曝光時(shí)需要極高的穩(wěn)定性。任何來(lái)自地面（交通、施工、人員走動(dòng)）、設(shè)備自身（空調(diào)、泵）或建筑物（風(fēng)載荷）的振動(dòng)，都會(huì)直接導(dǎo)致光學(xué)系統(tǒng)抖動(dòng)，使投影到硅片上的圖形模糊或位置偏移。因此，光刻機(jī)通常安裝在深達(dá)地下的單獨(dú)地基或高性能主動(dòng)/被動(dòng)隔震平臺(tái)上，甚至采用磁懸浮等技術(shù)進(jìn)行主動(dòng)減振。 控溫精度：提供業(yè)界前列的 ±0.002℃高精密溫度控制能力，溫度水平均勻性嚴(yán)格控制在 <16mK/m 范圍內(nèi)。遼寧精密溫控柜

極測(cè)（南京）微環(huán)境控制系統(tǒng)設(shè)備內(nèi)部濕度穩(wěn)定性可達(dá) ±0.5%@8h，有效防止因濕度變化引發(fā)的光學(xué)元件發(fā)霉、機(jī)械部件生銹等問(wèn)題，延長(zhǎng)立式干涉儀使用壽命。同時(shí)，系統(tǒng)可實(shí)現(xiàn)百級(jí)以上潔凈度控制，蕞高優(yōu)于 ISO class3（設(shè)備工作區(qū)），避免灰塵等污染物影響光線傳播與干涉條紋，為干涉儀營(yíng)造超凈工作空間。 智能功能助力運(yùn)維極測(cè)微環(huán)境控制系統(tǒng)具備強(qiáng)大的數(shù)據(jù)實(shí)時(shí)記錄查詢功能。運(yùn)行中的溫度、濕度等關(guān)鍵數(shù)據(jù)自動(dòng)生成曲線，便于操作人員直觀掌握環(huán)境變化。微環(huán)境控制系統(tǒng)數(shù)據(jù)自動(dòng)保存且可隨時(shí)導(dǎo)出，運(yùn)行狀態(tài)與故障狀態(tài)同步記錄，方便進(jìn)行數(shù)據(jù)分析、質(zhì)量追溯與故障排查。此外，自動(dòng)安全保護(hù)系統(tǒng)可實(shí)現(xiàn)故障自動(dòng)保護(hù)，確保設(shè)備全天候穩(wěn)定運(yùn)行，減少因故障導(dǎo)致的測(cè)量中斷。四川半導(dǎo)體量測(cè)精密溫控例如，光刻工藝中，微小的溫度波動(dòng)會(huì)導(dǎo)致曝光位置的漂移，進(jìn)而影響線路的精確度。

極測(cè)（南京）致力于為全球高精密需求用戶打造超精密穩(wěn)定的研發(fā)與生產(chǎn)環(huán)境，專注于研發(fā)、生產(chǎn)和銷售高端定制化精密環(huán)控系統(tǒng)，目前已擁有結(jié)合全場(chǎng)景非標(biāo)定制能力，滿足用戶不同溫濕度穩(wěn)定性、潔凈度，氣壓穩(wěn)定性、抗微振、防磁、隔音等個(gè)性化需求?？茖W(xué)技術(shù)成果認(rèn)定為國(guó)際先進(jìn)水平。服務(wù)行業(yè)覆蓋：半導(dǎo)體芯片、精密光學(xué)、精密測(cè)量、新能源、航空航天、通信技術(shù)等行業(yè)。極測(cè)在新技術(shù)浪潮中奮力向前，攀登環(huán)境控制新高度！為用戶提供精zhun、穩(wěn)定、可靠的高精密環(huán)境！

高精密環(huán)控柜由我司自主研發(fā)，是一款精密環(huán)境控制產(chǎn)品，可實(shí)現(xiàn)ISOClass1-6級(jí)潔凈度，以及±0.1℃、±0.05℃、±0.01℃、±0.002℃等不同精度的溫度波動(dòng)控制。擁有全場(chǎng)景非標(biāo)定制能力，能針對(duì)用戶的個(gè)性化需求（如溫濕度穩(wěn)定性、潔凈度、抗微振、防磁、隔音等）提供解決方案。設(shè)備運(yùn)行數(shù)據(jù)實(shí)時(shí)記錄查詢，且配備自動(dòng)安全保護(hù)系統(tǒng)，確保長(zhǎng)時(shí)間運(yùn)行無(wú)憂。其構(gòu)成部分包括設(shè)備主柜體、控制系統(tǒng)、氣流循環(huán)系統(tǒng)、潔凈過(guò)濾器、制冷（熱）系統(tǒng)、照明系統(tǒng)、局部氣浴等，主要為光刻機(jī)、激光干涉儀等精密測(cè)量與制造設(shè)備，提供超高精度的溫濕度及潔凈度工作環(huán)境。濕度控制采用 “外環(huán)境保證相對(duì)濕度、大環(huán)境穩(wěn)定絕dui含濕量” 的方式，通過(guò)精確控溫實(shí)現(xiàn)環(huán)境倉(cāng)內(nèi)部濕度穩(wěn)定。為達(dá)成溫濕度及潔凈度要求，采用大風(fēng)量小溫差設(shè)計(jì)，通過(guò)空氣快速循環(huán)過(guò)濾帶走余熱，使溫度波動(dòng)保持在極低數(shù)值（關(guān)鍵區(qū)域 ±0.002℃）；并通過(guò)多級(jí)控溫（先經(jīng)表冷盤降溫，再由多級(jí)電加熱逐步升溫），將溫度精度從 ±0.1℃升級(jí)至 ±0.002℃。擁有結(jié)合全場(chǎng)景非標(biāo)定制能力，可滿足用戶不同環(huán)境參數(shù)及使用需求.

極測(cè)（南京）高精密水冷冷凍水機(jī)組的 “數(shù)字引擎”PT100 溫度傳感器與PID 控制算法形成基礎(chǔ)控溫鏈路，控溫精度達(dá) ±0.1℃~±0.01℃；高精密逐級(jí)控溫專利設(shè)計(jì)（如分級(jí)制冷回路）進(jìn)一步細(xì)化控制層級(jí)，部分機(jī)型引入自適應(yīng)模糊控制算法，在激光加工、醫(yī)療設(shè)備等復(fù)雜場(chǎng)景中，將精密水冷冷凍水機(jī)組的控溫精度提升至±0.001℃（毫 K 級(jí)）。
精密水冷冷凍水機(jī)組采用板式換熱器，其微通道結(jié)構(gòu)與波紋板片設(shè)計(jì)使傳熱系數(shù)提升 20%~40%，同時(shí)具備體積緊湊、易維護(hù)等優(yōu)勢(shì)；不銹鋼 / 銅材質(zhì)增強(qiáng)耐腐蝕性，適配半導(dǎo)體、醫(yī)療等行業(yè)對(duì)水質(zhì)與潔凈度的高要求；環(huán)保冷媒 R410A 的應(yīng)用，更契合全球綠色制造趨勢(shì)。
極測(cè)（南京）高精密水冷冷凍水機(jī)組采用自主研發(fā)高精度溫度采集模塊，準(zhǔn)確測(cè)量實(shí)驗(yàn)艙內(nèi)實(shí)時(shí)的溫濕度。膜厚測(cè)量?jī)x精密溫控設(shè)備智能化

極測(cè)（南京）致力于為芯片半導(dǎo)體、精密光學(xué)、科研研發(fā)等領(lǐng)域提供定制化的高精密環(huán)境解決方案。遼寧精密溫控柜

控溫精度：提供業(yè)界前列的 ±0.002℃高精密溫度控制能力，溫度水平均勻性嚴(yán)格控制在 <16mK/m 范圍內(nèi)，確保測(cè)量過(guò)程的穩(wěn)定性和 0.1% 的控制輸出精度。

濕度與潔凈協(xié)同保障：設(shè)備同時(shí)實(shí)現(xiàn) ±0.5%@8h 的高濕度穩(wěn)定性，杜絕因濕度問(wèn)題導(dǎo)致的零部件腐蝕和鏡片結(jié)霧風(fēng)險(xiǎn)。潔凈度控制可達(dá)百級(jí)以上，關(guān)鍵工作區(qū)蕞高優(yōu)于 ISO class3 標(biāo)準(zhǔn)，嚴(yán)防塵埃顆粒干擾精密光路。
全方wei環(huán)境定制：極測(cè)具備強(qiáng)大的全場(chǎng)景非標(biāo)定制能力，不僅能滿足嚴(yán)苛的溫濕度穩(wěn)定性需求，還能根據(jù)用戶具體場(chǎng)景定制抗微振、防磁、隔音等綜合環(huán)境參數(shù)，為干涉儀量身打造理想的工作空間。 遼寧精密溫控柜