磷化銦(InP)光子晶圓易產(chǎn)生邊緣散射損耗。中清航科采用等離子體刻蝕輔助裂片技術,切割面垂直度達89.5°±0.2°,側(cè)壁粗糙度Ra<20nm,插入損耗降低至0.15dB/cm。中清航科SkyEye系統(tǒng)通過5G實時回傳設備運行數(shù)據(jù)(振動/電流/溫度),AI引擎...
中清航科的晶圓切割設備通過了多項國際認證,包括 CE、FCC、UL 等,符合全球主要半導體市場的準入標準。設備設計嚴格遵循國際安全規(guī)范與電磁兼容性要求,可直接出口至歐美、日韓等地區(qū),為客戶拓展國際市場提供設備保障。在晶圓切割的刀具校準方面,中清航科創(chuàng)新采用激光...
在晶圓切割設備的自動化升級浪潮中,中清航科走在行業(yè)前列。其新推出的智能切割單元,可與前端光刻設備、后端封裝設備實現(xiàn)無縫對接,通過 SECS/GEM 協(xié)議完成數(shù)據(jù)交互,實現(xiàn)半導體生產(chǎn)全流程的自動化閉環(huán)。該單元還具備自我診斷功能,能提前預警潛在故障,將非計劃停機時...
針對高粘度晶圓切割液的回收處理,中清航科研發(fā)了離心式過濾凈化系統(tǒng)。該系統(tǒng)通過三級過濾工藝,可去除切割液中 99.9% 的固體顆粒雜質(zhì),使切割液循環(huán)利用率提升至 80% 以上,不只降低耗材成本,還減少廢液排放。同時配備濃度自動調(diào)節(jié)功能,確保切割液性能穩(wěn)定,保障切...
在晶圓切割的質(zhì)量檢測方面,中清航科引入了三維形貌檢測技術。通過高分辨率 confocal 顯微鏡對切割面進行三維掃描,生成精確的表面粗糙度與輪廓數(shù)據(jù),粗糙度測量精度可達 0.1nm,為工藝優(yōu)化提供量化依據(jù)。該檢測結果可直接與客戶的質(zhì)量系統(tǒng)對接,實現(xiàn)數(shù)據(jù)的無縫流...
中清航科創(chuàng)新性推出“激光預劃+機械精切”復合方案:先以激光在晶圓表面形成引導槽,再用超薄刀片完成切割。此工藝結合激光精度與刀切效率,解決化合物半導體(如GaAs、SiC)的脆性開裂問題,加工成本較純激光方案降低35%。大尺寸晶圓切割面臨翹曲變形、應力集中等痛點...
中清航科開放6條全自動切割產(chǎn)線,支持從8英寸化合物半導體到12英寸邏輯晶圓的來料加工。云端訂單系統(tǒng)實時追蹤進度,平均交貨周期48小時,良率承諾99.2%。先進封裝RDL層切割易引發(fā)銅箔撕裂。中清航科應用超快飛秒激光(脈寬400fs)配合氦氣保護,在銅-硅界面形...
中清航科注重與科研機構的合作創(chuàng)新,與國內(nèi)多所高校共建半導體切割技術聯(lián)合實驗室。圍繞晶圓切割的前沿技術開展研究,如原子層切割、超高頻激光切割等,已申請發(fā)明專利 50 余項,其中 “一種基于飛秒激光的晶圓超精細切割方法” 獲得國家發(fā)明專利金獎,推動行業(yè)技術進步。晶...
中清航科的晶圓切割設備通過了多項國際認證,包括 CE、FCC、UL 等,符合全球主要半導體市場的準入標準。設備設計嚴格遵循國際安全規(guī)范與電磁兼容性要求,可直接出口至歐美、日韓等地區(qū),為客戶拓展國際市場提供設備保障。在晶圓切割的刀具校準方面,中清航科創(chuàng)新采用激光...
中清航科的晶圓切割設備通過了多項國際認證,包括 CE、FCC、UL 等,符合全球主要半導體市場的準入標準。設備設計嚴格遵循國際安全規(guī)范與電磁兼容性要求,可直接出口至歐美、日韓等地區(qū),為客戶拓展國際市場提供設備保障。在晶圓切割的刀具校準方面,中清航科創(chuàng)新采用激光...
中清航科IoT平臺通過振動傳感器+電流波形分析,提前72小時預警主軸軸承磨損、刀片鈍化等故障。數(shù)字孿生模型模擬設備衰減曲線,備件更換周期精度達±5%,設備綜合效率(OEE)提升至95%。機械切割引發(fā)的殘余應力會導致芯片分層失效。中清航科創(chuàng)新采用超聲波輔助切割,...
未來流片技術將向更先進制程、更高集成度發(fā)展,中清航科持續(xù)投入研發(fā),構建前瞻性的流片代理能力。在 3D IC 領域,與晶圓廠合作開發(fā) TSV 與混合鍵合流片方案,支持芯片堆疊的高精度對準,已成功代理多個 3D 堆疊芯片的流片項目,鍵合良率達到 99% 以上。針對...
中清航科在切割頭集成聲波傳感器,通過頻譜分析實時識別崩邊、裂紋等缺陷(靈敏度1μm)。異常事件觸發(fā)自動停機,避免批量損失,每年減少廢片成本$2.5M。為提升CIS有效感光面積,中清航科將切割道壓縮至8μm:激光隱形切割(SD)配合智能擴膜系統(tǒng),崩邊<3μm,使...
針對微處理器(MCU)芯片的流片需求,中清航科提供 MCU 專項流片服務。其技術團隊熟悉 8 位、16 位、32 位 MCU 的流片工藝,能為客戶提供內(nèi)核設計、外設接口布局、低功耗優(yōu)化等專業(yè)服務。通過與 MCU 專業(yè)晶圓廠合作,共同解決 MCU 的時鐘精度、中...
中清航科開放6條全自動切割產(chǎn)線,支持從8英寸化合物半導體到12英寸邏輯晶圓的來料加工。云端訂單系統(tǒng)實時追蹤進度,平均交貨周期48小時,良率承諾99.2%。先進封裝RDL層切割易引發(fā)銅箔撕裂。中清航科應用超快飛秒激光(脈寬400fs)配合氦氣保護,在銅-硅界面形...
在半導體設備國產(chǎn)化替代的浪潮中,中清航科始終堅持自主創(chuàng)新,中心技術 100% 自主可控。其晶圓切割設備的關鍵部件如激光發(fā)生器、精密導軌、控制系統(tǒng)等均實現(xiàn)國產(chǎn)化量產(chǎn),不僅擺脫對進口部件的依賴,還將設備交付周期縮短至 8 周以內(nèi),較進口設備縮短 50%,為客戶搶占...
中清航科在切割頭集成聲波傳感器,通過頻譜分析實時識別崩邊、裂紋等缺陷(靈敏度1μm)。異常事件觸發(fā)自動停機,避免批量損失,每年減少廢片成本$2.5M。為提升CIS有效感光面積,中清航科將切割道壓縮至8μm:激光隱形切割(SD)配合智能擴膜系統(tǒng),崩邊<3μm,使...
中清航科ESG解決方案:設備內(nèi)置能源管理模塊,智能調(diào)節(jié)激光功率與主軸轉(zhuǎn)速,單次切割能耗降低42%。碳追蹤平臺每8小時生成減排報告,助力客戶達成碳中和目標,已獲全球25家代工廠采購認證。功率器件背面金層在切割中易翹曲。中清航科開發(fā)脈沖電流輔助切割,在刀片-晶圓界...
中清航科注重為客戶提供持續(xù)的技術支持,即使流片完成后仍保留 1 年的技術服務期??蛻粼谛酒瑴y試或應用過程中遇到與流片相關的問題,技術團隊會提供分析支持,如協(xié)助排查工藝導致的性能偏差、提供二次流片的優(yōu)化建議等。去年某 AI 芯片客戶量產(chǎn)時出現(xiàn)良率波動,其技術團隊...
中清航科原子層精切技術:采用氬離子束定位轟擊(束斑直徑2nm),實現(xiàn)石墨烯晶圓無損傷分離。邊緣鋸齒度<5nm,電導率波動控制在±0.5%,滿足量子芯片基材需求。中清航科SmartCool系統(tǒng)通過在線粘度計與pH傳感器,實時調(diào)整冷卻液濃度(精度±0.1%)。延長...
流片后的數(shù)據(jù)分析與反饋對產(chǎn)品優(yōu)化至關重要,中清航科為此開發(fā)了專業(yè)的流片數(shù)據(jù)分析平臺。該平臺可對接晶圓廠的測試數(shù)據(jù)系統(tǒng),自動導入 CP 測試、FT 測試的原始數(shù)據(jù),通過數(shù)據(jù)挖掘算法進行多維度分析,包括良率分布、參數(shù)分布、失效模式等,生成直觀的可視化報告。針對低良...
在碳化硅晶圓切割領域,由于材料硬度高達莫氏 9 級,傳統(tǒng)切割方式面臨效率低下的問題。中清航科創(chuàng)新采用超高壓水射流與激光復合切割技術,利用水射流的冷卻作用抑制激光切割產(chǎn)生的熱影響區(qū),同時借助激光的預熱作用降低材料強度,使碳化硅晶圓的切割效率提升 3 倍,熱影響區(qū)...
流片與封裝測試的銜接效率直接影響產(chǎn)品上市周期,中清航科推出 “流片 + 封測” 一站式代理服務,實現(xiàn)從晶圓生產(chǎn)到成品交付的無縫銜接。其整合長電科技、通富微電、日月光等前列封測廠資源,根據(jù)客戶的芯片類型與應用場景,推薦比較好的封裝方案,包括 DIP、SOP、QF...
流片代理服務需要與客戶的研發(fā)流程深度融合,中清航科為此開發(fā)了靈活的服務對接模式。針對采用敏捷開發(fā)模式的客戶,提供快速響應服務,支持小批量、多頻次的流片需求,較短 2 周內(nèi)可啟動新批次流片;針對采用瀑布式開發(fā)的客戶,提供全周期規(guī)劃服務,從產(chǎn)品定義階段就介入,制定...
在碳化硅晶圓切割領域,由于材料硬度高達莫氏 9 級,傳統(tǒng)切割方式面臨效率低下的問題。中清航科創(chuàng)新采用超高壓水射流與激光復合切割技術,利用水射流的冷卻作用抑制激光切割產(chǎn)生的熱影響區(qū),同時借助激光的預熱作用降低材料強度,使碳化硅晶圓的切割效率提升 3 倍,熱影響區(qū)...
中清航科的晶圓切割設備通過了多項國際認證,包括 CE、FCC、UL 等,符合全球主要半導體市場的準入標準。設備設計嚴格遵循國際安全規(guī)范與電磁兼容性要求,可直接出口至歐美、日韓等地區(qū),為客戶拓展國際市場提供設備保障。在晶圓切割的刀具校準方面,中清航科創(chuàng)新采用激光...
中清航科的流片代理服務注重行業(yè)合作,與產(chǎn)業(yè)鏈上下游企業(yè)建立了合作關系。與 EDA 工具廠商合作,為客戶提供流片前的設計驗證支持;與測試設備廠商合作,引入較新的測試技術與設備;與高??蒲袡C構合作,共同研究前沿流片技術。通過行業(yè)合作,整合各方資源,為客戶提供更多方...
為滿足半導體行業(yè)的快速交付需求,中清航科建立了高效的設備生產(chǎn)與交付體系。采用柔性化生產(chǎn)模式,標準型號切割設備可實現(xiàn) 7 天內(nèi)快速發(fā)貨,定制化設備交付周期控制在 30 天以內(nèi)。同時提供門到門安裝調(diào)試服務,配備專業(yè)技術團隊全程跟進,確保設備快速投產(chǎn)。在晶圓切割的工...
中清航科動態(tài)線寬控制系統(tǒng)利用實時共焦傳感器監(jiān)測切割槽形貌,通過AI算法自動補償?shù)毒吣p導致的線寬偏差(精度±0.8μm)。該技術使12英寸晶圓切割道均勻性提升至97%,芯片產(chǎn)出量增加5.3%,年節(jié)省材料成本超$150萬。針對消費電子量產(chǎn)需求,中清航科開發(fā)多光束...
中清航科IoT平臺通過振動傳感器+電流波形分析,提前72小時預警主軸軸承磨損、刀片鈍化等故障。數(shù)字孿生模型模擬設備衰減曲線,備件更換周期精度達±5%,設備綜合效率(OEE)提升至95%。機械切割引發(fā)的殘余應力會導致芯片分層失效。中清航科創(chuàng)新采用超聲波輔助切割,...