廣東華升納米科技股份有限公司2025-11-22
金屬表面處理真空鍍膜后薄膜易脫落,主因四類:①清洗不徹底,殘油或水膜降低化學(xué)鍵合;②界面氧化,基底暴露大氣生成鈍化層;③應(yīng)力失配,熱膨脹差異大且膜厚過厚;④冷卻過快,溫差>5℃/min誘發(fā)微裂。對策:①超聲堿洗+IPA脫水,進(jìn)腔前Ar等離子體100W轟擊3min,去有機殘膜并活化表面;②沉積前預(yù)通Cr或Ti過渡層100nm,阻斷氧化并緩沖膨脹;③梯度功率沉積,先低功率成核再升功率增厚,總應(yīng)力降30%;④鍍畢充氮緩冷至80℃以下再破空,降溫速率≤2℃/min。經(jīng)此金屬表面處理閉環(huán),剝離強度>60N,劃格0級,保障批量金屬表面處理真空鍍膜良品率,降低金屬表面處理返工成本,穩(wěn)定金屬表面處理交付節(jié)拍。
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