中清航科CutSim軟件建立熱-力-流體耦合模型,預(yù)測切割溫度場/應(yīng)力場分布。輸入材料參數(shù)即可優(yōu)化工藝,客戶開發(fā)周期縮短70%,試錯(cuò)成本下降$50萬/項(xiàng)目。針對MEMS陀螺儀等真空封裝器件,中清航科提供10??Pa級真空切割艙。消除空氣阻尼影響,切割后器件Q值...
晶圓切割作為半導(dǎo)體制造流程中的關(guān)鍵環(huán)節(jié),直接影響芯片的良率與性能。中清航科憑借多年行業(yè)積淀,研發(fā)出高精度激光切割設(shè)備,可實(shí)現(xiàn)小切割道寬達(dá) 20μm,滿足 5G 芯片、車規(guī)級半導(dǎo)體等領(lǐng)域的加工需求。其搭載的智能視覺定位系統(tǒng),能實(shí)時(shí)校準(zhǔn)晶圓位置偏差,將切割精度控制...
中清航科為晶圓切割設(shè)備提供全生命周期的服務(wù)支持,從設(shè)備安裝調(diào)試、操作人員培訓(xùn)、工藝優(yōu)化指導(dǎo)到設(shè)備升級改造,形成完整的服務(wù)鏈條。建立客戶服務(wù)檔案,定期進(jìn)行設(shè)備巡檢與性能評估,根據(jù)客戶的生產(chǎn)需求變化提供定制化的升級方案,確保設(shè)備始終保持先進(jìn)的技術(shù)水平。隨著半導(dǎo)體技...
針對高粘度晶圓切割液的回收處理,中清航科研發(fā)了離心式過濾凈化系統(tǒng)。該系統(tǒng)通過三級過濾工藝,可去除切割液中 99.9% 的固體顆粒雜質(zhì),使切割液循環(huán)利用率提升至 80% 以上,不只降低耗材成本,還減少廢液排放。同時(shí)配備濃度自動調(diào)節(jié)功能,確保切割液性能穩(wěn)定,保障切...
中清航科的流片代理服務(wù)注重行業(yè)合作,與產(chǎn)業(yè)鏈上下游企業(yè)建立了合作關(guān)系。與 EDA 工具廠商合作,為客戶提供流片前的設(shè)計(jì)驗(yàn)證支持;與測試設(shè)備廠商合作,引入較新的測試技術(shù)與設(shè)備;與高??蒲袡C(jī)構(gòu)合作,共同研究前沿流片技術(shù)。通過行業(yè)合作,整合各方資源,為客戶提供更多方...
面對高溫高濕等惡劣生產(chǎn)環(huán)境,中清航科對晶圓切割設(shè)備進(jìn)行了特殊環(huán)境適應(yīng)性改造。設(shè)備電氣系統(tǒng)采用三防設(shè)計(jì)(防潮濕、防霉菌、防鹽霧),機(jī)械結(jié)構(gòu)采用耐腐蝕材料,可在溫度 30-40℃、濕度 60-85% 的環(huán)境下穩(wěn)定運(yùn)行,特別適用于熱帶地區(qū)半導(dǎo)體工廠及特殊工業(yè)場景。晶...
在晶圓切割的邊緣檢測精度提升上,中清航科創(chuàng)新采用雙攝像頭立體視覺技術(shù)。通過兩個(gè)高分辨率工業(yè)相機(jī)從不同角度采集晶圓邊緣圖像,經(jīng)三維重建算法精確計(jì)算邊緣位置,即使晶圓存在微小翹曲,也能確保切割路徑的精確定位,邊緣檢測誤差控制在 1μm 以內(nèi),大幅提升切割良率。為適...
中清航科芯片封裝的應(yīng)用領(lǐng)域-通信領(lǐng)域:在5G通信時(shí)代,對芯片的高速率、低延遲、高集成度等性能要求極高。中清航科憑借先進(jìn)的芯片封裝技術(shù),為5G基站的射頻芯片、基帶芯片等提供質(zhì)優(yōu)封裝服務(wù),有效提升了芯片間的通信速度和數(shù)據(jù)處理能力,滿足了5G通信對高性能芯片的嚴(yán)苛需...
中清航科IoT平臺通過振動傳感器+電流波形分析,提前72小時(shí)預(yù)警主軸軸承磨損、刀片鈍化等故障。數(shù)字孿生模型模擬設(shè)備衰減曲線,備件更換周期精度達(dá)±5%,設(shè)備綜合效率(OEE)提升至95%。機(jī)械切割引發(fā)的殘余應(yīng)力會導(dǎo)致芯片分層失效。中清航科創(chuàng)新采用超聲波輔助切割,...
中清航科的流片代理服務(wù)建立了嚴(yán)格的供應(yīng)商管理體系,對合作的晶圓廠、掩膜廠、測試廠等供應(yīng)商進(jìn)行定期評估與審核。評估指標(biāo)包括技術(shù)能力、質(zhì)量水平、交貨周期、服務(wù)態(tài)度等,只有評估得分在 85 分以上的供應(yīng)商才能繼續(xù)合作。通過嚴(yán)格的供應(yīng)商管理,確保為客戶提供穩(wěn)定可靠的流...
中清航科動態(tài)線寬控制系統(tǒng)利用實(shí)時(shí)共焦傳感器監(jiān)測切割槽形貌,通過AI算法自動補(bǔ)償?shù)毒吣p導(dǎo)致的線寬偏差(精度±0.8μm)。該技術(shù)使12英寸晶圓切割道均勻性提升至97%,芯片產(chǎn)出量增加5.3%,年節(jié)省材料成本超$150萬。針對消費(fèi)電子量產(chǎn)需求,中清航科開發(fā)多光束...
中清航科開放6條全自動切割產(chǎn)線,支持從8英寸化合物半導(dǎo)體到12英寸邏輯晶圓的來料加工。云端訂單系統(tǒng)實(shí)時(shí)追蹤進(jìn)度,平均交貨周期48小時(shí),良率承諾99.2%。先進(jìn)封裝RDL層切割易引發(fā)銅箔撕裂。中清航科應(yīng)用超快飛秒激光(脈寬400fs)配合氦氣保護(hù),在銅-硅界面形...
面對全球半導(dǎo)體設(shè)備供應(yīng)鏈的不確定性,中清航科構(gòu)建了多元化的供應(yīng)鏈體系。與國內(nèi) 200 余家質(zhì)優(yōu)供應(yīng)商建立長期合作關(guān)系,關(guān)鍵部件實(shí)現(xiàn)多源供應(yīng),同時(shí)在各地建立備件中心,儲備充足的易損件與中心部件,確保設(shè)備維修與升級時(shí)的備件及時(shí)供應(yīng),縮短設(shè)備停機(jī)時(shí)間。晶圓切割設(shè)備的...
針對高粘度晶圓切割液的回收處理,中清航科研發(fā)了離心式過濾凈化系統(tǒng)。該系統(tǒng)通過三級過濾工藝,可去除切割液中 99.9% 的固體顆粒雜質(zhì),使切割液循環(huán)利用率提升至 80% 以上,不只降低耗材成本,還減少廢液排放。同時(shí)配備濃度自動調(diào)節(jié)功能,確保切割液性能穩(wěn)定,保障切...
全球化流片代理服務(wù)需要應(yīng)對不同地區(qū)的技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)、物流流程等挑戰(zhàn),中清航科通過全球化布局構(gòu)建起高效的服務(wù)網(wǎng)絡(luò)。在亞洲、北美、歐洲設(shè)立三大區(qū)域中心,每個(gè)區(qū)域中心配備本地化的技術(shù)與商務(wù)團(tuán)隊(duì),能為當(dāng)?shù)乜蛻籼峁┱Z言無障礙、時(shí)區(qū)匹配的服務(wù)。針對跨國流片需求,中清航科熟悉各國...
面向磁傳感器制造,中清航科開發(fā)超導(dǎo)磁懸浮切割臺。晶圓在強(qiáng)磁場(0.5T)下懸浮,消除機(jī)械接觸應(yīng)力,切割后磁疇結(jié)構(gòu)畸變率<0.3%,靈敏度波動控制在±0.5%。中清航科電化學(xué)回收裝置從切割廢水中提取金/銅/錫等金屬,純度達(dá)99.95%。單條產(chǎn)線年回收貴金屬價(jià)值超...
流片過程中的測試方案設(shè)計(jì)直接影響產(chǎn)品質(zhì)量驗(yàn)證效果,中清航科的測試工程團(tuán)隊(duì)具備豐富經(jīng)驗(yàn)。根據(jù)芯片應(yīng)用場景,定制化設(shè)計(jì)測試向量與測試流程,覆蓋功能測試、性能測試、可靠性測試等全維度。針對高頻芯片,引入微波探針臺與矢量網(wǎng)絡(luò)分析儀,實(shí)現(xiàn) 110GHz 以內(nèi)的高頻參數(shù)精...
全球化流片代理服務(wù)需要應(yīng)對不同地區(qū)的技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)、物流流程等挑戰(zhàn),中清航科通過全球化布局構(gòu)建起高效的服務(wù)網(wǎng)絡(luò)。在亞洲、北美、歐洲設(shè)立三大區(qū)域中心,每個(gè)區(qū)域中心配備本地化的技術(shù)與商務(wù)團(tuán)隊(duì),能為當(dāng)?shù)乜蛻籼峁┱Z言無障礙、時(shí)區(qū)匹配的服務(wù)。針對跨國流片需求,中清航科熟悉各國...
針對晶圓切割過程中的靜電防護(hù)問題,中清航科的設(shè)備采用全流程防靜電設(shè)計(jì)。從晶圓上料的導(dǎo)電吸盤到切割區(qū)域的離子風(fēng)扇,再到下料區(qū)的防靜電輸送軌道,形成完整的靜電防護(hù)體系,將設(shè)備表面靜電電壓控制在 50V 以下,有效避免靜電對敏感芯片造成的潛在損傷。中清航科的晶圓切割...
中清航科原子層精切技術(shù):采用氬離子束定位轟擊(束斑直徑2nm),實(shí)現(xiàn)石墨烯晶圓無損傷分離。邊緣鋸齒度<5nm,電導(dǎo)率波動控制在±0.5%,滿足量子芯片基材需求。中清航科SmartCool系統(tǒng)通過在線粘度計(jì)與pH傳感器,實(shí)時(shí)調(diào)整冷卻液濃度(精度±0.1%)。延長...
晶圓切割過程中產(chǎn)生的應(yīng)力可能導(dǎo)致芯片可靠性下降,中清航科通過有限元分析軟件模擬切割應(yīng)力分布,優(yōu)化激光掃描路徑與能量輸出模式,使切割后的晶圓殘余應(yīng)力降低 40%。經(jīng)第三方檢測機(jī)構(gòu)驗(yàn)證,采用該工藝的芯片在溫度循環(huán)測試中表現(xiàn)優(yōu)異,可靠性提升 25%,特別適用于航天航...
中小設(shè)計(jì)企業(yè)往往面臨流片經(jīng)驗(yàn)不足、資金有限等問題,中清航科推出針對性的創(chuàng)業(yè)扶持流片代理方案。為初創(chuàng)企業(yè)提供的 DFM 咨詢服務(wù),幫助優(yōu)化設(shè)計(jì)方案,降低流片風(fēng)險(xiǎn);首輪流片享受 30% 的費(fèi)用減免,同時(shí)提供分期付款選項(xiàng),較長可分 6 期支付。在技術(shù)支持方面,配備專...
流片后的數(shù)據(jù)分析與反饋對產(chǎn)品優(yōu)化至關(guān)重要,中清航科為此開發(fā)了專業(yè)的流片數(shù)據(jù)分析平臺。該平臺可對接晶圓廠的測試數(shù)據(jù)系統(tǒng),自動導(dǎo)入 CP 測試、FT 測試的原始數(shù)據(jù),通過數(shù)據(jù)挖掘算法進(jìn)行多維度分析,包括良率分布、參數(shù)分布、失效模式等,生成直觀的可視化報(bào)告。針對低良...
在晶圓切割的邊緣檢測精度提升上,中清航科創(chuàng)新采用雙攝像頭立體視覺技術(shù)。通過兩個(gè)高分辨率工業(yè)相機(jī)從不同角度采集晶圓邊緣圖像,經(jīng)三維重建算法精確計(jì)算邊緣位置,即使晶圓存在微小翹曲,也能確保切割路徑的精確定位,邊緣檢測誤差控制在 1μm 以內(nèi),大幅提升切割良率。為適...
GaN材料硬度高且易產(chǎn)生解理裂紋。中清航科創(chuàng)新水導(dǎo)激光切割(Water Jet Guided Laser),利用高壓水柱約束激光束,冷卻與沖刷同步完成。崩邊尺寸<8μm,熱影響區(qū)只2μm,滿足射頻器件高Q值要求。設(shè)備振動導(dǎo)致切割線寬波動。中清航科應(yīng)用主動磁懸浮...
為滿足汽車電子追溯要求,中清航科在切割機(jī)集成區(qū)塊鏈模塊。每片晶圓生成單獨(dú)工藝參數(shù)數(shù)字指紋(含切割速度、溫度、振動數(shù)據(jù)),直通客戶MES系統(tǒng),實(shí)現(xiàn)零缺陷溯源。面向下一代功率器件,中清航科開發(fā)等離子體輔助切割(PAC)。利用微波激發(fā)氧等離子體軟化切割區(qū)材料,同步機(jī)...
在晶圓切割的邊緣檢測精度提升上,中清航科創(chuàng)新采用雙攝像頭立體視覺技術(shù)。通過兩個(gè)高分辨率工業(yè)相機(jī)從不同角度采集晶圓邊緣圖像,經(jīng)三維重建算法精確計(jì)算邊緣位置,即使晶圓存在微小翹曲,也能確保切割路徑的精確定位,邊緣檢測誤差控制在 1μm 以內(nèi),大幅提升切割良率。為適...
中清航科注重與科研機(jī)構(gòu)的合作創(chuàng)新,與國內(nèi)多所高校共建半導(dǎo)體切割技術(shù)聯(lián)合實(shí)驗(yàn)室。圍繞晶圓切割的前沿技術(shù)開展研究,如原子層切割、超高頻激光切割等,已申請發(fā)明專利 50 余項(xiàng),其中 “一種基于飛秒激光的晶圓超精細(xì)切割方法” 獲得國家發(fā)明專利金獎(jiǎng),推動行業(yè)技術(shù)進(jìn)步。晶...
流片成本控制是設(shè)計(jì)企業(yè)關(guān)注的中心問題,中清航科通過規(guī)模采購與工藝優(yōu)化實(shí)現(xiàn)成本優(yōu)化。其整合行業(yè)內(nèi) 500 余家設(shè)計(jì)公司的流片需求,形成規(guī)?;少弮?yōu)勢,單批次流片費(fèi)用較企業(yè)單獨(dú)采購降低 15-20%。同時(shí)通過多項(xiàng)目晶圓(MPW)拼片服務(wù),將小批量試產(chǎn)成本分?jǐn)傊炼鄠€(gè)...
中清航科創(chuàng)新性推出“激光預(yù)劃+機(jī)械精切”復(fù)合方案:先以激光在晶圓表面形成引導(dǎo)槽,再用超薄刀片完成切割。此工藝結(jié)合激光精度與刀切效率,解決化合物半導(dǎo)體(如GaAs、SiC)的脆性開裂問題,加工成本較純激光方案降低35%。大尺寸晶圓切割面臨翹曲變形、應(yīng)力集中等痛點(diǎn)...