金屬表面處理真空鍍膜機等離子體頻繁熄滅怎么解決？

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廣東華升納米科技股份有限公司2025-11-22

真空鍍膜機出現(xiàn)等離子體點燃后不穩(wěn)定、頻繁熄滅，是金屬表面處理常見故障之一，可能由以下原因引起：1. 氣體流量或純度異常，導(dǎo)致等離子體無法持續(xù)維持；2. 真空度不達標，腔內(nèi)殘留氣體干擾放電過程；3. 射頻電源功率設(shè)置不當或輸出不穩(wěn)定；4. 電極或靶材表面污染，影響電場分布與等離子體形成；5. 冷卻系統(tǒng)異常，導(dǎo)致設(shè)備過熱保護啟動。解決此類金屬表面處理問題，應(yīng)逐項排查：首先確認氣體純度與流量控制正常，檢查真空泵及密封系統(tǒng)是否泄漏；其次清潔電極與靶材，確保無異物干擾；調(diào)整射頻功率參數(shù)，避免過高或過低；檢查冷卻系統(tǒng)運行狀態(tài)，防止過熱引起自動停機。通過系統(tǒng)維護與參數(shù)優(yōu)化，可有效提升等離子體穩(wěn)定性，保障金屬表面處理質(zhì)量與效率。