在半導體制造的精密領(lǐng)域,每一個細微的溫度變化,都可能對芯片的性能產(chǎn)生重大影響。南京拓展科技旗下企業(yè),極測(南京)作為專業(yè)的精密溫控設(shè)備供應(yīng)商,其對環(huán)境溫度控制精度可達 ±0.002℃,潔凈度可達一級(優(yōu)于ISO class1),這一數(shù)據(jù)在行業(yè)內(nèi)處于前列水平,為更高精度的芯片半導體制造提供了可靠的環(huán)境保障。 極測(南京)投入大量資源進行技術(shù)研發(fā),致力于為半導體制造提供高精度、高穩(wěn)定性的溫控設(shè)備。以其成熟的技術(shù)和創(chuàng)新的解決方案,為半導體制造精度構(gòu)筑起一道堅實的防線。專為高精度恒溫恒濕控制設(shè)計的PID算法,使實驗室內(nèi)溫度濕度處于穩(wěn)定狀態(tài)。河北精密溫控公司

在半導體制造領(lǐng)域,每一納米的變化都可能直接影響芯片的性能與良率。作為高精度檢測的關(guān)鍵環(huán)節(jié),半導體量測設(shè)備(如電子顯微鏡、膜厚測量儀、OCD量測等)自身對運行環(huán)境的要求也極為苛刻。環(huán)境的細微波動,都會引入測量誤差。 除整體環(huán)境外,半導體量測設(shè)備通常配備高精度光學成像器件(廣義上的“照相機”),其中光源,電子控制單元,運動部件等都有可能產(chǎn)生局部發(fā)熱源,蕞終影響環(huán)境的穩(wěn)定性,以及晶圓表面溫度穩(wěn)定性。極測(南京)技術(shù)有限公司深刻理解這一需求,憑借在微環(huán)境控制領(lǐng)域的深厚技術(shù)積累,專為高duan半導體量測設(shè)備設(shè)計精密環(huán)控系統(tǒng),做好設(shè)備配套。系統(tǒng)由設(shè)備主柜體(設(shè)備維護結(jié)構(gòu)模塊)、潔凈過濾系統(tǒng)、局部氣浴、控制系統(tǒng)、氣流循環(huán)系統(tǒng)、制冷(熱)系統(tǒng)等組成。通過整體環(huán)境溫度的精密調(diào)控,以及針對局部發(fā)熱點進行局部氣浴,配套控制潔凈度及減振處理等,為半導體檢測設(shè)備打造精密穩(wěn)定,恒溫潔凈的運行環(huán)境。河北精密溫控公司擁有結(jié)合全場景非標定制能力,可滿足用戶不同環(huán)境參數(shù)及使用需求.

在中國,隨著制造業(yè)的快速發(fā)展和產(chǎn)業(yè)升級,半導體、航空航天、生物醫(yī)藥等領(lǐng)域?qū)Ω呔墉h(huán)境控制設(shè)備的需求急劇增長。據(jù)市場研究機構(gòu)QYResearch預測,全球高精密環(huán)境控制設(shè)備市場規(guī)模預計在未來五年內(nèi)將以年均超過8%的復合增長率增長,到2028年將達到數(shù)十億美元規(guī)模。在半導體領(lǐng)域,隨著工藝向更高精度邁進,2nm工藝要求溫度控制精度從±0.1℃提升至±2mK,全球晶圓廠每年在溫度控制設(shè)備上的投入超過50億美元;光電光學領(lǐng)域,高duan光學顯微鏡、量子光學實驗等對溫度控制精度要求極高;量子計算領(lǐng)域,量子比特對溫度極為敏感,高精密環(huán)控艙是必需設(shè)備,未來5年需求可能呈指數(shù)級增長。同時,各國產(chǎn)業(yè)政策也推動了高精密環(huán)境控制設(shè)備市場的發(fā)展。美國《芯片與科學法案》、歐盟“歐洲量子旗艦計劃”、中國《十四五集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展規(guī)劃》等政策的出臺,為行業(yè)發(fā)展提供了良好的政策環(huán)境和資金支持。
精密環(huán)境受到多種因素的影響。溫度波動會導致儀器設(shè)備、被測樣品等產(chǎn)生形變,影響空氣對光的折射波動;濕度波動會影響空氣折射率,濕度過高還易造成電器故障;二氧化碳濃度、壓力梯度波動會影響空氣折射率;微振動會造成儀器設(shè)備等抖動,影響光路;電磁干擾、接地電阻過大會影響儀器設(shè)備正常工作。
極測(南京)技術(shù)有限公司針對不同環(huán)境控制需求,提供了完善的解決方案。普通環(huán)境控制需求溫度控制精度為 ±2℃,濕度控制精度為 ±5~15%,潔凈度等級為十萬級到百級,采用恒溫恒濕超凈間;精密環(huán)境控制需求溫度控制精度為 ±0.5~1℃,濕度控制精度為 ±2~5%,潔凈度等級為萬級到百級,采用精密恒溫恒濕超凈間;高精密環(huán)境控制需求溫度控制精度為 ±0.1~0.3℃,濕度控制精度為 ±2~5%,潔凈度等級為千級到百級,采用高精密恒溫恒濕超凈間;超精密環(huán)境控制需求溫度控制精度為 ±0.002~0.1℃,濕度控制精度為 ±1~5%,潔凈度等級為百級到十級,在高精密恒溫恒濕超凈間中搭建精密環(huán)控系統(tǒng),同時氣流 / 風速 / 壓差控制、CO?濃度調(diào)節(jié)、噪音控制、環(huán)境參數(shù)閉環(huán)控制。
極測(南京)擁有自己的工廠,能夠有效地將研發(fā)成果轉(zhuǎn)化為實際產(chǎn)品。

極測(南京)致力于為全球高精密需求用戶打造超精密穩(wěn)定的研發(fā)與生產(chǎn)環(huán)境,專注于研發(fā)、生產(chǎn)和銷售高端定制化精密環(huán)控系統(tǒng),目前已擁有結(jié)合全場景非標定制能力,滿足用戶不同溫濕度穩(wěn)定性、潔凈度,氣壓穩(wěn)定性、抗微振、防磁、隔音等個性化需求??茖W技術(shù)成果認定為國際先進水平。服務(wù)行業(yè)覆蓋:半導體芯片、精密光學、精密測量、新能源、航空航天、通信技術(shù)等行業(yè)。極測在新技術(shù)浪潮中奮力向前,攀登環(huán)境控制新高度!為用戶提供精zhun、穩(wěn)定、可靠的高精密環(huán)境!靈活部署:采用可拆卸鋁合金框架結(jié)構(gòu),大型設(shè)備現(xiàn)場輕松組裝,大幅節(jié)省安裝成本和時間。湖南防磁精密溫控
除了溫控精度與潔凈度,系統(tǒng)蕞高能將濕度穩(wěn)定性維持在±0.3%RH,壓力波動控制在±3Pa以內(nèi)。河北精密溫控公司
高精密冷凍水機組是一種專為工業(yè)及特殊環(huán)境設(shè)計的制冷設(shè)備,通過精確的溫度控制和高效制冷循環(huán),為高精度制造、數(shù)據(jù)中心、醫(yī)藥生產(chǎn)等領(lǐng)域提供穩(wěn)定可靠的冷卻解決方案。其關(guān)鍵特點在于高能效、低波動性及智能化控制,滿足嚴苛的溫控需求。極測(南京)技術(shù)有限公司采??研溫控技術(shù),高精密冷凍水機組冷凍?的出?溫度蕞?精度可達±0.002℃。高精密冷凍水機組采用國際有名品牌壓縮機,配套高質(zhì)量高效能銅管制作的板式換熱器及有名品牌電氣元器件。使機組具有精度高、體積小、噪音低、壽命長、操作簡便、高效節(jié)能等優(yōu)點。高精密冷凍水機組采用自主研發(fā)高精度溫度采集模塊,準確測量實驗艙內(nèi)實時的溫濕度數(shù)值并傳輸給控制器,冷凍水閥無級調(diào)節(jié)、無級調(diào)節(jié)電加熱器、模擬量控制加濕器可根據(jù)實際實驗艙需求調(diào)節(jié)輸出功率。專為高精度恒溫恒濕控制設(shè)計的PID算法,在運行過程中進行比例、積分、微分的計算并輸出控制,使實驗室內(nèi)溫度濕度處于穩(wěn)定狀態(tài),絕dui焓濕量的控制策略,使控制實驗艙內(nèi)濕度控制快速準確,沒有誤操作誤判斷。河北精密溫控公司