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來源: 發(fā)布時(shí)間:2025-12-02

在半導(dǎo)體制造中,晶圓廠制程的任何微小變動(dòng),都可能引起良率與可靠性的風(fēng)險(xiǎn)。其中,一個(gè)尤為典型的系統(tǒng)性失效模式,便源于光刻環(huán)節(jié)的Reticle(光罩)。當(dāng)Reticle本身存在污染、劃傷或設(shè)計(jì)瑕疵時(shí),或當(dāng)光刻機(jī)在步進(jìn)重復(fù)曝光過程中出現(xiàn)參數(shù)漂移(如焦距不準(zhǔn)、曝光能量不均)時(shí)。這些因Reticle問題而產(chǎn)生的特定區(qū)域內(nèi)的芯片,實(shí)質(zhì)上構(gòu)成了一個(gè)高風(fēng)險(xiǎn)的“潛伏失效群體”。若不能在測試階段被精確識別并剔除,將直接流向客戶端,對產(chǎn)品的長期可靠性與品牌聲譽(yù)構(gòu)成嚴(yán)重威脅。識別并處理這類與Reticle強(qiáng)相關(guān)的潛在缺陷,是現(xiàn)代高可靠性質(zhì)量管理中一項(xiàng)極具挑戰(zhàn)性的關(guān)鍵任務(wù)。

上海偉諾信息科技有限公司在Mapping Over Ink功能中提供了一個(gè)Shot Mapping Ink方案,可以將整個(gè)Mapping按Reticle大小或是自定義大小的方格,根據(jù)設(shè)定的算法將整個(gè)Shot進(jìn)行Ink, 從而去除掉因光刻環(huán)節(jié)的Reticle引起的潛在性失效芯片。通過Shot Mapping Ink方案,用戶能夠?qū)①|(zhì)量管控的關(guān)口從“篩查單個(gè)失效芯片”前移至“攔截整個(gè)失效風(fēng)險(xiǎn)區(qū)域”。這尤其適用于對可靠性要求極嚴(yán)苛的車規(guī)、工規(guī)等產(chǎn)品,它能極大程度地降低因光刻制程偶發(fā)問題導(dǎo)致的批次性可靠性風(fēng)險(xiǎn),為客戶構(gòu)建起一道應(yīng)對系統(tǒng)性缺陷的堅(jiān)固防線。 Mapping Over Ink處理技術(shù)適用于消費(fèi)類至車規(guī)級全品類芯片,覆蓋廣泛應(yīng)用場景。新疆可視化GDBC平臺

新疆可視化GDBC平臺,MappingOverInk處理

面對國產(chǎn)替代需求,選擇具備技術(shù)自主性和行業(yè)適配能力的良率管理系統(tǒng)廠商至關(guān)重要。上海偉諾信息科技有限公司的YMS系統(tǒng)兼容主流Tester平臺,覆蓋十余種測試數(shù)據(jù)格式,實(shí)現(xiàn)從采集、解析到異常過濾的全流程自動(dòng)化。其分析引擎支持時(shí)間序列追蹤、晶圓區(qū)域?qū)Ρ燃癢AT/CP/FT參數(shù)聯(lián)動(dòng),精確識別影響良率的關(guān)鍵因素。SYL/SBL卡控與靈活報(bào)表導(dǎo)出功能,進(jìn)一步強(qiáng)化過程管控與決策支持。更重要的是,系統(tǒng)背后有完整的實(shí)施與服務(wù)體系支撐,確保從部署到優(yōu)化的每個(gè)環(huán)節(jié)可靠落地。這種“軟硬協(xié)同”的能力,使YMS在國產(chǎn)軟件生態(tài)中具備強(qiáng)大競爭力。偉諾依托多年項(xiàng)目積累,持續(xù)驗(yàn)證其作為本土良率管理解決方案提供者的專業(yè)價(jià)值。新疆可視化GDBC平臺高價(jià)值芯片生產(chǎn)依賴Mapping Over Ink處理的精確剔除,保障關(guān)鍵器件可靠性。

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當(dāng)封測廠每日面對來自數(shù)十臺測試機(jī)臺的海量異構(gòu)數(shù)據(jù)時(shí),傳統(tǒng)手工匯總方式已難以滿足實(shí)時(shí)質(zhì)量管控需求。YMS系統(tǒng)通過自動(dòng)化流程,即時(shí)采集并清洗ETS364、TR6850、ASL1000、MS7000等設(shè)備輸出的原始測試數(shù)據(jù),剔除重復(fù)、缺失與異常記錄,構(gòu)建高可信度的數(shù)據(jù)底座。標(biāo)準(zhǔn)化數(shù)據(jù)庫支持從時(shí)間軸追蹤良率波動(dòng),或聚焦晶圓特定區(qū)域識別系統(tǒng)性缺陷,結(jié)合WAT、CP、FT參數(shù)變化,快速定位工藝偏差根源。例如,當(dāng)某批次FT良率驟降時(shí),系統(tǒng)可聯(lián)動(dòng)CP數(shù)據(jù)判斷是否為封裝環(huán)節(jié)引入問題,縮短排查周期達(dá)數(shù)小時(shí)。圖表化界面與日報(bào)、周報(bào)、月報(bào)自動(dòng)生成機(jī)制,使管理層能基于一致數(shù)據(jù)源高效決策。上海偉諾信息科技有限公司憑借對半導(dǎo)體制造流程的深入理解,將YMS打造為數(shù)據(jù)驅(qū)動(dòng)質(zhì)量改進(jìn)的關(guān)鍵工具。

測試數(shù)據(jù)長期累積導(dǎo)致存儲空間迅速膨脹,而大量重復(fù)或無效記錄加劇資源浪費(fèi)。YMS在數(shù)據(jù)入庫前自動(dòng)清洗,剔除重復(fù)提交、通信錯(cuò)誤產(chǎn)生的冗余信息,并將stdf、csv、txt等異構(gòu)格式統(tǒng)一壓縮存儲于標(biāo)準(zhǔn)化數(shù)據(jù)庫。集中式管理不僅提升磁盤利用率,還簡化備份與維護(hù)流程。企業(yè)無需為無效數(shù)據(jù)支付額外硬件成本,也降低了IT運(yùn)維復(fù)雜度。這種“精簡有效”的存儲策略,在保障數(shù)據(jù)完整性的前提下實(shí)現(xiàn)資源優(yōu)化。上海偉諾信息科技有限公司將高效數(shù)據(jù)治理融入YMS設(shè)計(jì),助力客戶在控制成本的同時(shí)構(gòu)建可持續(xù)的數(shù)據(jù)資產(chǎn)體系。Mapping Inkless避免油墨標(biāo)記對先進(jìn)封裝工藝的干擾,保持晶圓潔凈度。

因測試數(shù)據(jù)錯(cuò)誤導(dǎo)致誤判良率,可能引發(fā)不必要的重測或錯(cuò)誤工藝調(diào)整,造成材料與時(shí)間雙重浪費(fèi)。YMS在數(shù)據(jù)入庫前執(zhí)行多層校驗(yàn),自動(dòng)剔除異常記錄,確保進(jìn)入分析環(huán)節(jié)的數(shù)據(jù)真實(shí)反映產(chǎn)品狀態(tài)。例如,當(dāng)某晶圓因通信中斷產(chǎn)生部分缺失數(shù)據(jù)時(shí),系統(tǒng)會標(biāo)記該記錄而非直接納入統(tǒng)計(jì),避免拉低整體良率。結(jié)合WAT、CP、FT參數(shù)的交叉驗(yàn)證,進(jìn)一步排除孤立異常點(diǎn)。高質(zhì)量數(shù)據(jù)輸入使質(zhì)量決策建立在可靠基礎(chǔ)上,明顯降低返工率和報(bào)廢風(fēng)險(xiǎn)。這種前置質(zhì)量控制機(jī)制,將成本節(jié)約從“事后補(bǔ)救”轉(zhuǎn)向“事前預(yù)防”。上海偉諾信息科技有限公司通過嚴(yán)謹(jǐn)?shù)臄?shù)據(jù)治理邏輯,保障YMS輸出結(jié)果的科學(xué)性與可執(zhí)行性。上海偉諾信息科技ZPAT功能,通過堆疊Mapping及不同算法幫助用戶剔除潛在質(zhì)量風(fēng)險(xiǎn)的芯片。海南自動(dòng)化PAT服務(wù)

Mapping Over Ink處理方案支持高密度邏輯與模擬芯片應(yīng)用,覆蓋多品類半導(dǎo)體產(chǎn)品。新疆可視化GDBC平臺

晶圓制造環(huán)節(jié)的良率波動(dòng)直接影響整體產(chǎn)出效率,YMS系統(tǒng)通過全流程數(shù)據(jù)治理提供有力支撐。系統(tǒng)自動(dòng)采集并解析來自主流測試設(shè)備的多源異構(gòu)數(shù)據(jù),建立標(biāo)準(zhǔn)化數(shù)據(jù)庫,實(shí)現(xiàn)對晶圓批次、區(qū)域乃至單點(diǎn)良率的精細(xì)化監(jiān)控。結(jié)合WAT、CP、FT等關(guān)鍵測試數(shù)據(jù)的變化趨勢,系統(tǒng)可快速鎖定影響良率的關(guān)鍵因素,指導(dǎo)工藝參數(shù)調(diào)優(yōu)。圖表化界面直觀展示良率熱力圖、趨勢曲線等關(guān)鍵指標(biāo),輔助工程師高效決策。同時(shí),系統(tǒng)支持按模板生成周期性報(bào)告,并導(dǎo)出為常用辦公格式,滿足生產(chǎn)與管理雙重需求。上海偉諾信息科技有限公司以打造國產(chǎn)半導(dǎo)體軟件生態(tài)為使命,其YMS產(chǎn)品正持續(xù)助力制造企業(yè)邁向高質(zhì)量、高效率的發(fā)展新階段。新疆可視化GDBC平臺

上海偉諾信息科技有限公司匯集了大量的優(yōu)秀人才,集企業(yè)奇思,創(chuàng)經(jīng)濟(jì)奇跡,一群有夢想有朝氣的團(tuán)隊(duì)不斷在前進(jìn)的道路上開創(chuàng)新天地,繪畫新藍(lán)圖,在上海市等地區(qū)的數(shù)碼、電腦中始終保持良好的信譽(yù),信奉著“爭取每一個(gè)客戶不容易,失去每一個(gè)用戶很簡單”的理念,市場是企業(yè)的方向,質(zhì)量是企業(yè)的生命,在公司有效方針的領(lǐng)導(dǎo)下,全體上下,團(tuán)結(jié)一致,共同進(jìn)退,**協(xié)力把各方面工作做得更好,努力開創(chuàng)工作的新局面,公司的新高度,未來和您一起奔向更美好的未來,即使現(xiàn)在有一點(diǎn)小小的成績,也不足以驕傲,過去的種種都已成為昨日我們只有總結(jié)經(jīng)驗(yàn),才能繼續(xù)上路,讓我們一起點(diǎn)燃新的希望,放飛新的夢想!